专利名称：喷头单元及其设置方法、描绘装置、液晶显示装置、有机el装置、电子发射装置、pdp装置 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在滑架上设置多个代表喷墨头的功能液滴喷头的喷头单元、及其设置方法以及描绘装置，进一步涉及液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳装置的制造方法、彩色滤光片的制造方法、有机EL的制造方法、间隔器形成方法、金属布线形成方法、透镜形成方法、光阻器形成方法以及光扩散体形成方法。
背景技术：
以往，在大型的打印机等中，考虑到喷墨头(功能液滴喷头)的效率，在副扫描方向上喷嘴的排列(一排)不是由单个功能液滴喷头，而是由多个功能液滴喷头所构成。这时，多个功能液滴喷头，设置在单个滑架上，作为喷头单元安装在打印机的扫描驱动系上。
这种功能液滴喷头，由于可以从其喷嘴列高精度并且选择性喷出液滴，可以在液晶显示装置以及有机EL显示装置等的彩色滤光片的制造中应用，并且，也可以期待在各种电子器件和光器件等的制造装置中应用。
在这样的应用技术中，需要考虑将数量比较多的功能液滴喷头高精度设置在单个滑架上构成喷头单元，而且根据喷吐对象的液体，也需要考虑造成功能液滴喷头的寿命变短，频繁更换功能液滴喷头(喷头单元)的情况。
在功能液滴喷头的更换中，由于采用电缆和软管与装置侧连接，往往需要进行装卸电缆和软管的操作。特别是，在设置了数量比较多的功能液滴喷头的喷头单元中，需要按功能液滴喷头的个数(严格讲喷嘴列数)进行电缆和软管的装卸作业，可以想象这样的装卸作业不仅繁杂，而且在连接时从软管滴下的功能液粘附在喷头电路板上，成为短路的原因，或者由于功能液而成为腐蚀的原因。另外，装置本身，也需要设置进行装卸作业所需要的空间。
发明内容
本发明的目的在于提供一种针对多个功能液滴喷头可以适合并且高效率进行电缆和软管的装卸作业的喷头单元及其设置方法、描绘装置，以及液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳装置的制造方法、彩色滤光片的制造方法、有机EL的制造方法、间隔器形成方法、金属布线形成方法、透镜形成方法、光阻器形成方法以及光扩散体形成方法。
本发明的喷头单元，在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置多个功能液滴喷头的滑架、在各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，其特征在于包括设置在滑架上、具有与各主电缆连接的多个配线连接器、和一端连接在各功能液滴喷头的喷头基板上而另一端连接在各配线连接器上的多个分立电缆的配线连接组合件、和设置在滑架上、具有与各主导管连接的多个配管连接器、和一端与各功能液滴喷头的功能液导入口上连接而另一端与各配管连接器连接的多个分立导管的配管连接组合件。
依据该构成，通过将与喷头驱动器连接的各主电缆连接在配线连接组合件的各配线连接器上，主电缆通过配线连接组合件的分立电缆与各功能液滴喷头的喷头基板连接。同样，通过将与功能液贮箱连接的各主导管连接在配管连接组合件的各配管连接器上，主电缆通过配管连接组合件的分立导管与各功能液滴喷头的功能液导入口连接。因此，通过意识到装卸作业以及功能液的泄漏的情况下对配线连接组合件的配线连接器以及配管连接组合件的配管连接器进行配置，可以在没有障碍的情况下简单并且圆滑进行主电缆以及主导管的装卸作业。
这时，优选多个配线连接器，至少在1处集中配置。同样，优选多个配管连接器，至少在1处集中配置。
依据该构成，可以1个地方集中进行主电缆以及主导管的装卸作业，可以高效进行主电缆以及主导管的装卸作业。
这时，优选配线连接组合件，进一步包括形成了将多个分立电缆和多个配线连接器连接的布线图案并且安装有配线连接器的转接基板。另外，优选布线图案是将多个分立电缆中的多个集中在一起分别与各配线连接器连接。
依据该构成，可以将配线连接器稳定固定在容易连接的位置上，并且可以减少配线连接器的个数(接脚数不变)。
这时，优选转接基板，通过固定在滑架上的立柱，配置在多个功能液滴喷头的上方。
依据该构成，可以在转接基板和功能液滴喷头之间的间隙中配置配管连接组合件，并且可以防止转接基板和配管连接组合件之间的干扰，容易确保主电缆以及主导管的装卸作业中的作业空间。
这时，优选各分立电缆，一端通过喷头侧连接器连接在喷头基板上而另一端通过转接侧连接器连接转接基板上。
依据该构成，通过分立电缆的喷头侧连接器以及转接侧连接器，可以简单将喷头基板和转接基板连接。
这时，优选各分立电缆，由软扁平电缆构成，喷头侧连接器和转接侧连接器，以相互平行的姿势配置。
依据该构成，由于与喷头基板连接的喷头侧连接器、和与转接基板连接的转接侧连接器以相互平行的姿势配置，软扁平电缆不会出扭曲，相互的连接器部分上不会施加无用的力。因此，即使采用无容器的连接器(抗噪声强)，也可以有效防止连接器的脱落和接触不良。
这时，优选转接侧连接器，朝向上方安装在转接基板上，各分立电缆，通过在转接基板上形成的开口部进行布线。
依据该构成，可以按最短距离对软扁平电缆布线，并且通过开口部可以稳定安装软扁平电缆。
这时，优选配管连接组合件，通过与各功能液导入口连接的多个配管适配器，与多个分立导管连接。
依据该构成，通过配管适配器，可以将功能液导入口和分立导管合适连接，并且装卸作业本身也可以简单进行。
这时，最好进一步包括一体支撑多个配管适配器的适配器支撑部件，适配器支撑部件，在将各配管适配器连接在各功能液导入口的状态下固定在滑架上。
依据该构成，在由适配器支撑部件一体支撑多个配管适配器中，可以集中将与此对应的多个功能液导入口(功能液滴喷头)连接，可以高效进行装卸作业。另外，由于适配器支撑部件固定在滑架上，没有必要右功能液滴喷头支撑配管适配器，可以稳定设置多个配管适配器，并且不会对功能液滴喷头施加无用的外力。
这时，优选在适配器支撑部件上装配有面向各功能液导入口对各配管适配器施加弹力的弹簧。
依据该构成，可以将各配管适配器通过按压封接在各功能液导入口上，即可以通过简单的操作进行稳定的连接。
这时，优选进一步包括一体支撑多个配管连接器的连接器支撑部件，连接器支撑部件，固定在滑架的端部上。
依据该构成，通过连接器支撑部件可以稳定支撑多个配管连接器，并且可以稳定进行主导管向配管连接器的装卸。
这时，优选喷头单元，向一方向滑行移动进行设置，连接器支撑部件，在使多个配管连接器面向滑动方向后方的状态下，固定在滑架中滑动方向后端部上。
依据该构成，可以从喷头单元的滑动方向在胸前一侧连续进行多个主导管的连接(或者拆卸)，可以提高装卸作业的效率。
这时，优选各分立导管，在从配管连接器到配管适配器的路径中分支。
依据该构成，可以减少配管连接器的数量，并且由此也可以减少主导管的数量以及连接部位。
这时，优选进一步包括固定在滑架上的用于手握的一对手柄。另外，进一步包括覆盖配线连接组合件有机配管连接组合件的滑架盖。
依据该构成，可以手握一对手柄使喷头单元移动，可以简单搬运喷头单元。另外，在搬运时，可以保护构成部件，防止构成部件的损伤等。
本发明的喷头单元，在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置多个功能液滴喷头的滑架、在各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，其特征在于包括设置在滑架上、具有与各主电缆连接的多个配线连接器、和一端连接在各功能液滴喷头的喷头基板上而另一端连接在各配线连接器上的多个分立电缆的配线连接组合件。
同样，本发明的喷头单元，在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置多个功能液滴喷头的滑架、在各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，其特征在于包括设置在滑架上、具有与各主导管连接的多个配管连接器、和一端与各功能液滴喷头的功能液导入口上连接而另一端与各配管连接器连接的多个分立导管的配管连接组合件。
依据该构成，通过将各主电缆连接在配线连接组合件的各配线连接器上，主电缆通过配线连接组合件的分立电缆与各功能液滴喷头的喷头基板连接。同样，通过将各主导管连接在配管连接组合件的各配管连接器上，主电缆通过配管连接组合件的分立导管与各功能液滴喷头的功能液导入口连接。因此，通过意识到装卸作业以及功能液的泄漏的情况下对配线连接组合件的配线连接器以及配管连接组合件的配管连接器进行配置，可以在没有障碍的情况下简单并且圆滑进行主电缆以及主导管的装卸作业。
本发明的喷头单元的设置方法，是将上述喷头单元设置在描绘装置中的喷头单元的设置方法，其特征在于包括将喷头单元临时设置在描绘装置的设置位置的胸前一侧位置上的临时设置工序、在临时设置后、在各配线连接器上连接各主电缆并且在各配管连接器上连接各主导管的配管、配线连接工序、在配管、配线连接工序之后、将喷头单元从临时设置位置送入到设置位置进行正式设置的正式设置工序。
依据该构成，由于在设置位置的胸前一侧位置上，进行各主电缆以及主导管的连接，通过在临时设置位置上确保足够的作业空间，可以圆滑进行主电缆以及主导管的装卸作业，并且在设置位置周围不需要装卸作业用的作业空间。因此，在描绘装置的设置位置上不需要上述作业空间，可以圆滑进行喷头单元的装卸。
本发明的描绘装置，是包括上述喷头单元设置的描绘装置，其特征在于在将喷头单元设置的设置台的靠近胸前一侧具有临时设置喷头单元的临时放置台。
依据该构成，可以在将喷头单元临时设置在临时放置台上的状态下，进行主电缆以及主导管的装卸作业，可以圆滑进行将喷头单元从临时放置台载入设置台上的作业以及从设置台引出的作业。
本发明的液晶显示装置的制造方法，是采用上述喷头单元、在彩色滤光片的基板上形成多个滤光片元件的液晶显示装置的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的滤光片材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出滤光片材料，形成多个滤光片元件。
本发明的有机EL装置的制造方法，是采用上述喷头单元、在基板上的多个像素中分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的发光材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出发光材料，形成多个有机EL发光层。
本发明的电子发射装置的制造方法，是采用上述喷头单元、在电极上形成多个荧光体的电子发射装置的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的荧光材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于电极进行相对扫描，选择性喷出荧光材料，形成多个荧光体。
本发明的PDP装置的制造方法，是采用上述喷头单元、在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的荧光材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于背面基板进行相对扫描，选择性喷出荧光材料，形成多个荧光体。
本发明的电泳显示装置的制造方法，是采用上述喷头单元、在电极的多个凹部中形成电泳体的电泳显示装置的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的电泳体材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于电极进行相对扫描，选择性喷出电泳体材料，形成多个电泳体。
这样，通过在液晶显示装置的制造方法、有机EL(Electroluminescent)装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP(Plasma Display Panel)装置的制造方法以及电泳装置的制造方法中，适用上述喷头单元，可以在适当的位置上以适当的量选择性供给各装置所要求的滤光片材料和发光材料。另外，利用喷头单元可以迅速提供专用的液滴喷头。此外，液滴喷头的扫描，虽然一般采用主扫描以及副扫描，采用一个液滴喷头构成一整行时，则只需要副扫描。另外，电子发射装置，是包括所谓的FED(Field Emission Display)装置的概念。
本发明的彩色滤光片的制造方法，是采用上述喷头单元、制造在基板上配置多个滤光片元件所构成的彩色滤光片的彩色滤光片的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的滤光片材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出滤光片材料，形成多个滤光片元件。
这时，优选形成覆盖多个滤光片元件的覆盖涂敷膜，在形成滤光片元件之后，向多个功能液滴喷头中导入透光性的涂敷材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出涂敷材料，形成覆盖涂敷膜。
本发明的有机EL的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项的喷头单元、在基板上配置包含EL发光层的多个像素构成的有机EL的制造方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入各色的发光材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出发光材料，形成多个有机EL发光层。
这时，优选在多个EL发光层和基板之间与EL发光层对应形成多个像素电极，向多个功能液滴喷头中导入液状电极材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出液状电极材料，形成多个像素电极。
这时，优选覆盖多个EL发光层形成对向电极，在形成EL发光层之后，向多个功能液滴喷头中导入液状电极材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出液状电极材料，形成对向电极。
本发明的间隔器形成方法，是采用上述喷头单元、在2张基板之间形成构成微小单元间隙的多个颗粒状的间隔器的间隔器形成方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入构成间隔器的颗粒材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头至少相对于一方基板进行相对扫描，选择性喷出颗粒材料，在基板上形成间隔器。
本发明的金属布线形成方法，是采用上述喷头单元、在基板上形成金属布线的金属布线形成方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入液状金属材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出液状金属材料，形成金属布线。
本发明的透镜形成方法，是采用上述喷头单元、在基板上形成多个微透镜的透镜形成方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入透镜材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出透镜材料，形成多个微透镜。
本发明的光阻器形成方法，是采用上述喷头单元、在基板上形成任意形状的光阻器的光阻器形成方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入光阻材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出光阻材料，形成光阻器。
本发明的光扩散体形成方法，是采用上述喷头单元、在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，其特征在于向多个功能液滴喷头中导入光扩散材料，通过喷头单元使多个功能液滴喷头相对于基板进行相对扫描，选择性喷出光扩散材料，形成多个光扩散体。
这样，通过在彩色滤光片的制造方法、有机EL的制造方法、间隔器形成方法、金属布线形成方法、透镜形成方法、光阻器形成方法以及光扩散体形成方法中适用上述喷头单元，可以在适当的位置上以适当的量选择性供给各电子器件以及各光器件所要求的滤光片材料和发光材料。另外，利用喷头单元可以迅速提供专用的液滴喷头。
图1表示本发明一实施例的描绘装置的外观立体图。
图2表示描绘装置的外观主视图。
图3表示描绘装置的外观侧视图。
图4表示描绘装置的外观俯视图。
图5表示描绘装置的液滴喷吐装置的示意图。
图6表示液滴喷吐装置的拆下中继基板盖后的喷头单元的整体立体图。
图7表示液滴喷吐装置的喷头单元的俯视图。
图8表示液滴喷吐装置的喷头单元的侧视图。
图9表示液滴喷吐装置的喷头单元的主视图。
图10表示喷头单元的配管适配器周围的剖面图。
图11表示本发明实施例的变形例的喷头单元的整体立体图。
图12表示变形例的喷头单元的配管适配器周围的剖面图。。
图13表示液滴喷吐装置的功能液滴喷头的外观立体图。
图14表示液滴喷吐装置的稳定石盘周围的侧视图。
图15表示液滴喷吐装置的稳定石盘周围的俯视图。
图16表示液滴喷吐装置的稳定石盘周围的主视图。
图17表示液滴喷吐装置的稳定石盘的支撑状态的示意图。
图18表示液滴喷出装置的X轴桌台的俯视图。
图19表示液滴喷出装置的X轴桌台的侧视图。
图20表示液滴喷出装置的X轴桌台的主视图。
图21表示液滴喷出装置的主基板识别摄像机周围的立体图。
图22表示液滴喷出装置的Y轴桌台的俯视图。
图23表示液滴喷出装置的Y轴桌台的侧视图。
图24表示液滴喷出装置的Y轴桌台的主视图。
图25表示Y轴桌台的主滑架的立体图。
图26表示Y轴桌台的主滑架的俯视图。
图27A～27C表示喷头单元的设置方法的说明图。
图28A、28B表示采用彩色滤光片的制造方法所制造的彩色滤光片的部分放大图，图28A表示俯视图，图28B表示图28A的B-B′线剖面图。
图29表示彩色滤光片的制造方法的制造工序示意截面。
图30表示采用彩色滤光片的制造方法所制造的液晶显示装置的剖面图。
图31表示在有机EL装置的制造方法中堤岸部形成工序(无机物堤岸)的剖面图。
图32表示在有机EL装置的制造方法中堤岸部形成工序(有机物堤岸)的剖面图。
图33表示在有机EL装置的制造方法中等离子处理工序(近水化处理)的剖面图。
图34表示在有机EL装置的制造方法中等离子处理工序(远水化处理)的剖面图。
图35表示在有机EL装置的制造方法中空穴注入层形成工序(液滴喷吐)的剖面图。
图36表示在有机EL装置的制造方法中空穴注入层形成工序(干燥)的剖面图。
图37表示在有机EL装置的制造方法中表面改质工序(液滴喷吐)的剖面图。
图38表示在有机EL装置的制造方法中表面改质工序(干燥)的剖面图。
图39表示在有机EL装置的制造方法中B发光层形成工序(液滴喷吐)的剖面图。
图40表示在有机EL装置的制造方法中B发光层形成工序(干燥)的剖面图。
图41表示在有机EL装置的制造方法中R·G·B发光层形成工序的剖面图。
图42表示在有机EL装置的制造方法中对向电极形成工序的剖面图。
图43表示在有机EL装置的制造方法中密封工序的剖面图。
具体实施例方式
以下参照
本发明的实施例。喷墨打印机的喷墨头(功能液滴喷头)可以高精度喷出微小墨滴(液滴)成圆点状，例如通过在功能液(喷出对象液)中采用特殊墨水、或者感光性·发光性树脂等，可以期待应用到各种器件的制造领域中。另外，在应用技术中，粘性高的功能液等会对功能液滴喷头的耐用性有很大的影响，因此，对于高精度地组装在在滑架上的多个功能液滴喷头的喷头单元，需要能简单安装在装置上，或者能简单更换。
本发明的喷头单元以及设置该单元的描绘装置，适用于例如液晶显示装置和有机EL装置等的所谓平板显示器的制造装置中，从其多个功能液滴喷头中喷出滤光片材料或者发光材料等功能液(喷墨方式)，在液晶显示装置中形成R、G、B的滤光片元件、或者在有机EL装置中形成各像素的EL发光层以及空穴注入层。
为此，在本实施例中，以在有机EL装置的制造装置中组装的描绘装置为例，说明该喷头单元以及喷头单元的设置方法。另外，在其它所谓平板显示器的制造方法中适用该喷头单元的例子也进行说明。
如图1到图4所示，描绘装置1，包括液滴喷出装置10和与其一同设置的附带装置11。附带装置11包括向液滴喷出装置10供给发光功能材料(发光材料功能液)、同时回收不要的功能液的功能液供给回收装置13、向各构成部件供给驱动、控制用的压缩空气的空气供给装置14、抽出空气的抽真空装置15以及向功能液滴喷头7提供维护的维护装置16。
而且，这些液滴喷出装置10及附带装置11，虽然图中未画出，被收容在清洁室形式的容器(处理室)中，包含从多个功能液滴喷头7喷出功能液的动作的一系列制造工序，在惰性气体(氮气)环境中进行。
液滴喷出装置10包括设置在地面上的台架21、设置在台架21上的稳定石盘22、设置在稳定石盘22上的X轴桌台23、以及与其垂直的Y轴桌台24、悬挂设置在Y轴桌台24上的主滑架25、设置在主滑架25上的喷头单元26。喷头单元26，将在后面详述，通过子滑架(滑架)41设置有多个功能液滴喷头7。另外，与该多个功能液滴喷头7对应，在X轴桌台23的吸附台281上放置基板(工件)W。
在本实施例的液滴喷出装置10中，具有与功能液滴喷头7的驱动(功能液滴选择性喷出)同步地移动基板W的构成，功能液滴喷头7的所谓主扫描，是沿X轴桌台23的X轴方向作往返的两种运动。与此相对应，所谓副扫描是由Y轴桌台24使功能液滴喷头7在Y轴方向上作往返运动。此外，上述主扫描也可以单是沿X方向的来(或者回)的运动。
另一方面，喷头单元26的起始位置是在图2以及图4中的左端位置，并且从该液滴喷出装置10的左方进行喷头单元26的放入或者更换(后面详述)。另外，基板运送装置从图中面前侧靠近(图中未画出)，将从该面前侧搬入或者搬出基板W。然后，在该液滴喷出装置10的图中所示右侧上一体添置上述附带装置11的主要构成。
附带装置11包括与上述台架21以及稳定石盘22相邻配置的箱体形式的公共机台31、设置在公共机台31内的一方的半部内的上述空气供给装置14以及抽真空装置15、将主要装置收容在公共机台31内的一方的半部内的上述功能液供给回收装置13、将主要装置收容在公共机台31上的上述维护装置16。此外，图中的符号17，表示在主贮箱(图中未画出)和喷头单元26之间的功能液流路中设置的功能液供给回收装置13的中间贮箱。
维护装置16包括定期对功能液滴喷头7冲洗(从所有喷嘴喷出功能液并扔掉)的冲洗单元33、吸出功能液滴喷头7的功能液并进行保管的清洁单元34、擦拭功能液滴喷头7的喷嘴形成面的擦拭单元35。清洁单元34和擦拭单元35配置在上述公共机台31上，冲洗单元33在基板W的附近，设置在X轴桌台23上。
在此，参照图5的示意图，简单说明在氮气环境下工作的描绘装置1的一系列动作。首先，作为准备阶段，将用于作业的基板用的喷头单元26运入到液滴喷出装置10中，设置在主滑架25上。将喷头单元26设置到主滑架25上之后，Y轴桌台24使喷头单元26移动到图之外的喷头识别相机的位置上，由喷头识别相机对喷头单元26的位置进行识别。在此，根据识别结果，对喷头单元26进行θ校正，并且在数据上进行喷头单元26在X轴方向以及Y轴方向的位置校正。位置校正之后，使喷头单元(主滑架25)26返回到起始位置。
另一方面，在X轴桌台23的吸附台281上放入基板(每次放入基板)后，在该位置(传递位置)由主基板识别相机识别基板的位置。根据该识别结果，对基板W进行θ角度校正，并且在数据上进行基板W在X轴方向以及Y轴方向的位置校正。位置校正之后，使基板(吸附台281)W返回到起始位置。此外，在对X轴以及Y轴桌台23、24进行初始调整时，在吸附台281上放置校准面膜，由后述的副基板识别相机308进行初始调整。
这样准备结束后，在实际的液滴喷出作业中，首先驱动X轴桌台23，使基板W在主扫描方向上往返运动，同时驱动多个功能液滴喷头7，进行向基板W选择性喷出功能液滴的喷出动作。基板W返回后，然后驱动Y轴桌台24，使喷头单元26在副扫描方向上移动1行距后，再次使基板W在主扫描方向上作往返运动，进行功能液滴喷头7的驱动。然后，经过数次重复后，完成从基板W的端到端(整个区域)的液滴喷出。
另一方面，和上述动作并行，向液滴喷出装置10的喷头单元(功能液滴喷头7)26，以空气供给装置14作为供给源从功能液供给回收装置13连续供给功能液，并且在吸附台281上，利用抽真空装置15对基板W进行空气吸引。另外，在要进行液滴喷出作业之前，使喷头单元26靠近清洁单元34以及擦拭单元35，从功能液滴喷头7的所有喷嘴138吸出功能液，然后对喷嘴形成面139进行擦拭。在液滴喷出作业中，适当使喷头单元26靠近冲洗单元33，进行冲洗。
此外，在本实施例中，虽然是使喷出对象的基板W在主扫描方向(X轴方向)上相对于喷头单元26移动，也可以是使喷头单元26在主扫描方向上移动的构成。另外，也可以是固定喷头单元26，而使基板W在主扫描方向以及副扫描方向上移动的构成。
然后，对上述液滴喷出装置10的各构成装置进行说明，为了便于理解，先详细说明喷头单元26。
图6到图9表示喷头单元26的结构图。如这些图所示，喷头单元26包括子滑架41、设置在子滑架41上的多个(12个)功能液滴喷头7、用于将各功能液滴喷头7分别安装在子滑架41上的多个(12个)喷头支撑部件42。12个功能液滴喷头7在左右各设置6个，按照与主扫描方向成给定倾角进行配置。
另外，各6个功能液滴喷头7相对于副扫描方向相互错位配置，12个功能液滴喷头7的所有喷嘴138(后述)在副扫描方向连续(一部分重复)。即，本实施例的喷头排列，是在子滑架41中朝同一方向倾斜配置的6个功能液滴喷头7成2列排列，并且各喷头列之间功能液滴喷头7相互之间转动180°配置。
该排列图案只是一例，例如可以使各喷头列中相邻的功能液滴喷头7、7之间相互相差90°进行配置(相邻喷头之间成八字形状)，或者各喷头列之间的功能液滴喷头7相互成90°配置(列间喷头之间成八字形状)。无论怎样，12个功能液滴喷头7的所有喷嘴138所形成的圆点在副扫描方向上只要是连续的即可。
另外，对于各种基板W，如果功能液滴喷头7是专用部件，则没有必要倾斜设置，只要配置成锯齿状或者阶梯状即可。进一步讲，只要能构成给定长度的喷嘴列(圆点列)，既可以由单个功能液滴喷头7构成，也可以由多个功能液滴喷头7构成。即，功能液滴喷头7的个数和列数、以及配置图案可以是任意的。
子滑架41包括有一部分切口的略方形的主体板44、设置在主体板44的长边方向的中间位置上的左右一对定位栓45、45、安装在主体板44的两长边部分上的左右一对支撑部件46、46、设置在各支撑部件46的端部上的左右一对手柄47、47。左右手柄47、47，是将喷头单元26置入到上述液滴喷出装置10中时，为了用手拿住喷头单元26的部位。另外，左右支撑部件47、47是为了将子滑架41固定在液滴喷出装置10的设置部上的部位(均在后面详述)。
进一步，在子滑架41上，位于分成2列的功能液滴喷头群7S的上侧、设置与这些功能液滴喷头7连接的配管连接组合件51以及配线连接组合件53。配管连接组合件51由左配管合件51a、右配管合件51b以及连接单元52构成，与连接在上述功能液供给回收装置13上的主软管(主导管54)配管连接。同样，配线连接组合件53由左配线合件53a以及右配线配线53b构成，与控制系的主电缆55配线连接。此外，在图6到图9中，省略了一方(左侧)的左布线配线53a。
主体板44，由不锈钢等厚板构成，在左右形成为安装各6个功能液滴喷头7的一对安装开口61、61，并且在适当位置上形成为减轻重量的多个开口62。各安装开口61，连续形成安装6个功能液滴喷头7的开口部位61a，将6个功能液滴喷头(功能液滴喷头群7S)7并排放置，其轴线相对于主体板44的轴线稍微倾斜。
各支撑部件46，采用不锈钢厚板等构成，形成有用于固定的2个固定孔(自由尺寸孔)64、64以及2个螺钉孔65、65，在这些固定孔64、64以及螺钉孔65、65之间形成为插入定位用栓的栓孔66。在将喷头单元26向液滴喷出装置10上设置时，用栓孔66进行定位并且用2个螺钉孔65、65进行螺纹固定，将在后面详细说明。
左右一对定位栓45、45，以图像识别为前提，是将子滑架41在X轴、Y轴以及θ角度方向上定位(位置识别)的基准，从主体板44的背面上凸出进行安装。各定位栓45形成为圆柱形，在其前端面上形成定位标记。这时，对各定位栓45的前端面45a进行镜面加工，在该前端面45a的中心位置上穿通设置成为定位标记的直径0.3mm左右的小孔。
这样形成的定位栓45，其前端面45a朝下面向，压入到在子滑架(主体板44)41上形成的安装用孔部分中。压入到子滑架41中的定位栓45，与从子滑架41凸出的功能液滴喷头7大致成相同高度，从主体板44的背面凸出(参见图9)。
左右的手柄47、47，用于用手拿住有一定重量(7Kg左右)的喷头单元26，各手柄47，由成为握持部分的手柄主体68、和从手柄主体68的下端直角延伸的臂部69构成「L」字形。手柄主体68，其上端部形成防滑用的粗径部70。另外，在手柄主体68的外周面上，实施防滑用的滚花加工。
臂部69在水平方向延伸，其前端部采用螺钉固定在子滑架41的支撑部件46上。即，各手柄47，可自由装卸地安装在子滑架41上。这样，左右的手柄47、47，站立在从子滑架(主体板44)41的长边方向的端部凸出的位置上，即远离功能液滴喷头7的位置上，进行设置。
左右各配管组合件51a、51b，具有在6功能液滴喷头7上从上侧直立设置进行连接的6组配管适配器81，并且具有将各配管适配器81和上述连接单元52连接的多根分离软管(分离管)82。连接单元52，具有其一端与上述主软管54连接，而另一端与分离软管82连接的12个配管连接器83。
各组配管适配器81，如图10所示，由身高的高配管适配器81a和身矮的低配管适配器81b构成，分别从上侧与后述的功能液滴喷头7的2根连接针132、132连接。高配管适配器81a以及低配管适配器81b，均是由通过上下2个O圈85、85与连接针132、132液密性连接的适配器主体86、液密状安装在适配器主体86的上部并且脖子可转动的连接器87所构成。
高配管适配器81a的适配器主体86形成为比较长，低配管适配器81b的适配器主体86形成为比较短，使相同结构的各连接器87、87分处在上下位置上，使连接器(的连接口)87、87相互之间互不干扰，进行配置。然后，各连接器87的连接口87a向连接单元52内向倾斜配置，分别与分离软管82连接。此外，从连接单元52的各配管连接器83延伸的分离软管82，在途中用Y字形转接器89分支，与各组的高配管适配器81a以及低配管适配器81b连接(图中只画出了1处)。
连接单元52，如图6到图9所示，位于上述一对手柄47、47之间，具有12个配管连接器83、支撑这些配管连接器83的支撑板91、阻止配管连接器83从支撑板91脱落的止拔部件92、将支撑板91固定在子滑架41的端部的支架93。即，由支撑板91、止拔部件92以及支架93，构成权利要求书中所说的连接支撑部件。
支架93，其基端侧固定在子滑架41的端部上面，使支撑在支撑板91上的配管连接器83位于两手柄47、47之间，在水平方向上延伸。12个配管连接器83，按照与横向垂直的姿势，在支撑板91上分成上下2列，每列各6个横向并排配置。
各配管连接器83是管套式的连接器，由带阶梯的眮部95、与眮部95的前后连接的流入侧连接口96以及流出侧连接口97所构成。这时，配管连接器83，通过在支撑板91上形成的安装孔98中从手柄47一侧嵌接该带阶梯的眮部95并且在该状态下用止拔部件92压住眮部95的端，被固定在支撑板91上。
止拔部件92，由具有配置在2列的配管连接器83的中间的一对脚部101a的止拔片101、穿通各脚部101a与支撑板91螺钉固定的一对固定螺钉102、102所构成，用止拔片101对上下各6各配管连接器83整体按压。此外，在各配管连接器83的流入侧连接口96以及流出侧连接口97中，优选至少与主软管54连接的流入侧连接口96采用单触接头的构成。
在这样构成的配管连接组合件51中，由于与各功能液滴喷头7连接的多个配管连接器83，集中配置在手柄47侧前面，可以高效率并且简单与装置侧的多条主软管54连接(装卸)。另外，在主软管54的装卸作业中，即使出现功能液泄漏，也不会粘附在后述的喷头基板133和子滑架41上，可以有效防止喷头基板133的短路和子滑架41的腐蚀等。
此外，12个配管连接器83，也可以横向排成1列或者按照锯齿状进行配置。另外，也可以纵向排列配置。进一步，将多条主软管54集束在一个管座上(单元化)，然后将其与连接单元52统一连接(单触接头)。
另一方面，左右各配线合件53a、53b，包括直立设置在子滑架41的左右各端部上的3个弯曲支撑部件111、111、111(参见图11)、固定弯曲支撑部件111的上端上的转接基板112、在转接基板112上直立设置的4个配线连接器113、将转接基板112和6个功能液滴喷头7连接的以2个为一组共计6组的软扁平电缆(分立电缆)114。这时，转接基板112，位于功能液滴喷头群7S的上侧、即上述配管适配器81的上侧，成水平配置。
1组2条软扁平电缆114，分别在其两端上设置喷头侧连接器116以及转接侧连接器117，各喷头侧连接器116，分别与各功能液滴喷头7的双联喷头基板133的一对缆座连接器118、118连接。另外，2条软扁平电缆114穿通在转接基板112上形成的开口槽119，延伸到转接基板112的上侧并且折返，将各转接侧连接器117分别与位于开口槽119的两侧的转接基板112的缆座连接器120连接。这时，喷头侧连接器116和转接侧连接器117，按照和喷头基板133的倾斜度相同的倾斜度进行配置，避免软扁平电缆114出现扭曲。
在转接基板112中，在短边方向的内侧半部上配置上述多个缆座连接器120，在外侧半部上成2列配置上述4个配线连接器113。然后，在转接基板112的表面，形成将共计12个缆座连接器120集中在4个配线连接器113上的布线图案122。即，1个配线连接器113具有3个缆座连接器120的连接脚。这时，各配线连接器113，朝向上方固定在转接基板112上，从上侧与上述主电缆55连接(插拔)。
在这样构成的配线连接组合件53中，由于与各功能液滴喷头7连接的多个配线连接器133，集中配置在左右2处地方，可以高效率并且简单与装置侧的多条主电缆55连接(插拔)。另外，通过形成布线图案122的转接基板112，可以减少配线连接器113的个数。
此外，也可以使转接基板112延伸到上述连接单元52，将共计8个配线连接器113并排设置在连接单元52的上侧。这样，可以更加高效率与主电缆55进行连接。另外，可以降低后述转接基板盖125的高度。
另一方面，如图11所示，在该喷头单元26上进一步设置覆盖配线连接组合件53以及配管连接组合件51的转接基板盖(滑架盖)125。转接基板盖125由从配线连接组合件53的侧面覆盖其直立部的一对侧面盖126、126、横跨一对侧面盖126、126之间的上面盖127所构成，其中上面盖127，在将喷头单元26设置在液滴喷出装置10上之后进行安装。
另外，在图11中，设置有成为上述实施例的变形例的配管连接组合件51。在该左右各配管合件51啊、51b中，6组的配管适配器81被支撑在紧固板(适配器支撑部件)104上，该紧固板104，在其两端部上通过一对衬垫105、105螺钉固定在子滑架41的长边方向的两端部上。
这时，配管适配器81，如图12所示，由与功能液滴喷头7的双联连接针132、132连接的一对配管连接部件106、106、按压各配管连接部件106的一对适配器主体107、107、安装在各适配器主体107的上部上的一对连接器108、108所构成。在各适配器主体107和紧固板104之间，装入对适配器主体107向下方施加弹力的线圈弹簧109，将配管连接部件106嵌接在功能液滴喷头7中，而另一方面将支撑各适配器主体107的紧固板104用螺钉固定在两衬垫105、105上，这样6组适配器主体107、107，分别通过配管连接部件106、106在按压状态下与功能液滴喷头7连接。
在这样的构成中，由于通过紧固板104，将6组配管适配器81统一与功能液滴喷头26连接，可以简单将配管适配器81装入到喷头单元26中。这时，优选在配管适配器81上预先连接分离软管82，然后与功能液滴喷头7连接。此外，在实施例的喷头单元26中，也可以只设置配管连接组合件51以及配线连接组合件53中的一方。
以下参照图13说明功能液滴喷头7。该功能液滴喷头7，是所谓的双联装置，包括具有双联的连接针132、132的液体导入部131、与液体导入部131的侧方相连的双联喷头基板133、与液体导入部131的下方相连的双联泵部134、与泵部134相连的喷嘴形成板135上。在液体导入部131的各连接针132上连接上述配管连接部件106，在喷头基板133的各缆座连接器118上连接上述软扁平电缆114。另一方面，通过该泵部134和喷嘴形成板135，构成向子滑架41的背面侧凸出的长方形喷头主体130。
在喷嘴形成板135上，相互平行设置两列喷嘴列137、137，各喷嘴列137由等间距并排的180个(图中只是示意画出)喷嘴138所构成。即，在喷头主体130的喷嘴形成面139上，夹持其中心线左右对称配置两条喷嘴列137、137。然后，这样构成的功能液滴喷头7，使该喷头主体130从上述安装开口61向子滑架41的背面侧凸出，用螺钉固定在喷头支撑部件42上，然后将该喷头支撑部件42，固定在子滑架41上。
此外，图13中的符号140、140，表示用于识别功能液滴喷头7的位置的2个喷嘴基准标记。喷嘴基准标记140，采用激光蚀刻等在上述最外端的2个喷嘴138、138的附近形成。对于2个喷嘴138、138，由2个喷嘴基准标记140、140确保定位，当2个喷嘴138、138在图像识别中不稳定时，采用这2个喷嘴基准标记140、140进行图像识别。
以下，对液滴喷出装置10的各构成装置进行说明。
图14到图17表示设置了X轴桌台的液滴喷出装置的台架21以及稳定石盘22。如这些图所示，台架21由角材等组装成长方形，在下部分散配置带调节螺钉的多个(9个)支撑脚271。在台架21的上部，以每个边配置2个的比例，安装在运输等移动时用于对稳定石盘22进行固定的多个(8个)固定部件272，并在侧方凸出。
各固定部件272象托架那样形成为L字形状，其根部固定在台架21的上部侧面，其前端通过调节螺钉273顶靠在稳定石盘22的下部侧面上。固定22以非连接状态放置在台架21上，在运输稳定石盘22时，通过该固定部件272，将稳定石盘22在X轴方向以及Y轴方向(前后左右)固定在台架21上，使其不动。
稳定石盘22是为了使功能液滴喷头7以良好精度移动的X轴桌台23以及Y轴桌台24在受到周围环境和振动的影响时不致于出现精度跑偏而设置，是由平面视图为长方形的实心石材构成。在稳定石盘22的下部，设置将其支撑在台架21上的带调节螺钉的3个主支撑脚275以及6个辅助脚276。3个主支撑脚275以3点支撑稳定石盘22，以保持其表面的平行度(包括水平度)，而6个辅助脚276，支撑稳定石盘22的3个主支撑脚272之外的部分，防止其弯曲。
为此，如图17的示意图所示，将3个主支撑脚275、275、275配置成等腰三角形，构成其底边的2个主支撑脚275配置在稳定石盘22的搬入侧(在该图中为左侧，在图1中为面前侧)处。另外，6个辅助脚276、276、276、276、276、276，与上述3个主支撑脚275、275、275一起构成纵横3×3的矩阵形状，均匀分散配置。
这时，在稳定石盘22上，与沿其长边的中心线的轴线一致设置X轴桌台23，与沿其短边的中心线的轴线一致设置Y轴桌台24。这样，X轴桌台23直接固定在稳定石盘22上，Y轴桌台24由4根支柱278通过定位块279固定在稳定石盘22上。这样，Y轴桌台24跨越X轴桌台23在其上侧与其垂直配置。
如图14到图26(X轴移动系)、和图18到图20(θ移动系)所示，X轴桌台23沿稳定石盘22的长边方向延伸，由通过空气吸引将基板W吸附设置的吸附台281、支撑吸附台281的θ台282(参见图18到图20)、具有支撑θ台282的滑动基座286并在X轴方向上可自由滑动支撑θ台282的X轴空气滑杆283、通过θ台282使吸附台281上的基板W在X轴方向移动的X轴直线电机284、与X轴空气滑杆283一起设置的X轴直线标尺285(参见图14到图16)所构成。
X轴直线电机284位于X轴空气滑杆283的喷头单元26的搬入侧，X轴直线标尺285位于X轴空气滑杆283的附带装置11侧，这些均相互平行配置。X轴直线电机284、X轴空气滑杆283以及X轴直线标尺285直接被支撑在稳定石盘22上。在吸附台281上连接与上述抽真空装置15连通的真空管(图中未画出)，通过抽去空气将所设置的基板W吸附，并保持其平坦度。
另外，在X轴直线标尺285的附带装置11侧，与其平行配置，在稳定石盘22上被收纳在箱体288中的状态下，配置X轴缆线支架287。在X轴缆线支架287中，收纳吸附台281的真空管和θ台282用的缆线等，这些缆线可追随吸附台281和θ台282的移动(参见图15以及图16)。
这样构成的X轴桌台23，通过X轴直线电机284的驱动，吸附了基板W的吸附台281和θ台282在X轴空气滑杆283的导引下在X轴方向移动。在该X轴方向的往返运动中，通过从基板搬入侧向深部侧的移动动作，功能液滴喷头7进行相对主扫描。另外，根据后述的主基板识别摄像机290的识别结果，由θ台282进行基板W的θ校正(水平面内的角度校正)。
图21表示主基板识别摄像机。如该图所示，在吸附台281的直上部上，邻近基板W的搬入位置(传递位置)，配置一对主基板识别摄像机290、290。一对主基板识别摄像机290、290可以同时用图像识别基板W的2个基准位置(图中未画出)。
如图22、图23以及图24所示，Y轴桌台24在稳定石盘22的短边方向上延伸，包括吊接上述主滑架25的桥板291、设置在两端支撑桥板291并可在Y轴方向自由滑动的一对Y轴滑杆292、292、与Y轴滑杆292并排设置的Y轴直线标尺293、在一对Y轴滑杆292、292的导引下使桥板291在Y轴方向移动的Y轴螺杆294、使Y轴螺杆294正反转动的Y轴电机295。另外，位于一对Y轴滑杆292、292的两侧，配置一对Y轴缆线支架296、296，并分别收纳在箱体297、297中。
Y轴电机295由伺服电机构成，当Y轴电机295正反转动时，通过Y轴螺杆294，与其螺接的桥板291在一对Y轴滑杆292、292滑杆的导引下在Y轴方向上移动。即，伴随桥板291在Y轴方向上的移动，主滑架25在Y轴方向上移动。该主滑架(喷头单元26)25在Y轴方向的往返运动，通过从起始位置向附带装置11侧的去往移动，使功能液滴喷头7进行副扫描。
另一方面，在上述4根支柱278上，支撑以主滑架25的移动路径的部分作为长方形开口298a的载置台板298，在载置台板298上躲过长方形开口298a相互平行配置一对Y轴滑杆292、292以及Y轴螺杆294。另外，从载置台板298向外侧凸出的一对支撑板299、299上，载置上述一对Y轴缆线支架296、296及其箱体297、297。
在基板搬入侧的Y轴缆线支架296上主要收纳与喷头单元26连接的缆线，在相反侧的Y轴缆线支架296上主要收纳与喷头单元26连接的功能液用的软管(均未在图中画出)。然后，这些缆线以及软管经过上述桥板291与喷头单元26的多个功能液滴喷头7连接。
如图25以及图26所示，主滑架25包括从下侧固定在上述桥板291上其外观呈[I]字形的吊接部件301、安装在吊接部件301的下面的θ台302、吊接在θ台302的下面的滑架主体303。该吊接部件301邻近上述载置台板298的长方形开口298a。
滑架主体303包括安装喷头单元26的底板304、与底板304垂直设置的支撑拱形部件305、在底板304的一端部凸出设置的一对临时放置角铁306、306、设置在底板304的另一端部上的挡板307。另外，在挡板307的外侧，配置识别基板W的上述一对副基板识别摄像机308。
在底板304上，形成使喷头单元26的主体板44活动嵌入的长方形开口311、另外在形成了该长方形开口311的底板304的左右各开口缘部312上设置与在喷头单元26的各支撑部件46上形成的2各螺钉孔65、65以及栓孔66一致的2个通孔313、313以及定位栓314。这时，长方形开口311的宽度和主体板44的宽度大致一致，从侧方设置的喷头单元26，主体板44的左右导引到长方形开口311的左右后，进行插入。
各临时放置角铁306具有足够的厚度(高度)，其外侧弯曲成「L」字形的根部，载置载底板304的端部上进行固定。另外，两临时放置角铁306、306相隔距离，与喷头单元26的两支撑部件46、46的相隔距离相应。因此，喷头单元26，通过将两支撑部件46、46放置在两临时放置角铁306、306上进行临时放置，并且由两临时放置角铁306、306导引向底板304送入。另外，在该状态下，各功能液滴喷头7的喷头主体130在底板304上有足够距离，放置与底板304之间的接触(干扰)。
如图27A～27C的示意图所示，将喷头单元26设置在主滑架25的底板304上时，首先将用手握住两手柄运入的喷头单元26，载置在两临时放置角铁306、306上(临时放置)。在此，虽然没有在图中特别画出，配置拱形部件305上的液滴喷出装置10的主软管54与喷头单元26的配管连接组合件51进行配管连接，主电缆55与配线连接组合件53进行配线连接(图27A)。
连接作业结束后，在此手握手柄47、47，在两临时放置角铁306、306的导引下，将喷头单元26向前方按压，并且使其前端部向下倾斜(图27B)。在喷头单元26倾斜的情况下，将主体板44的前端部插入长方形开口311中，并且使两支撑部件46、46的前端落座在长方形开口311的两开口缘部312、312上。当两支撑部件46、46落座在开口缘部312、312上后，将两支撑部件46、46抬起浮离两临时放置角铁306、306，然后，以两支撑部件46、46的前端为中心，使喷头单元26在开口缘部312上滑动的情况下，进一步向深部推入。
然后，当喷头单元26顶到挡板307上后，慢慢放下喷头单元26的后部，在两支撑部件46、46的栓孔66中嵌入两开口缘部312、312的定位栓314，使喷头单元26落座在底板304上。然后将两支撑部件46、46螺钉固定在底板304上，作业完成(图27C)。
这样，由于将喷头单元26临时放置在主滑架25的临时放置角铁306上，在该状态下进行所需要的配管、配线连接，所以容易进行这些连接作业，并且可以适当将在连接作业后的喷头单元26设置在狭小的空间中。另外，由于是在滑动的情况下将喷头单元26设置在比临时放置角铁306要低一段的底板304上，所以可以使喷头单元26软着陆在主滑架25上进行设置，可以在不出现冲击的情况下圆滑地设置比较重的喷头单元26。
本发明的喷头单元的组装装置以及由此组装的喷头单元1，不仅可以适用于上述描绘装置B中，而且可以适用于各种平板显示器的制造方法、各种电子器件以及光器件的制造方法等中。为此，以液晶显示装置的制造方法以及有机EL装置的制造方法为例，对采用该喷头单元1的制造方法进行说明。
图28A以及图28B，是表示液晶显示装置的彩色滤光片的部分放大图。图28A是俯视图，图28B是图28A的B-B′线剖面图。剖面图各部的阴影中一部分省略。
如图28A所示，彩色滤光片400，包括排列成矩阵状的像素(滤光片元件)412，像素和像素的边界由隔壁413所区分。在像素412的每一个中，导入红(R)、绿(G)、蓝(B)任一种墨水(滤光片材料)。在该例中红、绿、蓝的配置虽然采用了马赛克配置，也可以采用条状形配置、三角形配置等其它配置。
如图28B所示，彩色滤光片400包括透光性的基板411、遮光性的隔壁413。没有形成(除去了)隔壁413的部分构成上述像素412。导入到该像素412中的各色墨水构成成色层421。在隔壁413以及成色层421的上面形成覆盖涂敷层422以及电极层423。
图29是表示依据本发明实施例的彩色滤光片的制造方法的制造工序示意截面图。剖面图各部的阴影中一部分省略。
对由膜厚0.7mm、纵向38cm、横向30cm的无碱玻璃构成的透明基板411的表面，采用在热浓硫酸中添加1重量％的过氧化氢水形成的洗净液进行洗净，采用纯水漂洗后，进行空气干燥，获得清洁表面。在该表面上采用溅射法形成平均膜厚为0.2μm的铬膜，获得金属层414′(图29S1)将该基板在热板上在80℃的温度下进行5分钟的干燥后，在金属层414′的表面上采用旋转喷涂形成光阻层(图中未画出)。在该基板表面上，紧密粘附描绘了所需要的矩阵图案形状的矩阵薄片后，采用紫外光进行曝光处理。然后，将其浸渍在包含8重量％的氢氧化钠的碱性显影液中，除去未曝光部分的光阻层，对光阻层进行图案化。然后，采用以盐酸为主成分的蚀刻液对露出的金属层进行蚀刻，将其除去。这样可以获得具有给定矩阵图案的遮光层(黑矩阵)414(图29S2)。遮光层414的膜厚大约为0.2μm。另外，遮光层414的宽度大约为22μm。
在该基板上，仍然采用旋转喷涂法进一步涂敷负片型的透明碱性系的感光性树脂组成物415′(图29S3)。将其进行100℃、20分钟的与预烘烤后，采用描绘了给定矩阵图案形状的矩阵薄片进行紫外光曝光。未曝光部分的树脂，仍然采用碱性显影液进行显影，用纯水漂洗后进行旋转干燥。最后作为干燥进行200℃、30分钟的后烘烤，使树脂部充分硬化，形成堤岸层415，形成由遮光层414和堤岸层415构成的隔壁413(图29S4)。该堤岸层415的膜厚大约为2.7μm。另外，堤岸层415的宽度大约为14μm。
为了改善由所获得的遮光层414和堤岸层415所区分的着色层形成区域(特别是玻璃基板411的露出面)的墨水湿润性，进行干蚀刻，即等离子处理。具体讲，对在氦气中加入20％的氧气形成的混合气体施加高电压，在等离子环境中形成蚀刻点，使基板在该蚀刻点下通过，进行蚀刻。
然后，在由隔壁413区分的像素412内，采用喷墨方式导入上述R(红)、G(绿)、B(蓝)的各墨水(图29S5)在功能液滴喷头(喷墨头)中，使用利用压电效应的精密喷头，在每个着色层形成区域中选择性喷入10滴微小墨滴。驱动频率采用14.4KHz，即各墨滴的喷出间隔设定成69.5μ。喷头和靶之间的距离设定成0.3mm。为了防止从喷头向靶的着色层形成区域喷出称为飞翔速度、弯曲飞行、卫星环点的分离迷失液滴的发生，按照墨水的物性驱动喷头的压电元件的波形(包含电压)是很重要的。因此，对预先条件设定的波形进行编程，同时涂敷红、绿、蓝3色的墨滴，按照给定配色图案喷涂墨水。
作为墨水(滤光片材料)，例如在聚亚胺酯树脂聚合物中分散无机颜料后，添加作为低沸点溶剂的环己酮以及醋酸丁基、作为高沸点溶剂的丁基卡必醇醋酸酯，进一步作为分散剂添加0.01重量％非离子系活性溶剂，采用粘度6～8厘泊的液体。
然后，使涂敷后的墨水干燥。首先在自然环境下放置3小时，进行墨水层416的凝固，然后在80℃的热板上加热40分钟，最后烘箱中以200℃加热30分钟，进行墨水层416的硬化处理，获得着色层421(图29S6)。
在上述基板上，旋转涂敷透明碱性树脂涂料，形成具有平滑面的覆盖涂敷层422。进一步，在其上面按照所需要的图案形成由ITO(Indium TinOxide)构成的电极层423，作为彩色滤光片400(图29S7)。此外，该覆盖涂敷层422也可以采用功能液滴喷头(喷墨头)按照喷墨方式形成。
图30表示采用本发明的制造方法所制造的电光学装置(平板显示器)的一例的彩色液晶显示装置的剖面图。剖面图各部的阴影中一部分省略。
该彩色液晶显示装置450，通过由彩色滤光片400和对向基板466组合，在两者之间封入液晶组成物465，进行制造。在液晶显示装置450一方的基板466的内侧面上，按照矩阵状形成TFT(薄膜晶体管)元件(图中未画出)和像素电极463。另外，作为其另一方的基板，在与像素电极463对向的位置上配置红、绿、蓝的着色层421，形成彩色滤光片400。
在基板466和彩色滤光片400的各自相互对向的面上，形成取向膜461、464。这些取向膜461、464被进行摩擦处理，可以使液晶分子按一定方向配置。另外，在基板466以及彩色滤光片400的外侧面上，分别粘接偏光板462、467。另外，作为背光一般采用荧光灯(图中未画出)和散射板的组合，通过使液晶组成物465作为改变背光透光率的光快门使用，进行显示。
此外，电光学装置，在本发明中并不限定于上述彩色液晶显示装置，例如薄型的显象管、或者采用液晶快门等的小型电视机、EL显示装置、等离子显示器、CRT显示器、FED(Field Emission Display)显示板等各种电光学装置可以被采用。
以下参照图31到图43说明有机EL装置(有机EL显示装置)及其制造方法。
图31到图43表示包含有机EL元件的有机EL装置的制造过程及其结构。该制造过程包括堤岸部形成工序、等离子处理工序、由空穴注入/输送层形成工序以及发光层形成工序所构成的发光元件形成工序、对向电极形成工序、封接工序。
在堤岸部形成工序中，在预先形成在基板501上的电路元件部502以及电极511(也称为像素电极)的指定位置上，通过积层无机物堤岸层512a和有机物堤岸层512b，形成具有开口部512g的堤岸部512。这样，在堤岸部形成工序中，包括在电极511的一部分上形成无机物堤岸层512a的工序、和在无机物堤岸层上形成有机物堤岸层512b的工序。
首先在形成无机物堤岸层512a的工序中，如图31所示，在电路元件部502的第2层间绝缘膜544b上以及像素电极511上形成无机物堤岸层512a。例如可以通过采用CVD法、喷涂法、溅射法、蒸镀法等在层间绝缘层514以及像素电极511的整个面上形成SiO2、TiO2等无机物膜，形成无机物堤岸层512a。
然后，通过对该无机物膜进行蚀刻等，进行图案化，设置与电极511的电极面511a的形成位置对应的下部开口部512c。这时，需要使无机物堤岸层512a与电极511的周缘部重叠形成。这样，通过使电极部511的周缘部(一部分)和无机物堤岸层512a重叠来形成无机物堤岸层512a，可以控制发光层510的发光区域。
然后，在形成有机物堤岸层512b的工序中，如图32所示，在无机物堤岸层512a上形成有机物堤岸层512b。采用光刻技术等对有机物堤岸层512b进行蚀刻，形成有机物堤岸层512b的上部开口部512d。上部开口部512b设置在与电极面511a以及下部开口部512c对应的位置上。
上半开口部512d，如图32所示，优选形成为比下部开口部512c宽，比电极面511a窄。这样，将无机物堤岸层512a的下部开口部512c包围的第1积层部512e成为比有机物堤岸层512b向电极511的中央侧延伸的形状。这样，通过将上部开口部512d、下部开口部512c连通，形成贯通无机物堤岸层512a以及有机物堤岸层512b的开口部512g。
然后在等离子处理工序中，在堤岸部512的表面和像素电极的表面511a上形成呈现亲墨水性的区域、和呈现斥墨水性的区域。该等离子处理工序大体可以分成预加热工序、将堤岸部512的上面(512f)、开口部512g的壁面以及像素电极511的电极面511a加工成具有亲墨水性的亲墨水化工序、将有机物堤岸层512b的上面512f以及上半开口部512d的壁面加工成具有斥墨水性的斥墨水化工序、冷却工序。
首先，在预备加热工序中，将包含堤岸部512的基板501加热到给定温度。加热，通过例如在载置基板501的平台上安装加热器、用该加热器加热该平台和基板501实现。具体讲，优选将基板501的预备加热温度加热到例如70℃～80℃的范围内。
然后，在亲墨水化工序中，在大气环境下以氧气作为处理气体，进行等离子处理(O2等离子处理)。通过该O2等离子处理，如图33所示，对像素电极511的电极面511a、无机物堤岸层512a的第1积层部512e、有机物堤岸层512b的上部开口部512d的壁面以及上面512f进行亲墨水化处理。通过这样的亲墨水化处理，在这些各面上导入氢氧基，使其具有亲墨水性。在图33中，用点横虚线表示亲墨水处理后的部分。
然后，在斥墨水化工序中，在大气环境下以四氟化甲烷作为处理气体，进行等离子处理(CF4等离子处理)。通过该CF4等离子处理，如图34所示，对上部开口部512d的壁面以及有机物堤岸层的上面512f进行斥墨水化处理。通过这样的斥墨水化处理，在这些各面上导入氟基，使其具有斥墨水性。在图34中，用二点横虚线表示斥墨水处理后的部分。
然后，在冷却工序中，使为进行等离子处理而加热的基板501冷却到室温、或者喷墨工序(液滴喷出工序)的管理温度。通过使等离子处理后的基板501冷却到室温、或者指定温度(例如进行喷墨工序的管理温度)。可以在恒定温度下进行下一步的空穴注入/输送层形成工序。
然后，在发光元件形成工序中，通过在像素电极511上形成空穴注入/输送层以及发光层，形成发光元件。在发光元件形成工序中，包含4个工序。即，将为形成空穴注入/输送层的第1组成物喷吐到上述各像素电极上的第1液滴喷出工序、使喷出的上述第1组成物干燥，在上述像素电极上形成空穴注入/输送层的空穴注入/输送层形成工序、将为形成发光层的第2组成物喷吐在上述空穴注入/输送层上的第2液滴喷出工序、使喷出的上述第2组成物干燥，在上述空穴注入/输送层上形成发光层的发光层形成工序。
首先，在第1液滴喷出工序中，通过喷墨法(液滴喷出法)，将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物喷吐到电极面511a上。此外，在该第1液滴喷出工序以后，优选在没有氢、氧气的氮气环境、氩气环境等惰性气体环境中进行。(此外，只在像素电极上形成空穴注入/输送层时，不形成与有机物堤岸层邻近的空穴注入/输送层)。
如图35所示，在喷墨头(功能液滴喷头)H中填充包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物，使喷墨头H的喷嘴与位于下部开口部512c内的电极面511a对向，一边使喷墨头H和基板501相对移动，一边在电极面511a上从喷嘴喷出相当于1滴液量的第1组成物滴510c。
在此，作为所用的第1组成物，例如，可以采用将聚乙二羟噻吩(PEDOT)等聚乙烯衍生物和聚苯乙烯砜酸(PSS)等混合物溶解在极性溶剂的组成物。作为极性溶剂，例如可以采用异丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)及其衍生物、卡必醇醋酸酯、丁基卡必醇醋酸酯等乙二醇醚类等。此外，空穴注入/输送层形成材料，对于R·G·B的各发光层510b既可以采用相同的材料，也可以针对每个发光层改变。
如图35所示，喷出的第1组成物滴510c在亲墨水化处理后的电极面511a以及第1积层部512e上扩散，浸满下部、上部开口部512c、512d内。喷出到电极面511a上的第1组成物量由下部、上部开口部512c、512d的大小、要形成的空穴注入/输送层的厚度、第1组成物中空穴注入/输送层形成材料的浓度等确定。另外，第1组成物滴510c不限于1次，也可以分数次向同一电极面511a上喷出。
然后，在空穴注入/输送层形成工序中，如图36所示，对喷出后的第1组成物进行干燥处理以及热处理，使包含在第1组成物中的极性溶剂蒸发，在电极面511a上形成空穴注入/输送层510a。在进行干燥处理时，包含在第1组成物滴510c内的极性溶剂的蒸发，主要是在无机物堤岸层512a以及有机物堤岸层512b附近发生，伴随极性溶剂的蒸发，空穴注入/输送层形成材料浓缩后析出。
这样，如图36所示，通过干燥处理，在电极面511a上也发生极性溶剂的蒸发，这样在电极面511a上形成由空穴注入/输送层形成材料构成的平坦部510a。在电极面511a上由于极性溶剂的蒸发速度基本上均匀，空穴注入/输送层的形成材料在电极面511a上均匀浓缩，这样形成均匀厚度的平坦面510a。
然后，在第2液滴喷出工序中，通过喷墨法(液滴喷出法)，在空穴注入/输送层510a上喷出包含发光层形成材料的第2组成物。在该第2液滴喷出工序中，为了防止空穴注入/输送层510a的再次溶解，在形成发光层时所使用的第2组成物的溶剂，采用对空穴注入/输送层510a不溶解的非极性溶剂。
但是另一方面，空穴注入/输送层510a由于对非极性溶剂的亲和性低，将包含非极性溶剂的第2组成物喷出到空穴注入/输送层510a上时，有可能出现空穴注入/输送层510a与发光层510b不能密接，或者发光层510b不能均匀喷涂的情况。为此，为了提高非极性溶剂以及发光层形成材料与空穴注入/输送层510a的表面的亲和性，优选在形成发光层之前实施表面改质工序。
在此首先说明表面改质工序。在表面改质工序中，将采用和发光层形成时所使用的第1组成物的非极性溶剂相同的溶剂或者相近的溶剂作为表面改质用溶剂，通过喷墨法(液滴喷出法)、旋转喷涂法或者浸渍法涂敷在空穴注入/输送层510a上，然后进行干燥。
例如，采用喷墨法涂敷时，如图37所示，在喷墨头H中填充表面改质用溶剂，使喷墨头H的喷嘴与基板(即形成了空穴注入/输送层510a的基板)对向，一边使喷墨头H和基板501相对移动，一边向空穴注入/输送层510a上从喷嘴喷出表面改质用溶剂510d。然后，如图38所示，使表面改质用溶剂510d干燥。
然后，在第2液滴喷出工序中，通过喷墨法(液滴喷出法)，在空穴注入/输送层510a上喷出包含发光层形成材料的第2组成物。如图39所示，在喷墨头H中填充包含蓝色(B)发光层形成材料的第2组成物，使喷墨头H的喷嘴与位于下部、上部开口部512c、512d内的空穴注入/输送层510a对向，一边使喷墨头H和基板501相对移动，一边从喷嘴喷出相当于1滴液量的第2组成物滴510e，将该第2组成物滴510e喷涂在空穴注入/输送层510a上。
作为发光层形成材料，可以采用聚芴系高分子衍生物、(聚)对亚苯基亚乙烯基衍生物、聚亚苯基衍生物、聚噻吩衍生物、苝系色素、香豆素色素、若丹明系色素，或者在上述高分子中掺杂了有机EL材料后使用。例如，可以掺杂四氟乙烯均聚物、苝、9，10-二苯蒽、四苯丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖啶酮等后使用。
作为非极性溶剂，优选空穴注入/输送层510a不溶解的材料，例如，可以采用环乙基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过在发光层510b的第2组成物中采用这样的非极性溶剂，可以在不使空穴注入/输送层510a再次溶解的情况下涂敷第2组成物。
如图39所示，所喷出的第2组成物滴510e在空穴注入/输送层510a上扩散，填满下部、上部开口部512c、512d内。另外，第2组成物滴510e不限于1次，也可以分数次向同一空穴注入/输送层510a上喷出。这时，每次第2组成物的量可以相同，也可以每次都改变第2组成物的量。
然后，在发光层形成工序中，在喷出第2组成物后实施干燥处理以及热处理，在空穴注入/输送层510a上形成发光层510b。干燥处理是使通过对喷出后的第2组成物进行干燥处理后使包含在第2组成物中的非极性溶剂蒸发，形成图40所示的蓝色(B)发光层510b。
然后，如图41所示，和蓝色(B)发光层510b的情况同样，形成红色(R)发光层510b，最后形成绿色(G)发光层510b。此外，发光层510b的形成顺序，并不限于上述顺序，可以按任意顺序形成。例如，可以根据发光层形成材料确定形成顺序。
然后在对向电极形成工序中，如图42所示，在发光层510b以及有机物堤岸层512b的整个面上形成阴极503(对向电极)。此外，阴极503也可以通过积层多个材料形成。例如，优选在发光层附近侧形成自有能比较小的材料，例如，可以采用Ca、Ba等，并且根据材料有时也可能在下层形成薄薄一层LiF等较好。另外，优选在上部侧(封接侧)采用比下部侧自由能更高的材料。这些阴极(阴极层)503，例如优选采用蒸镀法、溅射法、CVD法等形成，特别优选采用蒸镀法形成，这样对发光层510b可以不造成热损伤。
另外，氟化锂也可以只在发光层510b上形成，或者更进一步只在蓝色(B)发光层510b上形成。这时，在其它红色(R)发光层以及绿色(G)发光层510b、510b上，与LiF构成的上部阴极层503b相连接。另外，在阴极12的上部，优选采用由蒸镀法、溅射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜等。另外，在阴极503上，为防止氧化，也可以设置SiO2、SiN等的保护层。
最后，在图43所示的封接工序中，在氮、氩、氦等惰性气体环境中，在有机EL元件504上积层封接用基板505。封接工序优选在氮、氩、氦等惰性气体环境中进行。如果在大气环境中进行，如果在阴极503上形成了针孔等缺陷时，水分和氧气等从该缺陷部侵入到阴极503中，阴极503有可能被氧化，这是不希望的事情。最后，使可弯曲性基板的布线与阴极503连接，同时在驱动IC上连接电路元件部502的布线，获得本实施例的有机EL装置500。
此外，在像素电极511以及阴极(对向电极)503的形成中，也可以采用利用喷墨头H的喷墨方式。即，分别将液体的电极材料导入到喷墨头H中，从喷墨头H喷出该材料，分别形成像素电极511以及阴极503(包含干燥工序)。
同样，本实施例的喷头单元，可以在电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法等中适用。
在电子发射装置的制造方法中，在多个液滴喷头中导入R、G、B各色的荧光材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出荧光材料，在电极上形成多个荧光体。此外，电子发射装置，是包含FED(场致发射显示器)上位概念。
在PDP装置的制造方法中，在多个液滴喷头中导入R、G、B各色的荧光材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出荧光材料，在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体。
在电泳显示装置的制造方法中，在多个液滴喷头中导入各色的电晕体材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出墨水材料，在电极的多个凹部中分别形成电泳体。此外，带电颗粒和染料构成的电泳体，优选被封入到微皿中。
另一方面，本实施例的喷头单元，可以在间隔器形成方法、金属布线形成方法、透镜形成方法、光阻器形成方法以及光扩散体形成方法等中适用。
在间隔器形成方法中，是在2张基板之间形成构成微小单元间隙的多个颗粒状的间隔器，在多个液滴喷头中导入构成间隔器的颗粒材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出颗粒材料，至少在一方的基板上形成间隔器。例如，在上述液晶显示装置和电泳显示装置中要在2基板之间构成单元间隙时是有用的，显然也可以在需要其它这种微小间隙的半导体制造技术中适用。
在金属布线形成方法中，在多个液滴喷头中导入液状金属材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出液状金属材料，在基板上形成金属布线。例如，可以在上述液晶显示装置中将驱动器和各电极连接的金属布线，或者在上述有机EL装置中将TFT等和各电极连接的金属布线中适用。另外，除了这种平板显示器以外，显然也可以在一般半导体制造技术中适用。
在透镜形成方法中，在多个液滴喷头中导入透镜材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出透镜材料，在透明基板上形成微透镜。例如，可以在上述FED装置中可以作为光束聚焦用的器件适用。另外，显然也可以在各种光器件中适用。
在光阻器形成方法中，在多个液滴喷头中导入光阻材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出光阻材料，在基板上形成任意形状的光阻器。例如，可以在上述各种显示装置中堤岸的形成，在成为半导体制造技术的主体的光刻法中，可以在光阻器的涂敷中广泛适用。
在光扩散体形成方法中，采用通过喷头单元的组装装置组装的喷头单元，在多个液滴喷头中导入光扩散材料，通过喷头单元使多个液滴喷头进行主扫描以及副扫描，选择性喷出光扩散材料，形成多个光扩散体。这时，显然也可以在各种光器件中适用。
如上所述，依据本发明的喷头单元，由于主电缆可以通过配线连接组合件与喷头基板连接，并且主导管可以通过配管连接组合件与功能液导入口连接，在没有障碍的情况系可以简单并且圆滑地在功能液滴喷头上进行主电缆以及主导管的装卸作业。因此，可以有效并且合适进行喷头单元的更换作业。
另外，依据本发明的喷头单元的设置方法以及描绘装置，由于在设置位置的胸前的临时设置位置上进行各主电缆以及各主导管的连接，即使在描绘装置中不构成设置用的作业空间，也可以圆滑地进行主电缆以及主导管的装卸作业。因此，可以提高描绘装置的空间利用率，可以有效并且合适进行喷头单元的更换作业。
另一方面，依据本发明的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法等，由于在各装置中可以简单将适合的滤光片材料或者发光材料等导入到喷头单元(功能液滴喷头)中，可以提高制造效率。
另外，依据本发明的彩色滤光片的制造方法、有机EL的制造方法、间隔器形成方法、金属布线形成方法、透镜形成方法、光阻器形成方法以及光扩散体形成方法，由于在各电子器件和各光器件中可以简单将适合的滤光片材料或者发光材料等导入到喷头单元(功能液滴喷头)中，可以提高制造效率。
产业上的利用可能性以上所述的本发明的喷头单元，由于可以高效并且切实地进行多个功能液滴喷头的电缆及输墨管的装卸作业，所以适于应用在大型打印机等中。
权利要求
1.一种喷头单元，其特征在于在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置所述多个功能液滴喷头的滑架，在所述各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，包括设置在所述滑架上的具有与所述各主电缆连接的多个配线连接器、和一端连接在所述各功能液滴喷头的喷头基板上而另一端连接在所述各配线连接器上的多个分立电缆的配线连接组合件、设置在所述滑架上的具有与所述各主导管连接的多个配管连接器、和一端与所述各功能液滴喷头的功能液导入口上连接而另一端与所述各配管连接器连接的多个分立导管的配管连接组合件。
2.根据权利要求1所述的喷头单元，其特征在于至少在1处集中配置所述多个配线连接器。
3.根据权利要求1所述的喷头单元，其特征在于至少在1处集中配置所述多个配管连接器。
4.根据权利要求2所述的喷头单元，其特征在于所述配线连接组合件，进一步包括形成了将所述多个分立电缆和所述多个配线连接器连接的布线图案并且安装有所述配线连接器的转接基板。
5.根据权利要求4所述的喷头单元，其特征在于所述布线图案是将所述多个分立电缆中的多个集中在一起分别与所述各配线连接器连接。
6.根据权利要求4所述的喷头单元，其特征在于所述转接基板，通过固定在所述滑架上的立柱，被配置在所述多个功能液滴喷头的上方。
7.根据权利要求4所述的喷头单元，其特征在于所述各分立电缆的一端通过喷头侧连接器连接在所述喷头基板上，另一端通过转接侧连接器连接所述转接基板上。
8.根据权利要求7所述的喷头单元，其特征在于所述各分立电缆，由软扁平电缆构成，所述喷头侧连接器和所述转接侧连接器，被配置成相互平行的状态。
9.根据权利要求8所述的喷头单元，其特征在于所述转接侧连接器，朝向上方安装在所述转接基板上，所述各分立电缆，通过在所述转接基板上形成的开口部进行布线。
10.根据权利要求1所述的喷头单元，其特征在于所述多个配管连接组合件，通过与所述各功能液导入口连接的多个配管适配器，与所述多个分立导管连接。
11.根据权利要求10所述的喷头单元，其特征在于进一步包括一体支撑所述多个配管适配器的适配器支撑部件，所述适配器支撑部件，在将所述各配管适配器连接在所述各功能液导入口的状态下被固定在所述滑架上。
12.根据权利要求11所述的喷头单元，其特征在于在所述适配器支撑部件上装配有对所述各配管适配器向所述各功能液导入口施加弹力的弹簧。
13.根据权利要求10所述的喷头单元，其特征在于包括一体支撑所述多个配管连接器的连接器支撑部件，所述连接器支撑部件，被固定在所述滑架的端部上。
14.根据权利要求13所述的喷头单元，其特征在于所述喷头单元，向一方向滑行移动进行设置，所述连接器支撑部件，在使所述多个配管连接器面向所述滑动方向后方的状态下，固定在所述滑架中所述滑动方向后端部上。
15.根据权利要求10所述的喷头单元，其特征在于所述各分立导管，在从所述配管连接器到所述配管适配器的路径中分支。
16.根据权利要求1所述的喷头单元，其特征在于进一步包括被固定在所述滑架上的用于手握的一对手柄。
17.根据权利要求1所述的喷头单元，其特征在于进一步包括覆盖所述配线连接组合件以及所述配管连接组合件的滑架盖。
18.一种喷头单元，其特征在于在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置有所述多个功能液滴喷头的滑架，在所述各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，包括设置在所述滑架上的具有与所述各主电缆连接的多个配线连接器、和一端连接在所述各功能液滴喷头的喷头基板上而另一端连接在所述各配线连接器上的多个分立电缆的配线连接组合件。
19.一种喷头单元，其特征在于在包括将导入的功能液从喷嘴选择性喷出的多个功能液滴喷头、设置有所述多个功能液滴喷头的滑架，在所述各功能液滴喷头中连接有与喷头驱动器连接的多个主电缆和与功能液贮箱连接的多个主导管的喷头单元中，包括设置在所述滑架上的具有与所述各主导管连接的多个配管连接器、和一端与所述各功能液滴喷头的功能液导入口上连接而另一端与所述各配管连接器连接的多个分立导管的配管连接组合件。
20.一种喷头单元的设置方法，是将权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元设置在描绘装置中的喷头单元的设置方法，其特征在于包括将所述喷头单元临时设置在所述描绘装置的设置位置的胸前一侧位置上的临时设置工序、在所述临时设置后、在所述各配线连接器上连接所述各主电缆并且在所述各配管连接器上连接所述各主导管的配管、配线连接工序、在所述配管、配线连接工序之后、将所述喷头单元从临时设置位置送入到设置位置进行正式设置的正式设置工序。
21.一种描绘装置，是包括权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元设置的描绘装置，其特征在于在用于设置所述喷头单元的设置台的靠近胸前一侧具有临时设置所述喷头单元的临时放置台。
22.一种液晶显示装置的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在彩色滤光片的基板上形成多个滤光片元件的液晶显示装置的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的滤光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述滤光材料，形成多个所述滤光片元件。
23.一种有机EL装置的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上的多个像素中分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的发光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述发光材料，形成多个所述有机EL发光层。
24.一种电子发射装置的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在电极上形成多个荧光体的电子发射装置的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的荧光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述电极进行相对扫描，选择性喷出所述荧光材料，形成多个所述荧光体。
25.一种PDP装置的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的荧光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述背面基板进行相对扫描，选择性喷出所述荧光材料，形成多个所述荧光体。
26.一种电泳显示装置的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在电极的多个凹部中形成电泳体的电泳显示装置的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的电泳体材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述电极进行相对扫描，选择性喷出所述电泳体材料，形成多个所述电泳体。
27.一种彩色滤光片的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、制造通过在基板上配置多个滤光元件所构成的彩色滤光片的彩色滤光片的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的滤光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述滤光片材料，形成多个所述滤光元件。
28.根据权利要求27所述的彩色滤光片的制造方法，其特征在于形成覆盖所述多个滤光元件的覆盖涂敷膜，在形成所述滤光元件之后，在所述多个功能液滴喷头中导入透光性的涂敷材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述涂敷材料，形成所述覆盖涂敷膜。
29.一种有机EL的制造方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上配置包含EL发光层的多个像素构成的有机EL的制造方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入各色的发光材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述发光材料，形成多个所述有机EL发光层。
30.根据权利要求29所述的有机EL的制造方法，其特征在于在所述多个EL发光层和所述基板之间与所述EL发光层对应形成多个像素电极，向所述多个功能液滴喷头中导入液状电极材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述液状电极材料，形成多个所述像素电极。
31.根据权利要求30所述的有机EL的制造方法，其特征在于覆盖所述多个EL发光层形成对向电极，在形成所述EL发光层之后，在所述多个功能液滴喷头中导入液状电极材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述液状电极材料，形成所述对向电极。
32.一种间隔器形成方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在2片基板之间形成构成微小单元间隙的多个颗粒状的间隔器的间隔器形成方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入构成间隔器的颗粒材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头至少相对于一方所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述颗粒材料，在所述基板上形成所述间隔器。
33.一种金属布线形成方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上形成金属布线的金属布线形成方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入液状金属材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述液状金属材料，形成所述金属布线。
34.一种透镜形成方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上形成多个微透镜的透镜形成方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入透镜材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述透镜材料，形成多个所述微透镜。
35.一种光阻器形成方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上形成任意形状的光阻器的光阻器形成方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入光阻材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述光阻材料，形成所述光阻器。
36一种光扩散体形成方法，是采用权利要求1、18、19中任一项所述的喷头单元、在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，其特征在于向所述多个功能液滴喷头中导入光扩散材料，通过所述喷头单元使所述多个功能液滴喷头相对于所述基板进行相对扫描，选择性喷出所述光扩散材料，形成多个所述光扩散体。
全文摘要
用于对多个功能液滴喷头进行电缆以及软管的装卸操作的喷头单元被设置在滑架(41)上，其包括具有与主电缆(55)连接的多个配线连接器(113)、和一端连接在各功能液滴喷头(7)上而另一端连接在各配线连接器(113)上的多个分立电缆(114)的配线连接组合件(53)、具有与主导管(54)连接的多个配管连接器(83)、和一端与各功能液滴喷头(7)连接而另一端与各配管连接器(83)连接的多个分立导管(82)的配管连接组合件(51)。
文档编号H01J9/227GK1537056SQ0280397
公开日2004年10月13日 申请日期2002年12月18日 优先权日2001年12月20日
发明者小川政彦 申请人:精工爱普生株式会社