专利名称：排气小车式连续排气处理中不合格屏板的检测方法
技术领域：
本发明是涉及例如在用排气小车对等离子显示屏板(PDP)等的中空屏板内部进行连续排气时的不合格屏板的检测方法。
背景技术：
以往，PDP等的屏板内真空排气的方法有间歇处理式和连续处理式真空排气的方法。在上述任一方式的真空排气的方法中，真空排气处理按下述方法进行的使多只屏板大致保持垂直状态或水平状态位于炉内，同时，将装配在各屏板上的顶管分别与排气头相接，而各排气头通过排气集管与真空排气装置(真空泵)相接。另外，在PDP中，对屏板内进行真空排气后，须要封入放电气体，因此，所述排气集管上了解有放电气体供给管。
这样，由于各屏板的排气头通过排气集管与真空排气装置(真空泵)相接，故部份屏板存在顶管与排气头连接不良，屏板的密封不良或顶管破损等成为排气不好原因的缺陷，另外，当在排气处理中发生上述的缺陷时，则会导致所有的屏板排气不良。
另一方面，上述排气不良的检测，系将真空计装在上述排气集管上，用该真空计监视排气集管的真空度状态进行的。例如，当排气处理中顶管发生破损，则排气集管的真空度急剧降低。这时，在间歇处理方式中，操作员手动操作各屏板的排气开关阀，确定不合格屏板，并将特定屏板的排气开关阀调在关闭状态，由此对应上述情况。在连续处理方式中，边使装载多只屏板的排气小车在炉内移动、边进行排气处理，因此，从作业安全方面看，与间歇处理方式同样对应(人工确认)是困难的。从而，在排气处理结束后(从连续炉搬出后)，用上述真空计确认排气集管的真空度状态来对应。
然而，搭载在排气小车的多只屏板中即使只有1个屏板不合格，由于搭载在排气小车的全部屏板是在排气不良的状态下实施规定的排气处理，所以，在上述连续处理方式中的所述对应措施会产生生产效率降低的问题。
本发明的目的在于提供一种由排气小车进行排气处理、不合格屏板的检测方法，所述检测方法检测排气处理中成为排气不良原因的屏板，对其余屏板继续进行排气处理，由此防止生产效率降低。
发明内容
为达到上述目的，本发明提供了一种由排气小车式连续排气处理方法，对不合格屏板进行检测的方法，所述方法至少在载持排气装置的排气小车上保持多个屏板，将各屏板的顶管与排气小车的排气头相接，同时，用各自装有开关阀的排气管通过排气集管使上述排气头与排气装置相接，边使该排气小车在炉内移动边进行排气处理。此时，检测得知上述多只屏板排气不良时，将各屏板的上述开关阀全部关闭。然后，依次开关各屏板的开关阀测定各屏板的真空度，将所测得的其真空度在容许范围以外屏板作为不合格屏板。
附图的简单说明
图1是本发明的玻璃屏板的小车式处理设备的平面简图。
图2是图1密封处理(排气)区的放大剖视图。
图3是夹着玻璃屏板组装体的排气小车的剖面图。
图4是玻璃屏板组装体的说明用部份斜视图。
图5是列示排气工序中不合格屏板的检测状态的排气曲线图。
图6是排气小车另一实施方式的剖视图。
图7是图6中屏板叠放状态的平面图。
图8是玻璃屏板组装体垂直状态错开保持形式一例的正面图。
图9是玻璃屏板组装体倾斜错开保持形式一例的侧面图。
图中，T为排气小车式连续式炉，A为密封处理区，B为排气区，C为冷却区，Pa为顶管，P1为屏板组装体，P2为屏板，W1为表面玻璃基板，W2为背面玻璃基板，7为开口部，10为排气小车，14为真空排气泵，15为放电气体泵，16a、16b、20为电磁开关阀，17为排气集管，18为排气头，19为排气管，21为真空计21，22为控制器。
具体实施例方式
以下，依据图1～图5说明本发明实施方式。
本发明适用的排气小车式连续式炉T系在密封处理后继续进行排气处理的设备。如图1和图2所示，炉床全长上设有开口部7，并且分别由多只炉室组成的密封处理区A、排气区B及冷却区C构成。
如图2所示，密封处理区A和排气区B在炉内设置有循环档板1的同时，循环通路2上配置辐射发热管燃烧器或电热器等热源3。炉内气氛是用循环风机4从吸入口5吸入，由上述热源3进行加热，从输出口6排出，藉此，在炉内循环，对下述的玻璃屏板组装体P1进行加热。
又，冷却区C为，除了上述密封处理区A(排气区B)中的热源3外，还具有外部空气导入口或冷却管等的冷却源(未图示)，其他结构与上述密封处理区A(排气区B)同样。
上述玻璃屏板组装体P1如图4所示，由表面玻璃基板W1和带顶管Pa的背面玻璃基板W2构成。上述玻璃屏板将融接用玻璃粘接膏组成的密封剂S涂敷在任何一基板对置的外周边部，使之叠合，用夹钳等夹具K固定成一体。
图4所示夹具K为适用于顶管Pa部份的夹具，在顶管Pa侧的一片a开设其宽幅较顶管Pa直径稍大的长槽b。上述夹具在使顶管Pa位于该长槽b内的状态下，使有贯通孔c的保持构件d嵌合，藉此支承顶管Pa。又，顶管Pa的支承方法不限于上述保持构件d，也可以是其他结构。
用于固定顶管Pa以外部份的夹具上不需上述长槽b。
排气小车10如图2和图3所示那样，是藉由在敷设于上述排气小车式连续式炉T的炉床下的导轨R上的推进装置(未图示)移动的小车。排气小车10上面，配设多只安装构件11，所述安装构件11由支柱11a和保持构件11b所组成，所述支柱11a系贯通上述小车式连续式炉T的开口部7而位于炉内，所述保持构件11b将玻璃屏板组装体P1于大致垂状态下保持在炉宽方向。又，所述安装构件11的支柱11a上，在排气小车10的全长上设有具备若干与开口部7的间隙、遮蔽开口部7的隔热构件12。
又，长为排气小车10上搭载设有真空排气泵14的真空排气系统、和具有放电气体瓶15的放电气体供给系统。所述真空排气系统和放电气体供给系统通过电磁开关阀16a、16b接至排气集管17。排气集管17顶端通过电磁开关阀20，连接有具有排气头18的多根排气管19。同时，并安装有真空计21。另外，排气小车10具备用于下述屏板P2的顶管Pa熔断的密封电热器23。
再有，控制器22接于上述真空计21上。如下所述，上述玻璃屏板P2进入排气工序，在真空计未表示规定的真空度时，上述控制器22检测这一情况，使上述电磁开关阀20一次全部开启后，再顺次开关，由真空计21读取各玻璃屏板P2的真空度，存储规定容许范围外的不合格玻璃屏板P，同时报警。与之同时，关闭该不合格屏板玻璃屏板的电磁开关阀20，再顺次开关其他玻璃屏板P1的电磁开关阀20，检测其真空度。上述各玻璃屏板P2的真空度检测工序是依照内置于上述控制器22内的程序进行，其数据在排气小车10送出炉外时可打印。
上述导轨R如图1所示，贯通排气小车式连续炉T，并被设在炉的侧方(回油管路部)，其两端用装入、抽出转送车Tf1、Tf2连接，上述排气小车10就可循环使用。在上述冷却区C与抽出转送车Tf2之间设置放电气体充入、密封区Zg。
以下，说明本发明的排气小车式连续排气处理中不合格屏板的检测方法。
首先在装卸区Z将上述玻璃屏板组装体P1装入在排气小车10。
此时，如图2和图3所示，上述玻璃屏板组装体P1的顶管Pa插入设在隔热构件12的贯通孔13，用例如未图示的夹钳等适宜手段，将玻璃屏板组装体P1固定于安装构件11，所述玻璃屏板组装体P1在大致垂直状态下，沿小车宽度方向载置固定于排气小车10上。上述顶管Pa与上述排气头18相连。另外，密封加热器23装在顶管Pa部。
如上所述，装载多只玻璃屏板组装体P1的排气小车10用适合的手段搬送到装入转送车Tf1上，并在这里，被移动到排气小车式连续式炉T的装入侧，用推进设备等以连接状态依次装入排气小车式连续式炉T内，同时，在炉内作间歇搬运。从而，上述开口部几乎由各排气小车10的隔热构件12而成封闭状态。
上述排气小车10在排气小车式连续式炉T内移动期间，根据规定的加热曲线图对玻璃屏板组装体P1进行加热、冷却。首先在密封处理区A，密封剂S熔融，密封两玻璃基板W1、W2，形成玻璃屏板P2，并密封顶管Pa。当移动到排气区B时，则关闭上述电磁开关阀16a，打开上述各电磁开关阀20，使各玻璃屏板P2内与真空排气泵14连通。各玻璃屏板P2内排气达10-4～10-7乇，经冷却区送出到炉外。当移动到放电气体充气、密封区Zg，就停止真空排气泵14的运行，并关闭上述电磁开关阀16a，打开电磁开关阀16b。藉此，从放电气体瓶15中将例如氖(Ne)、氩(Ar)、氙(Xe)等放电气体向玻璃屏板P2内充入，以达到规定压力(3400～760乇)。
上述放电气体充气一结束，密封加热器23通电，对顶管Pa密封切断，制成规定的PDP。
之后，排气小车10通过抽出转送车Tf2移动到装卸区Z。在这里卸下上述处理过的PDP，再装上新的玻璃屏板组装体P1，重复上述工序。
可是，在上述方法中，在排气小车式连续炉T内，各玻璃屏板组装体P1被密封成为玻璃屏板P2，而搭载在1台排气小车10的多只玻璃屏板P2是用1台排气装置(真空泵14)同时进行排气处理的，因此，当有部份玻璃屏板P2密封不好、排气头18与顶管Pa接触不良，或顶管Pa破损等成为排气不良的原因的缺陷时，则搭载在该排气小车10上的所有玻璃屏板P2变得排气不良。
从而，在上述排气处理过程中，例如，装在排气集管17的真空计21的真空度急剧降低(见图5.a点)时，控制器22检测到这情况，关闭上述各电磁开关阀20，同时报警，通知搭载在该排气小车10上的玻璃屏板P2中存在不合格品。之后，依据程序依次开关上述电磁开关阀20，确定玻璃屏板不合格。
即，待确认的玻璃屏板P2是合格品时，则装在排气集管17的真空计21指示规定的真空度。若待确认的玻璃屏板P2是不合格品，则上述真空计21不指示规定的真空度。因此，重复上述操作，确定玻璃屏板P2的不合格，并记录其数据。另外，在转移对下一只玻璃屏板P2进行真空度检查时，已确认的玻璃屏板P2的电磁阀20关闭。
如上所述，各玻璃屏板真空度检查结束，不合格的玻璃屏板的电磁开关阀20处关闭状态，而其他玻璃屏板电磁开关阀20打开，继续进行排气处理。另外，排气集管17的真空计21在规定时间内不指示规定的真空度时，也同样处理。
当该排气小车10经过冷却区C排出炉外，则从上述数据确定玻璃屏板P2不合格，在进行实物确认后，最终决定是否作为成品使用，对合格的玻璃屏板充入放电气体、在装卸区Z卸下，与其他的区别开来。
在上述实施方式中，各玻璃屏板组装体P1是在排气小车10上保持大致垂直状态的形式。但如图6及图7所示那样，可以水平状态保持，而且以规定间隔层叠，并且稍微错开。这时，可以将顶管Pa的结构作成设置多处、例如设置于对称位置2处的。另一方面，排气小车10上设置2组上述第1实施方式所示的排气装置，通过电磁开关阀25，将各排气装置的各排气集管18的排气管19接到切换连接清洗气体供给管及放电气体供给管的气体集管24上。同时，各排气集管17的真空计21、21接于共用控制器22。另外，顶管Pa1、Pa2不限于图6所示的向上，也可向下。
将各个玻璃屏板组装体P1的各顶管Pa1、Pa2连接到各个排气装置的排气头18，在玻璃屏板P2内进行排气工序的初期，从两顶管Pa1、Pa2对玻璃屏板P2排气。从一方顶管Pa1供给清洗气体，并从另一顶管Pa2排出。再次对玻璃屏板P2排气后，从另一顶管Pa2供给清洗气体，从顶管Pa1排出，多次重复该工序。
又，玻璃屏板组装体P1作稍微错开保持的形式，如图8所示，可用以大致垂直状态保持玻璃屏板组装体P1的形式，也可适用于如图9(a)、(b)所示，使玻璃屏板组装体P1倾南斜的状态下保持的形式。这样采用使玻璃屏板组装体P1稍微错开保持的形式，则可使玻璃屏板组装体P1的间隔小至不大于顶管突出尺寸。而且，玻璃屏板组装体P1稍微错开保持的形式，在玻璃屏板P2内排气初期，也可以进行用1根顶管多次重复清洁气体的供气和排气组成的排气处理。
在上述各实施方式中，介绍了对玻璃屏板组装体P1进行密封、排气的处理，但上述实施方式也可适用于顶管Pa预先被密封的玻璃屏板P2。此时，可不经过密封工序进行连续排气处理。
又，上述说明中，作为真空排气的对象物是列示了玻璃屏板，但本发明中的作为真空排气的对象物并不限于此，也可是合成树脂屏板、金属屏板。
上述说明介绍了屏板P2内排气后充气的情况，但本发明并不限于此，也可适用于不充气、对顶管Pa密封制成隔热的屏板。
发明效果正如以上说明所明确的那样，若采用本发明，搭载排气装置的排气小车中保持多只屏板，各屏板顶管与排气小车的排气头相接，并且，上述排气头和排气装置用各自有开关阀的排气管经过排气集管相接，使该排气小车在炉内边移动、边进行排气处理时，当检出多只屏板的排气不好，则在驱动排气装置状态下，一下使各屏板开关阀全关闭后，利用依次开关开关阀检测各屏板的排气状态。
从而，藉由被确认为不合格屏板以外的开关阀的打开，可以继续进行合格屏板的排气处理，可将生产效率的降低控制在最小限度。
权利要求
1.一种用于排气小车式连续排气处理中不合格屏板的检测方法，其特在于至少在搭载排气装置的排气小车上保持多只屏板，各屏板的顶管与排气小车的排气头相接，并且，通过排气集管，使上述排气头和排气装置由分别具有开关阀的排气管相接，使该排气小车在炉内移动、边进行排气处理；其特征在于，在检测到上述多只屏板排气不良的场合，将各屏板的所述开关阀全关闭，然后，顺次开关各屏板的开关阀，测定各屏板的真空度，将测得的其真空度在容许范围以外的屏板定为不合格屏板。
全文摘要
提供多只中空屏板搭载在排气小车进行连续排气处理时,在排气过程中确定不合格的屏板,其余屏板进行排气,以防止生产效率降低的不合格屏板的检测方法。至少在搭载排气装置的排气小车(10)中保持多只屏板P2,各屏板顶管Pa与排气小车的排气头(18)相接,并且上述排气头与排气装置用有各自开关阀(20)的排气管(19)通过排气集管(17)相接,当使该排气小车边在炉内移动、边排气处理时,检出多只屏板排气不好的场合,各屏板的上述开关阀全关闭后,依次开关各屏板的开关阀,测定各屏板的真空度,测定的真空度在容许范围之外的定为不合格的屏板。
文档编号H01J11/44GK1383176SQ0211866
公开日2002年12月4日 申请日期2002年4月25日 优先权日2001年4月26日
发明者木曾田欣弥 申请人:中外炉工业株式会社