分支波导配置的制作方法_3

文档序号:9596628阅读:来源:国知局
24的局部奇简正模与波 导适配器240的TEi。或TM i。模之间的模重叠,波导适配器240的宽度被优化,该宽度通常略 宽于波导输入耦合器近端224的宽度W12、波导输入耦合器近端24和分支波导近端234之 间的间隙、以及分支波导近端宽度W22之和。输入耦合器和分支波导之间的间隙是对于制造 能力、两波导(例如波导输入耦合器220和分支波导230)之间的相互作用、从波导输入耦 合器220至接合的适配器240的散射/辐射损失转变的妥协。另外,分支波导230的形状 被选为使得在接近近端224、234处两波导之间的间隔缓慢地减小,这使任何波前倾斜效应 最小化。
[0038] 图3示出具有固定在滑动件306上的近场换能器对准的 (near-field-transducer-aligned)光源(例如激光二极管304)的光传输系统302的换能 器头组件300的另一实施方式。从激光二极管304射出的光通过光传输系统302被耦合并 聚焦至NFT 308。除非另有说明,图3实施方式中的相同特征与图2实施方式中的那些相同 特征相同或相似。
[0039] 如图2那样,图3的光传输系统302具有由波导输入耦合器320和分支波导330构 成的波导配置310。波导输入耦合器320包括具有宽度Wn的远端322以及具有宽度W 12的 相对近端324。分支波导330包括具有宽度W21的远端332和具有宽度W 22的近端334。波 导输入耦合器320和分支波导330的总体形状和配置与图2中的波导输入耦合器220和分 支波导230是相同的。
[0040] 波导适配器340位于波导输入耦合器320及分支波导330和NFT 308之间。然而, 在该实施方式中,固体浸没镜(solid immersion mirror, SIM)350被置于波导适配器340 和NFT 308之间。尽管可使用多种形状,然而在图示实施方式中,SIM 350的形状是椭圆的 或基本抛物线形的。在一些实施方式中,光束扩张器可附连在波导适配器340端部以有效 地激发NFT 308。输入耦合器320、分支波导330、波导适配器340和S頂350 -起将光聚焦 至NFT 308以使中央聚焦点纵向地极化。
[0041] 图4示出锥形分支波导,特别是分支波导400的实施方式。分支波导400包括具有 远端宽度1的远端402、具有近端宽度W2的近端404,以及从远端402至近端404的标称长 度L。分支波导400具有中线M。分支波导400从远端402向近端404锥形化;也就是说, 远端宽度I大于近端宽度W 2。在一些实施例中,这种从远端402至近端404的锥化或减小 通过线性函数定义。替代地,锥形率或减小率可从远端402至近端404沿长度L改变。
[0042] 分支波导400图示为具有非线性的、弯曲的形状,尽管在其它实施方式中它可以 是线性的或直的。由于分支波导400的锥变(tapering)性质,其形状可容易地通过其中线 Μ的曲率(或线性度)来定义。线性分支波导将具有线性的中线M,即使分支波导的总宽度 从其远端向其近端锥变亦是如此。非线性分支波导将具有非线性的中线Μ,例如相对于波导 输入耦合器凹进、相对于波导输入耦合器凸出,或者可以是各种弧形部分的组合。下面描述 的数值建模表明类余弦形状是分支波导的一种适宜选择。
[0043] 遵循耦合模理论,描述两个局部简正模之间的耦合的微分方程可被写成:
[0047] 其中As(Aa)表示在传播方向ζ上的局部类对称(类非对称)简正模的复数振幅, 而β3(β3)表示局部类对称(类非对称)简正模的传播常数。N是矩阵并且其非对角线元 素描述两个局部简正模之间的耦合。如果忽略波前倾斜和波导锥变的话,N可被写成:
[0049] 为了获得上述的耦合方程的近似解,考虑简化的振幅α 3和a a,以将传播相位分 别从AjPAa中去除:

[0052] 耦合方程,即方程(la)、(lb)、(lc)变为:
[0057] 其中u是两个简正模之间的传播相位差的积分,而z。表示分支波导开始所在的z 坐标。对于绝热波导耦合器和分光器,两个简正模之间的耦合通常是弱的。对于耦合的二 阶次,对方程(2a)、(2b)得到近似解:
[0060]对于 TE^-TEi。模阶次转换器,a s (z。)~0, aa (z。)~1,
[0062] 模阶次转换器的设计目标是最小化两简正模之间的转换,即最小化偶次模振幅 as。理念是在相位项中具有最快振荡expHu),通过使(β3-β3)(即两个简正模之间的传 播常数之差)在每个z处尽可能大以抵销转换。为了进一步理解方程(5),使用简正耦合模 理论,其忽略了两个波导之间的端射(end-fire)耦合。简正模耦合系数N12和传播常数差 (β s- β a) :
[0065]其中:
[0068] 这里,β廊β 2分别表示两个相隔离的波导(即分支波导和输入波导耦合器)的 传播常数。k是两个波导之间的平均耦合系数。
[0069] 对于绝热模阶次转换器,N12和Δ β sa通常是传播z的缓变函数。方程(5)被进一 步近似为:
[0071] 根据方程(8)找出来自该不等式的最大模转换:
[0073] 用方程(6a)、(6b)代入方程(9)获得方程(10),该方程(10)奠定了设计短模阶 次转换器的基础:
[0075] 为了获得耦合系数k和传播常数^和β 2,使用有效折射率方法;将有效折射率 方法施加至图5Α所示的一般波导耦合器的步骤示出于图5Β和图5C中。首先从厚度t的 板计算出TE。模的模折射率(该模折射率被定义为传播常数除以自由空间波数)并形成有 效折射率!^。通过这两个厚度为djPd4(相隔d3)的平行板所形成的复合波导的TMJTMD 的传播常数,如图5C所示,则被用来近似求解原始二维耦合器的类对称(类非对称)TE简 正模的传播常数,并且两个板之间的耦合也被用来近似求解原始二维耦合器的耦合。
[0076] 两个板之间的耦合系数被定义为:
[0079] 在这些方程中,ε。是真空的介电常数,ω是光的角频率,Pi (P2)是表示隔离
[0080] 的板1(板2)中的功率单位的归一化常数。离和矣分别是板1和板2的电场矢 量。
[0081] 注意,对于相异的波导,k12乒k 21。在自洽的(self-consistent)简正親合模理论 中,
[0082] 耦合系数k取k12和k 21的平均值:
[0084] 对于图5C所示的一般的五层板,方程(11)是直接可得的,即便它是冗长的,
[0085] 并且方程(11)导致对耦合系数的下列表达(方程(13a)和(13b),如下)。

[0098] 为了取得低简正模转换,通过如图4和图2所示将分支波导从宽的始端至窄的末 端锥变,方程(10)中的第一括号中的项减小。作为示例,波导(例如,图2的分支波导230) 具有带氧化娃包层(nt= 1. 46)的折射率η。= 2. 36的120nm厚TiOx芯。辅助层是700nm 厚的SiONx,其折射率1= 1. 70。光源(例如图2的光源204)是边缘发射激光二极管,它 是TE极化的并具有发射波长λ = 830nm。二极管的慢轴平行于波导平面并且TE。。模将在 波导输入耦合器中被激发。波导输入耦合器(例如图2的波导输入耦合器220)在始端为 170nm宽(例如在远端222的Wn)并朝向其端部线性地越来越宽(例如在近端224的W12)。 对于效率和模阶次转换两者而优化端部宽度(例如在近端224的W12)。从波导输入耦合器 的始端(例如波导输入耦合器220的远端222)至转换器的末端(例如至近端224)的传播 长度为120 μ m。
[0099] 回到图4,如所指出的那样,分支波导400具有遵循类余弦形状的中线Μ :
[0101] 其中分支偏移0和L如图4所示,而m是控制形状斜率的参数。当m= 2时,得出 余弦形状,而当m < 2时,在转换器端部(即近端404)给予更为平滑的改变。
[0102] 方程(10)的第一括号中的项是分支波导起始宽度(即图4中的I)的传播长度 的函数。随着分支起始宽度增加,该项显著地减小。在远端402附近,该项对于所有情形都 接近零,因为X非常大;在转换器末端(即在近端404),该项对于起始宽度是相等的,因为 分支波导近端宽度与波导输入耦合器近端宽度一样宽,因此X = 0。
[0103] 至于该项在方程
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