专利名称：：准分子灯的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种准分子灯，其具备由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的内部产生准分子放电。
背景技术：
：近年来，开发了例如通过将波长200rnn以下的真空紫外光照射在由金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，而在该真空紫外光及由此所生成的臭氧的作用下处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体的表面的有机污染物质的清洗处理技术、或在被处理体的表面形成氧化膜的氧化膜形成处理技术，并将这些技术实用化。作为照射真空紫外光.的装置，将例如通过准分子放电形成准分子分子、并利用从该准分子分子所放射的光的准分子灯作为光源，在此种准分子灯中，为了更有效率地放射更高强度的紫外线，进行了很多尝试。具体的说，例如参照图4加以说明，记载了如下准分子灯50:具备透射紫外线的由二氧化硅玻璃构成的放电容器51，在该放电容器51的内侧与外侧分别设有电极55、56，其中，在曝露于放电容器51的放电空间S中的表面上，形成紫外线反射膜20。而作为紫外线反射膜，仅由二氧化硅粒子构成、及仅由氧化铝粒子构成的紫外线反射膜被例示于实施例中(参照专利文献l)。在该准分子灯50中，在放电容器51的一部分，未形成紫外线反射膜20，从而形成有出射在放电空间S内产生的紫外线的光出射部58。根据此种构成的准分子灯50，通过在被曝露于放电容器51的放电空间S中的表面上设有紫外线反射膜，在设有紫外线反射膜的区域中，在放电空间S内产生的紫外线由紫外线反射膜反射，因此不会入射至二氧化硅玻璃，而在构成光出射部58的区域中，'紫外线透射二氧化硅玻璃并放射至外部，所以基本上可以有效地利用在放电空间S内产生的紫外线，而且可将构成光出射部58以外的区.域的二氧化硅玻璃的紫外线应变所致的损坏抑制得较小，而可防止产生裂痕的情形。专利文献1:日本专利第3580233号公报然而，在具备如上述的紫外线反射膜的准分子灯中，判明会产生放电容器的轴方向上的照度分布不均匀的问题。
发明内容本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种即使长时间点灯时也可把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、且在放电容器的轴方向上可得到均匀的照度分布的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其特征在于，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。在本发明的准分子灯中，紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，优选是上述二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt。/。以上，更优选为10wt。/。以上。根据本发明的准分子灯，紫外线反射膜由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成，通过使二氧化硅粒子相对于氧化铝粒子的中心粒径具有特定大小的中心粒径，即使长时间点灯时，也不会使得粒界消失而可以维持，因此可有效率地扩散反射真空紫外光而可维持初期反射率，而且可将因二氧化硅粒子与氧化铝粒子的比重差所致的质量差收敛在一定范围内，因此可使形成紫外线反射膜时调整的分散液中的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的流动性一致，其结果，可使紫外线反射膜成为均匀地分散二氧化硅粒子与氧化铝粒子的状态，且相对于放电容器的轴方向可得到均匀的照度分布。图l是表示本发明的准分子灯的一例的构成概略的说明用截面图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的横截面图，(b)是表示(a)的A-A线截面图。图2是表示用于说明二氧化硅粒子及氧化铝粒子的粒径的定义的说明图。图3是表示在0-50wty。的范围内改变实验例3的准分子灯的紫外线反射膜所含的氧化铝粒子的比率时的反射光强度的图表。图4是表示本发明的准分子灯的其它例子的构成概略的说明用截面图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的横截面图，(b)是表示(a)的A-A线截面图。图5是表示本发明的准分子灯的另一例子的构成概略的说明用截面图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的横截面图，(b)是表示垂直于(a)的纸面的平面下的截面的截面图。具体实施例方式图1是表示本发明的准分子灯的一例的构成的概略的说明用截面图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的横截面图，(b)是表示(a)的A-A线截面图。该准分子灯io具备两端被气密地封闭而在内部形成有放电空间S的截面矩形状的中空长条状的放电容器11，在该放电容器11的内部，作为放电用气体例如封入有氤气体、或混合氩与氯的气体。放电容器11是由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃、例如合成石英玻璃构成，具有作为电介质的功能。在放电容器11的长边面的外表面，以在长度方向延伸的方式相对地配置有一对栅格状电极、即作为高电压供给电极发挥功能的一个电极15及作为接地电极发挥功能的另一个电极16，从而成为在一对电极15、16之间夹着作为电介质发挥功能的放电容器11的状态。此种电极例如可以通过将金属构成的电极材料糊膏涂布于放电容器11上、或通过照片印刷形成。在该准分子灯10中，向一个电极15供给点灯电力时，经由作为电介质发挥的放电容器11的壁而在两电极15、16间产生放电，从而形成有准分子分子，并且产生从该准分子分子放射真空紫外光的准分子放电，但为了有效率地利用通过该准分子放电所产生的真空紫外光，将由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜20设于放电容器11的内表面。在此，作为放电用气体使用氙气体时，放出在波长172nm具有峰值的真空紫外线，而作为放电用气体使用混合氟与氯的气体时，则放射在波长175mn具有峰值的真空紫外线。紫外线反射膜20例如在放电容器11的长边面的与作为高电压供给电极发挥功能的一个电极15对应的内表面区域、及与该区域连续的短边面的内表面区域的一部分上形成，而在放电容器11的长边面的与作为接地电极发挥功能的另一个电极16对应的内表面区域上，通过未形成有紫外线反射膜20来构成光出射部(孔径部)18。紫外线反射膜20的膜厚例如优选10~100pm。紫外线反射膜20具有重复产生反射与折射的"扩散反射"的功能，具体原理如下二氧化硅粒子及氧化铝粒子自身具有高折射率从而具有真空紫外光透射性，因此到达二氧化硅粒子或氧化铝粒子的真空紫外光的一部分在粒子表面被反射，同时其它的部分折射而入射至粒子内部，进而入射至粒子内部的大部分光被透射(一部分被吸收)，而再出射之际被折射。此外，紫外线反射膜20由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成，即由陶瓷构成，具有不会产生杂质气体、且耐于放电的特性。构成紫外线反射膜20的二氧化硅粒子，例如可使用将二氧化硅玻璃粉末状地作成细粒子后的物质等。二氧化硅粒子的如下定义的粒径例如在0.01~20pm的范围内，中心粒径(数均粒径的峰值)例如优选为0.110pm，更优选为0.3~3pm。此外，具有中心粒径的二氧化硅粒子的比率优选为50%以上。构成紫外线反射膜20的氧化铝粒子的如下定义的粒径例如在0.110^im的范围内，中心粒径(数均粒径的峰值)例如优选为0.1~3pm，更优选为0.3lfim。此外，具有中心粒径的氧化铝粒子的比率优选为50%以上。构成紫外线反射膜20的二氧化硅粒子及氧化铝粒子的"粒径"是指将紫外线反射膜20在与其表面垂直的方向上切剖时的切剖面中的厚度方向的大约中间位置作为观察范围，通过扫描型电子显微镜(SEM)取得放大投影图像，而以一定方向的两条平行线夹着该放大投影图像的任意粒子时的该平行线的间隔的费雷特(Feret)直径。如图2(a)所示地，具体上，在以单独存在大约球状的粒子A及具有粉碎粒子形状的粒子B等的粒子时，将以朝着一定方向((例如紫外线反射膜20的厚度方向(Y轴方向))延伸的两条平行线夹着该粒子时的对应平行线的间隔作为粒径DA、DB。此外，对于具有初始材料的粒子熔融而接合的形状的粒子C,如图2(b)所示地，对于被判别为初始材料的粒子C1、C2的部分中的各球状部分，测定由朝一定方向(例如紫外线反射膜20的厚度方向(Y轴方向))延伸的2条平线夹着时的该平行线的间隔，将此作为该粒子的粒径DC1、DC2。构成紫外线反射膜20的二氧化硅粒子及氧化铝粒子的"中心粒子"是指将如上得到的各粒子的粒径的最大值和最小值的粒径的范围，例如以O.lpm的范围分成多个区分、例如分成的15区分左右后，属于各个区分的粒子个数(度数)最大的区分的中心值。二氧化硅粒子及氧化铝粒子具有与真空紫外光的波长相同程度的上述范围的粒径，因此可有效率地扩散反射真空紫外光。以上，上述准分子灯10的紫外线反射膜20所含的氧化铝粒子的比率，优选为二氧化硅粒子与氧化铝粒子的合计的5wt。/。以上70wt。/。以下，进一步优选10wt。/。以上70wt。/。以上。从而，即使长时间点灯时，也可将紫外线反射膜20的反射率的降低程度抑制得较小，而可将准分子灯10的放电容器11的轴方向上的照度分布实质上仍维持在点灯初期时的状态。上述准分子灯10的紫外线反射膜20所含的二氧化硅粒子，使用其中心粒径的大小为氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上的，优选使用氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上IO倍以下的。紫外线反射膜如下所述例如可通过"流下法"形成，但由于二氧化硅粒子与氧化铝粒子的比重不相同，因此倾斜放电容器而澄干多余的涂液(分散液)之际，在比重小的二氧化硅粒子留在上端而比重大的氧化铝粒子偏在下端的状态下附着于放电容器中，仍以该状态下干燥、烧成涂液以形成紫外线反射膜时，会产生二氧化硅粒子与氧化铝粒子的浓度坡度。因此，通过使二氧化硅粒子的中心粒径相对于氧化铝粒子的粒径的中心粒径成为一定范围内的大小，可以将因二氧化硅粒子与氧化铝粒子的比重差所致的质量差控制在一定范围内，可使分散液中的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的流动一致，可均匀地分散二氧化硅粒子与氧化铝粒子。此种紫外线反射膜20例如可通过称为"流下法"的方法形成。艮P，在组合了水与PEO树脂(聚氧化乙烯)的具有粘性的溶剂中混合二氧化硅粒子及氧化铝粒子来调配分散液，通过将该分散液流进放电容器11内，在附着于放电容器11的内表面的所定区域之后，利用干燥、烧成，把水与PEO树脂予以蒸发，从而可形成紫外线反射膜20。在此，烧成温度是例如为500-1IOO'C。即使紫外线反射膜为例如通过流下法所形成时，紫外线反射膜的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的中心粒径比也是作成初始材料的粒子的状态的中心粒径比被保持的状态这一情况可如下得以确认例如在由二氧化硅玻璃形成的基材上形成紫外线反射膜后，从基材剥落该紫外线反射膜，并通过以下所示的方法，测定二氧化硅粒子与氧化铝粒子各自的粒径。二氧化硅粒子的粒径的测定可以如下进行将从基材剥落的紫外线反射膜，放进例如85%磷酸与97%硫酸的混酸中"在微波炉中将氧化铝粒子溶解，取出通过将该溶解液加热蒸发后所剩余的二氧化硅粒子，以纯水进行清洗，经干燥之后，依据上述的方法，利用SEM进行测定。此外，氧化铝粒子的粒径的测定可以如下进行将从基材剥落的紫外线反射膜，使用例如47%氢氟酸将二氧化硅粒子溶解，取出通过将该溶解液加热并使二氧化硅粒子与氢氟酸蒸发后所剩余的氧化铝粒子，以纯水进行清洗，经干燥之后，依据上述的方法，利用SEM进行测定。形成紫外线反射膜20时所用的二氧化硅粒子及氧化铝粒子的制造，可利用固相法、液相法、气相法的任何方法，但其中，由于可确实地得到亚微细粒、微米尺寸的粒子，而优选气相法、尤其是化学蒸镀法(CVD)。具体上，例如二氧化硅粒子可以通过将氯化硅与氧在900~1000°C予以反应而合成，氧化铝粒子可以通过将原料的氯化铝与氧在1000120(TC予以加热反应而合成，粒径可通过控制原料浓度、反应场所的压力、反应温度来调整。'一般，在准分子灯中，公知随着准分子放电而产生等离子体，但在如上构成的准分子灯中，等离子体大约直角地入射于紫外线反射膜而施以作用，因此紫外线反射膜的温度会局部地急剧上升，如果紫外线反射膜仅例如仅由二氧化硅粒子构成，则会通过等离子体的热而使得二氧化硅粒子熔融从而粒界消失，因此无法扩散反射真空紫外光，反射率下降。然而，紫外线反射膜20由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成，且二氧化硅粒子的中心粒径的大小相对于氧化铝粒子的中心粒径在一定范围内，从而根据上述构成的准分子灯10，即使被曝露在由等离子体所产生的热中时，由于具有熔点比二氧化硅粒子高的氧化铝粒子不熔融，因此可防止在粒子之间结合着互相邻接的二氧化硅粒子与氧化铝粒子，粒界得到维持，因此即使长时间点灯时，也可有效率地扩散反射真空紫外光，从而可将反射率的降低程度抑制得较小，而且在形成紫外线反射膜时所调配的分散液中，因二氧化硅粒子与氧化铝粒子的比重差所致的质量差被补偿而成为收敛在一定范围内的状态，可使二氧化硅粒子与氧化铝粒子的流动性一致，因此可在二氧化硅粒子与氧化铝粒子均匀地被分散的状态下形成紫外线反射膜，相对于放电容器的轴方向(通过例如流下法形成紫外线反射膜时的倾斜方向)可得到均匀的照度分布。此外，氧化铝粒子具有比二氧化硅粒子高的折射率，因此与仅由二氧化硅粒子形成的紫外线反射膜相比，可得到高反射率。此外，通过在被曝露在产生准分子发光的放电空间S中的放电容器11内表面上形成有紫外线反射膜20，可将随着放电空间S内的真空紫外线入射于构成光出射部18以外区域的二氧化硅玻璃上产生的紫外线应变所致的损伤予以减小，而可防止产生裂痕。以下说明为了确认本发明的效果所进行的实验例。(实验例1)按照图1所示的构成，制作除了紫外线反射膜中的二氧化硅粒子的中心粒径Dl与氧化铝粒子的中心粒径D2的比Dl/D2依照下述表1进行变更以外，具有同一构成的8种的准分子灯。各准分子灯的基本构成如下所述。(准分子灯的构成)放电容器的尺寸是10x40x900mm，厚度为3mm。被封入在放电容器内的放电用气体是氙气体，其封入量是50kPa。高电压供给电极及接地电极的尺寸是30x800mm。准分子灯的发光长度是800mm。构成紫外线反射膜的二氧化硅粒子中具有中心粒径的粒子比率为50%。氧化铝粒子中具有中心粒径的粒子比率为50%。在此，二氧化硅粒子及氧化铝粒子的粒径的测定如下进行使用曰本日立制的电场放射型扫描电子显微镜"S4100"，使加速电压为20kV，使放大投影图像的观察倍率在粒径0.1lpm的粒子的情况下为20000倍、在粒径l~10|iim的粒子的情况下为2000倍。紫外线反射膜通过流下法并使烧成温度为IIO(TC而得到，其膜厚是30nm，氧化铝粒子的含有比率为10wt%。对于各准分子灯，在电极间的电压差为10kV的条件下，通过连续点灯准分子灯1小时以上而使动作状态稳定后，在相对于光出射方向离开3mm的位置中相对于发光部间的放电容器的管轴方向每隔10mm间隔的位置上，测定波长172nm的氛准分子光的照度，调査通过[(最小照度/最大照度)]xioo(y。)表示的相对照度分布。结果示于下述表1中。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>准分子灯的相对照度分布作为产品的规格被要求为70%以上，但由以上的结果可以确认，根据作为二氧化硅粒子混合了其中心粒径为氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上的二氧化硅粒子而形成有紫外线反射膜的准分子灯1~6，可使相对照度分布为70%以上，且相对于管轴方向可得到均匀的照度分布。(实验例2)除了将发光长度为1600mm以外，具有与实验例1相同的构成，紫外线反射膜的二氧化硅粒子的中心粒径Dl与氧化铝粒子的中心粒径D2之比D1/D2依照下述表2进行变更，来制造8种的准分子灯，进行与实验例1同样的实验，调査各准分子灯的相对照度分布。结果示于下述表2中。表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>由以上结果可以确认，与准分子灯的发光长度的大小无关，根据作为二氧化硅粒子混合其中心粒径为氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上的二氧化硅例子而形成紫外线反射膜的准分子灯9~14，可使相对照度分布成为70%以上，且相对于管轴方向可得到均匀的照度分布。(实验例3)紫外线反射膜由中心粒径(D1)为0.3(am的二氧化硅粒子、及中心粒径(D2)为0.3|im的氧化铝粒子(D1/D2^.00)形成，通过将使氧化铝粒子的含有比率变更为Owt%、10wt%、33wt%、50wt。/。的紫外线反射膜以3(Hun膜厚形成于平板状的二氧化硅玻璃制基材上，制作出4种试验片。并且，针对于各试验片，测定将紫外线反射膜加热为IOO(TC时[图3中以点划线所示的直线(^)]、及加热为1300'C时[图3中以虚线所示的直线(口)]的各自的波长170nm的光的反射光强度。结果示于图3中。在此，作为紫外线反射膜的加热温度的IOOO'C，是相当于形成紫外线反射膜时的烧成温度的温度，130(TC是相当于等离子体作用于紫外线反射膜时的加热温度的温度。反射光强度的测定使用ACTONRESEARCH所制的"VM-502"，首先，针对不具有紫外线反射膜的基材，取得各波长的散射光的基准值，设置形成有紫外线反射膜的试验片，针对各波长测定散射光，将由此得到的各测定值，用各波长的基准值(不具有紫外线反射膜的基材的测定)进行除算，得到反射光强度，通过从各种测定结果抽出特定波长的测定值，而得到波长170nm的光的反射光强度。由图3所示的结果可知，紫外线反射膜的氧化铝粒子的含有比率为0wt。/。时，即在不含氧化铝粒子时，加热为IOOO'C时的反射光强度是0.03以上的高值，而加热为130(TC时反射光强度会大幅度地降低至大约0.01。由此，在实际的准分子灯，等离子体接触紫外线反射膜的部位，反射光强度局部地降低，使得准分子灯的照度分布不均匀，当准分子灯长时间点灯时，推定等离子体接触紫外线反射膜全体，反射率降低。另一方面确认了通过添加氧化铝粒子，因热所致的反射率降低被逐渐抑制。具体地加以说明如下，在添加10wt。/。氧化铝粒子时，加热为IOO(TC时的反射光强度低于仅由二氧化硅粒子构成时的反射光强度，例如降低成0.023，但加热为130(TC时反射光强度为0.017而高于未添加氧化铝粒子的情况，从而确认了可将因热所致的紫外线反射膜的反射率的降低抑制大约70%。如此，随着增加氧化铝粒子的含有比率，可将因热所致的紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小，例如在添加50wtY。的氧化铝粒子时，加热为IOOO'C时的反射光强度、及加热为130(TC时的反射光强度一致，从而确认了可将因热所致的紫外线反射膜的反射率的降低加以抑制。(实验例4)除了在实验例3中在从owt。/。到iowty。为止的范围内适当地变更氧化铝粒子的含有比率以外，与实验例3同样，通过将紫外线反射膜以膜厚3(Him形成在平板状的二氧化硅制基材上来制作多种试验片，针对由此得到的各试验片，与实验例3同样，通过测定将紫外线反射膜加热为IOO(TC时及加热为1300'C时的各自的波长170nm的光的反射光强度，来对紫外线反射膜的氧化铝粒子的含有量的影响加以调査。结果示于下述表3中，在此，氧化铝粒子的含有比率为Owty。时及氧化铝粒子的含有比率为10wt。/。时的结果，在上述实验例3中得到。波长170nm的光的反射光强度(a.u.)氧化铝粒子的含有比率[wt。/。]011010000.0310駕00.02350.02313000.0100.0120.0160.017由实验例4所示的结果可知，在添加lwtM的氧化铝粒子时，虽然加热为IOOO'C时的反射光强度低于仅由二氧化硅粒子形成时的反射光强度，此外在加热为130(TC时反射光强度是0.012而高于未添加氧化铝粒子时，但只能将因热所致的紫外线反射膜的反射率的降低抑制大约32%。与此相对，在添加5wt。/。的氧化铝粒子时，加热为IOO(TC时的反射光强度低于仅由二氧化硅粒子形成时的反射光强度，例如降低成0.0235，而被加热为1300。C时反射光强度是0.016而高于未添加氧化铝粒子时，确认了可将因热所致的紫外线反射膜的反射率的降低抑制大约68%。因此，在实际的准分子灯中，通过紫外线反射膜添加5wt。/。以上的氧化铝粒子，即使准分子灯长时间点灯使得紫外线反射膜曝露于等离子体的热中时，也可抑制二氧化硅粒子熔融所致的反射率降低，依照形成有此种紫外线反射膜的准分子灯，推定可长时间确实地维持相对于管轴方向得到均匀的照度分布的状态。并且，通过使得紫外线反射膜添加10wt。/。以上的氧化铝粒子者，可更确实地得到上述效果。以上，针对于本发明的实施方式加以说明，但本发明是并不被限定于上述实施方式，可进行各种变更。本发明是并不被限定于上述构成的准分子灯，也可适用于图4所示的双重管构造的准分子灯、或图5所示的所谓"四方型"的准分子灯。图4所示的准分子灯50，具有由二氧化硅玻璃形成的圆筒状的外侧管52、及在该外侧管52内沿其管轴配置的具有比该外侧管52的内径小的外径的例如由二氧化硅玻璃形成的圆筒状内侧管53，外侧管52与内侧管53在两端部被熔融接合而在外侧管52与内侧管53之间具备形成有环状放电空间S的双重管构造的放电容器51，例如由金属形成的一个电极(高电压供给电极)55密接设于内侧管53的内周面，并且例如由金属网等的导电性材料形成的另一个电极56密接设于外侧管52的外周面，在放电空间S内，例如填充有氙气体等通过准分子放电形成准分子分子的放电用气体。在此种构成的准分子灯50中，例如在放电容器51的内侧管53的内表面的全周设有上述紫外线反射膜20，并且在外侧管52的内表面，除了形成光出射部58的一部分区域以外，设有上述紫外线反射膜20。此外，图5所示的准分子灯40例如具备由合成二氧化硅玻璃构成的截面长方形的放电容器41，将由金属构成的一对外侧电极45、45以在放电容器41的管轴方向延伸的方式配设于放电容器41的彼此相对的外表面上，而且放电用气体的例如氙气体被填充于放电容器41内。在图5中，符号42是排气管，符号43是由钡形成的吸气器。在此种构成的准分子灯40中，在放电容器41的内表面中与各个外侧电极45，45对应的区域及与该区域连续的一个内面区域上，设有上述紫外线反射膜20，并通过不设置紫外线反射膜20而形成光出射部44。权利要求1.一种准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其特征在于，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。2.如权利要求l所述的准分子灯，其中，紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，是上述二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt%以上。3.如权利要求l所述的准分子灯，其中，紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，是上述二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的10wtn/。以上。全文摘要本发明提供一种即使长时间点灯时也把紫外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小、而且在放电容器的轴方向可得到均匀的照度分布的准分子灯。本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其中，在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒径的大小为上述氧化铝粒子的中心粒径的0.67倍以上。紫外线反射膜中的氧化铝粒子的含有比率，优选是二氧化硅粒子和氧化铝粒子的合计的5wt％以上，更优选10wt％以上。文档编号H01J65/00GK101409206SQ200810169268公开日2009年4月15日申请日期2008年10月10日优先权日2007年10月10日发明者森本幸裕,藤泽繁树申请人:优志旺电机株式会社