光照射器的制造方法
【专利摘要】提供一种即使在具备特别长条的光源的情况下也容易维护、并且不使用较大的空间的光照射器的构造。用光源保持框（11）保持长条的光源（1）的光源单元（10）、用反射镜保持框（21）保持从背后覆盖光源（1）的长条的反射镜（2）的反射镜单元（20）、反射镜单元（20）的上侧的上部单元（4）、和光源单元（10）的下侧（照射侧）的元件单元（30）能够通过移动机构（8）朝上移动。由选择机构（9）选择仅使上部单元（4）移动、或使上部单元（4）及反射镜单元（20）移动、或使上部单元（4）、反射镜单元（20）及光源单元（10）移动。
【专利说明】光照射器
【技术领域】
[0001]本发明涉及通过长条的光源对对象物照射光的光照射器。
【背景技术】
[0002]作为长条的光源，以荧光灯为代表，已知有各种结构，但用于产业用的情况较多。例如作为紫外线光源而被周知的水银灯，有如高压水银灯或低压水银灯那样整体为棒状的灯，大多以通过光照射进行的对象物的处理等的目的使用。除此以外，在金属卤化物灯或LED等的光源中，也有如棒状那样长条的类型。在将对象物通过光照射进行处理的情况下，常可看到因对象物是宽幅的而使用在宽度方向上较长的光源的例子。
[0003]在长条的光源的背后通常配置反射镜。所谓“背后”，在以光照射的对象物所处的一侧为前侧的情况下是指其相反侧。
[0004]这样的光照射器当然设为考虑到维护的构造。维护中典型的是光源的更换。光源一般是消耗品，随着寿命的到来而需要更换。因此，光照射器具有可将光源更换地安装的构造。
[0005]此外，关于反射镜，也能够适当设为可维护的构造。例如，做成能够将反射镜的反射面清洁的构造，或做成能够进行反射镜的更换的构造。
[0006]专利文献1:日本专利4412090号公报
[0007]专利文献2:日本特开2011 - 222347号公报
[0008]在这样的光照射器中，由于光源过于长条，所以有维护用的构造变得非常难的情况。关于这一点，以在显示设备制造时使用的光照射器为例进行说明。以液晶显示器为代表的显示设备的基板尺寸逐年大型化。大型化在TV用等情况下为了成为大画面而必然基板尺寸变大，并且在从一片基板制造较多的显示设备的情况下，从生产性提高的观点看基板尺寸变大。
[0009]如果基板尺寸变大，则在制造工艺中包含有使用光照射器的光处理的情况下，使用的光源更加长条化。例如，在液晶显示器的制造中，作为得到取向膜的工艺，代替以往的摩擦而较多采用通过偏振光的照射得到取向膜的光取向的工艺。在光取向中，需要照射紫外线的偏振光的情况较多，高压水银灯那样的棒状的光源被使用。此时，随着基板尺寸的大型化，最近需要1500_或其以上的非常长的灯的使用。
[0010]在这样的使用特别长条的光源的光照射器中，如果不特别设计维护用的构造，则有维护的作业变得非常难以进行、或仅为了维护就需要较大的空间的问题。例如，专利文献I公开了为了维护而使光源在其长度方向上拉出的构造。但是，在这样的构造中，如果光源变长，则在灯的长度方向上为了维护而需要变长的量的空间。在维护以外不需要这部分空间的情况下，从生产设备的省空间化的观点来看可视为问题。
【发明内容】
[0011]本发明是为了解决这样的问题而做出的，目的是提供一种即使在具备特别长条的光源的情况下也容易维护、并且不使用较大的空间的光照射器的构造。
[0012]为了解决上述问题，本发明的技术方案I所述的发明，具备长条的光源、和在光源的长度方向上延伸并将光源从背后覆盖的长条的反射镜；光源由光源保持框保持；反射镜由反射镜保持框保持；设有使反射镜保持框移动的移动机构；移动机构能够使反射镜保持框在从光源保持框分离的状态下移动，反射镜保持框的移动的朝向是与光源的长度方向垂直且反射镜从光源远离的朝向，移动的距离是能够进行光源的更换的距离。
[0013]此外，为了解决上述问题，技术方案2所述的发明，在上述技术方案I的结构中，具有以下的结构:在上述光源的与上述反射镜相反的一侧配置有照射侧光学元件，能够经由照射侧光学元件向对象物进行光照射；
[0014]照射侧光学元件由元件保持框保持；
[0015]上述移动机构能够使上述反射镜保持框及上述光源保持框在从元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直且上述光源及上述反射镜从照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是能够进行照射侧光学元件的清洁或更换的距离。
[0016]此外，为了解决上述问题，技术方案3所述的发明，在上述技术方案I的结构中，具有以下的结构:在上述反射镜的背后设有背后单元；上述移动机构能够使背后单元在从上述反射镜保持框及上述光源保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直的方向、且是背后单元从上述光源及上述反射镜远离的朝向，移动距离是能够进行上述反射镜的清洁或更换的距离。
[0017]此外，为了解决上述问题，技术方案4所述的发明，在上述技术方案I的结构中，具有以下的结构:在上述光源的与上述反射镜相反的一侧配置有照射侧光学元件，能够经由照射侧光学元件向对象物进行光照射；照射侧光学元件由元件保持框保持；上述移动机构能够使上述反射镜保持框及上述光源保持框在从元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直且上述光源及上述反射镜从照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是能够进行照射侧光学元件的清洁或更换的距离；在上述反射镜的背后设有背后单元；上述移动机构能够使背后单元在从上述反射镜保持框、上述光源保持框及元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直的方向、且是背后单元从上述光源、上述反射镜及照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是成为能够进行反射镜的清洁或更换的状态的距离。
[0018]此外，为了解决上述问题，技术方案5所述的发明，在上述技术方案I?4中任一项的结构中，具有以下的结构:上述光源配置为，长度方向为水平方向；上述移动的朝向是朝上的。
[0019]如以下说明那样，根据本申请的技术方案I所述的发明，由于反射镜保持框在从光源保持框分离的状态下在与光源的长度方向垂直的方向上并且向反射镜从光源远离的朝向移动，所以不需要将光源保持框在长度方向上拉出而更换光源。因此，在使用长条的光源的情况下也不会仅为了更换而需要较大的空间。
[0020]根据技术方案2所述的发明，除了上述效果以外，由于光源保持框和反射镜保持框在从元件保持框分离的状态下向从照射侧光学元件远离的朝向移动，所以关于照射侧光学元件也能够不在长度方向上拉出地进行维护。因此，不会为了维护而需要较大的空间。
[0021]根据技术方案3所述的发明，由于背后单元在从反射镜保持框分离的状态下向从反射镜远离的朝向移动，所以关于反射镜也能够不在长度方向上拉出地进行维护。因此，不会为了维护而在灯的长度方向上需要较大的空间。
[0022]此外，根据技术方案4所述的发明，能够得到上述效果、技术方案2的发明的效果和上述技术方案3的发明的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是表示有关本发明的实施方式的光照射器的整体的立体概略图。
[0024]图2是实施方式的光照射器的侧剖视概略图。
[0025]图3是表示图1及图2所示的光照射器的使用例的立体概略图。
[0026]图4是选择机构9的主要部分的立体概略图。
[0027]图5是图4所示的选择机构9的滑块92的立体概略图。
[0028]图6是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，是表示选择机构9的动作状态的立体概略图。
[0029]图7是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，是表示选择机构9的动作状态的立体概略图。
[0030]图8是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，是表示各单元的移动状态的侧剖视概略图。
[0031]图9是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，是表示各单元的移动状态的侧剖视概略图。
[0032]图10是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，是表示各单元的移动状态的侧剖视概略图。
【具体实施方式】
[0033]接着，对用来实施本发明的形态(以下称作实施方式)进行说明。
[0034]图1是表示有关本发明的实施方式的光照射器的整体的立体概略图，图2是实施方式的光照射器的侧剖视概略图。
[0035]实施方式的光照射器具备长条的光源1、和将光源I从背后覆盖的长条的反射镜2。此外，该光照射器具备配置在光源I与对象物之间的光学元件(以下，称作照射侧光学元件)3、和设在反射镜2的背后的背后单元4。
[0036]光源I为包括对光源I进行保持的光源保持框11的单元(以下，称作光源单元)10的一部分。反射镜2为包括反射镜保持框21的单元(以下，称作反射镜单元20)的一部分。照射侧光学元件3也为包括对照射侧光学元件3进行保持的元件保持框31的单元(以下，称作元件单元)30的一部分。
[0037]如图1所示，在该实施方式中，光源I将长度方向设为水平而配置，将对象物配置在光源I的下方。因而，反射镜2是将光源I从上侧覆盖的状态，背后单元4为其上侧。因而，如图1所示，实施方式的光照射器为从上起依次具备背后单元4、反射镜单元20、光源单元10及元件单元30这四个的结构。另外，背后单元4由于是位于反射镜单元20的上侧的单元，所以以下改称作上部单元4。
[0038]反射镜2在该实施方式中，在光源I的长度方向上由长的一对反射镜构成。一对反射镜2以在光源I的正上方形成狭缝的状态配置，由一对形成大致檐槽状(日语:樋状)的反射镜2。另外，各反射镜2如图2中形成的截面形状已知那样是弯曲的。该弯曲的形状为构成椭圆的一部分或抛物线的形状。
[0039]各反射镜2由在基材上蒸镀了反射膜的结构、或铝那样的金属形成。在由蒸镀膜反射的构造的情况下，根据蒸镀膜形成的状况，也有将多个反射镜段排列而作为一个长条的反射镜2的情况。此外，作为蒸镀膜，为了抑制对象物的升温，采用使热线透过而不反射那样的特性的膜。
[0040]一对反射镜2由反射镜保持框21保持。反射镜保持框21将各反射镜2从背后保持，是将各反射镜2在上端和下端经由缓冲件22保持的结构。反射镜保持框21在反射镜2是使热线透过的类型的情况下，受到热线而升温，所以选用热容较大者，做成在背后设有散热翅片23的构造。另外，反射镜保持框21固定在作为反射镜单元20的外框的反射镜单元20框上。
[0041]作为光源1，在该实施方式中使用高压水银灯。光源I由光源保持框11保持。在光源保持框11上，设有支承件12和推压件13。在图1及图2中省略详细的图示，光源I的两端的灯头的部分载置在支承件12上，通过用推压件13从其上方推压而保持在光源保持框11上。
[0042]另外，光源I例如为1500mm左右非常长条的结构。因此，在点灯时有可能因升温而挠曲。考虑到这一点，在该实施方式中，在长度方向的中途的多处设有支撑光源I的支撑件14。从对于光源I的封体减少热冲击性及减少遮光的观点出发，在支撑件14中使用石英制的结构。关于支撑件14的详细情况在日本特开2011 - 222347号公报中公开，所以可以参照它。
[0043]作为照射侧光学元件3可以选择适当的元件，但该实施方式的光照射器是向对象物照射偏振光的器件，所以照射侧光学元件3成为偏光元件。更具体地讲，在该实施方式中，使用光栅偏光元件作为照射侧光学元件3。光栅偏光元件是在透明基板上形成有微细的条纹状栅格的结构，是利用在条纹状栅格的长度方向上具有电场成分的直线偏振光不能透过透明基板、在与条纹状栅格的长度方向垂直的方向上具有电场成分的直线偏振光能够透过透明基板的性质而使光偏光的结构。
[0044]来自光源I和其背后的反射镜2的光整体上形成大致矩形的光照射区域。照射侧光学元件3为与该大致矩形的光照射区域相同程度的大小的矩形的结构。但是，在光栅偏光元件的情况下，由于难以制作大面积的结构，所以将较小的段状的结构排列来确保与上述矩形的光照射区域相同程度的大小的区域。这样的照射侧光学元件3嵌入到未图示的元件框中，安装在元件基座32之上。元件基座32设在元件保持框31上,照射侧光学元件3由元件保持框31保持。
[0045]此外，在该实施方式中，作为与设在元件单元30上的照射侧光学元件3不同的照射侧光学元件3而内置有过滤器33。过滤器33以将照射侧光学元件3从上侧覆盖的状态设置。过滤器33经由过滤器框34可拆卸地安装在元件保持框31上。作为过滤器33，例如使用对照射的光的波长进行选择的波长选择过滤器。
[0046]另一方面，上部单元4是以确保用于光照射器整体的冷却的空间等目的而设置的单元。上部单元4是整体上具有与反射镜单元20或光源单元10等同等的长度及宽度的箱状。上部单元4在下表面具有流入来自反射镜单元20的冷却风的流入口 41，在上表面具有冷却筒42。冷却筒42嵌入到生产线所配备的冷却用的排气筒6中。但是，两者没有固定而有间隙，上部单元4整体能够相对于静止的排气筒6上下运动。
[0047]流入口 41以相对于光源I的长度充分的构造(大小、数量等)设置。如果从排气筒6进行排气，则冷却风流到光照射器内整体中。冷却风经由上部单元4内的空间被排出。通过该冷却，抑制光源I或反射镜2、照射侧光学元件3等的升温。除此以外，也有在上部单元4中收容光源I的点灯电路等设备的情况。
[0048]图3是表示图1及图2所示的光照射器的使用例的立体概略图。在该例中，光照射的对象为液晶基板S，为以为了得到光取向膜而照射偏振光的用途而使用的例子。
[0049]在液晶基板S上预先形成有光取向膜用的膜，将液晶基板S载置在台座71上。台座71由输送机构72输送，经过光照射器100的正下方。此时，在台座上的液晶基板S上，由光照射器100照射偏振光，将膜进行光取向处理。由此，成为在液晶基板S上得到光取向膜的状态。
[0050]这样的实施方式的光照射器采用了考虑到维护的构造。在维护中，包括光源I的更换、以及反射镜2、照射用光学元件3等的清洁。具体而言，实施方式的光照射器具备移动机构8，为了维护，关于元件单元30的上侧的各单元4、10、20，能够在任意的边界部分使其分离，从分离部位使上侧的单元整体向上侧移动。以下，对于这一点进行说明。
[0051]在该实施方式中，位于最上侧的是上部单元4，移动机构8为直接使上部单元4上下运动的机构。即，移动机构8主要由连结在上部单元4上的直线驱动源81、和对由直线驱动源81驱动的上部单元4的上下运动进行引导的线性导引部82构成。
[0052]作为直线驱动源81，在该实施方式中使用气缸。直线驱动源81配置在上部单元4的长度方向的两端，各直线驱动源81的输出轴被固定在上部单元4的两侧的端面上。各直线驱动源81被同步驱动，通过该驱动，上部单元4上下运动。
[0053]另外，直线驱动源81也可以是使用马达的滚珠丝杠驱动或带驱动。
[0054]线性导引部82在上部单元4的两端夹着直线驱动源81而成一对。因而，如图1所示，设有四条线性导引部82。各线性导引部82与直线驱动源81的驱动轴平行，因而在上下方向上直线性良好地延伸。另外，在光照射器的长度方向的两端分别设有架台101，各线性导引部82及各直线驱动源81分别固定在架台101上。另外，上部单元4由未图示的骨架部件保持，以使得在被直线驱动源驱动时不发生应变等。各直线驱动源81经由骨架部件连结在上部单元4上。
[0055]另一方面，实施方式的光照射器具备在如上述那样移动机构8使上部单元4上下运动时用来选择与上部单元4 一体移动的单元的选择机构9。关于选择机构9，使用图1、图
2、图4及图5进行说明。图4是选择机构9的主要部分的立体概略图，图5是图4所示的选择机构9的滑块92的立体概略图。
[0056]选择机构9由销块91和使销块91滑动的滑块92等构成。滑块92是比上部单元4稍大的长方形的框状的部件。滑块92的短边中的一方的短边为在选择操作时抓住操作的部位。以下，将该短边侧称作操作侧，将与操作侧相反的一侧称作里侧。
[0057]另一方面，如图2所示，上部单元4具有外罩43。外罩43是形成比光源I稍长的长方形的水平截面形状的框状。如图2所示，在外罩43上固定着袖板44。袖板44从外罩43的内面向内侧突出而设置。袖板44设在外框的两侧的长边部，在长度方向上设在至少两个部位上。并且，在袖板44上形成有滑块92用的开口，在该开口中插通着滑块92。
[0058]如图4及图5所示，销块91固定在滑块92上。销块91设有多个，在滑块92的各长边的部分上设有2个?3个左右。各销块91具有两个销93、94。一方的销(以下，称作第一销)93在各销块91中位于稍稍上部，从里侧的端面朝向里侧水平地突出。另一方的销(以下，称作第二销)94在各选择用块中位于比第一销93靠下部，从操作侧的端面向操作侧水平地突出。
[0059]作为各销块91的第一销93或第二销94有选择地嵌合的部件，反射镜单元20具备第一销孔块24，光源单元10具备第二销孔块15。即，如图4所示，反射镜保持框21具有在光源I的长度方向上延伸的凸缘部(以下，称作反射镜保持凸缘部)211，第一销孔块24固定在反射镜保持凸缘部211上。此外同样，光源保持框11具有在光源I的长度方向上延伸的凸缘部(以下，称作光源保持凸缘部)111。第二销孔块15固定在光源保持凸缘部111上。
[0060]在通常状态下，在元件单元30之上载置光源单元10，在光源单元10之上载置反射镜单元20,在反射镜单元20之上载置上部单元4。即，如图2及图4所示,在元件单元30的元件保持框31上载置着光源保持凸缘部111，在光源保持凸缘部111之上载置着反射镜保持凸缘部211，在反射镜保持凸缘部211之上载置着支撑上部单元4的外罩43的框架。另外，上部单元4的外罩43也作为关于反射镜单元20、光源单元10的遮蔽部，在通常状态下，通过外罩43使得内部的反射镜单元20及光源单元10不可见。
[0061]此时，如图6所示，在光源保持凸缘部111上设有缺口(标号省略)，以使销块91及第一销孔块24不与光源保持凸缘部111干扰。在通常状态下，销块91及第一销孔块24位于该缺口内。
[0062]此外，在第一销孔块24上，形成有在光源I的长度方向上贯通的销孔(以下，称作第一销孔)241，在第二销孔块15上，还形成有在光源I的长度方向上贯通的销孔(以下，称作第二销孔)151。在通常状态下，销块91的第一销93位于与第一销孔241相同的高度，第二销94位于与第二销孔151相同的高度。
[0063]长方形的框状的滑块92中，操作侧的短边部921如图5所示那样为把手状(以下，称作把手部)。在上下运动的单元的替换时，作业者抓住该把手部921，将滑块92向近前侧拉或向里侧推，来调节滑块92的位置。关于这一点使用图6?图10进行说明。图6?图10是表示由选择机构9进行的模式的选择的图，图6及图7是表示选择机构9的动作状态的立体概略图，图8?图10是表示各单元的移动状态的侧剖视概略图。
[0064]选择机构9为从仅使上部单元4上下运动的第一模式、使上部单元4及反射镜单元20 —体地上下运动的第二模式、和使上部单元4、反射镜单元20及光源单元10 —体地上下运动的第三模式中选择任意的模式而使移动机构8动作的机构。
[0065]在以第一模式使移动机构8动作的情况下，如图4所示，调节滑块92的位置，以使销块91成为第一销孔块24与第二销孔块15的正中间的位置。在该位置(以下，称作第一模式位置)，第一销93是从第一销孔块24离开的状态，是没有插入到第一销孔241中的状态。此外，关于第二销94，也是从第二销孔块15离开的状态，是没有插入到第二销孔151中的状态。
[0066]此外，在以第二模式使移动机构8动作的情况下，如图6所示，将滑块92向里侧推出，成为第一销93被插入到第一销孔241中的状态(将该位置称作第二模式位置)。在以第三模式使移动机构8动作的情况下，与其相反，如图7所示，将滑块92向近前侧牵拉，成为第二销94被插入到第二销孔151中的状态。
[0067]如图2所示，由于滑块92贯通到上部单元4的袖板44中，所以当移动机构8动作而使上部单元4上升时，滑块92与上部单元4 一起上升。此时，在第一模式的情况下，销块91的任一个销93、94都没有插入到销孔241、151中，所以销块91也从第一第二销孔块24、15的任一个离开，与滑块92 —起上升。因此，如图8所示，反射镜单元20、光源单元10及元件单元30是原样静止的状态，仅上部单元4上升。
[0068]此外，当在第二模式的状态下移动机构8动作时，如图6所示，在第一销93被插入到第一销孔241中的状态下滑块92上升，所以成为滑块92经由第一销孔块24保持着反射镜单元20的状态。因此,如图9所示,上部单元4和反射镜单元20 —体地上升。
[0069]此外，当在第三模式的状态下移动机构8动作时，如图7所示，在第二销94被插入到第二销孔151中的状态下滑块92上升，所以成为滑块92经由第二销孔块15保持着光源单元10的状态。因此,如图10所示,上部单元4、反射镜单元20和光源单元10 —体地上升。
[0070]如图8所示，当移动机构8以第一模式动作时，仅上部单元4上升，所以反射镜单元20成为露出的状态。因此，能够进行上部单元4内的收存零件的更换及反射镜2的更换等维护。例如关于反射镜2，反射镜保持框21能够在保持着反射镜2的状态下拆下并向上方提起。在进行反射镜2的更换的情况下，以第一模式使移动机构8动作，在上部单元4与反射镜单元20之间设有空间后，按照反射镜保持框21，将反射镜2提起并拆下，然后更换反射镜2。
[0071]此外，如图9所示，当移动机构8以第二模式动作时，上部单元4和反射镜单元20上升，所以在反射镜单元20与光源单元10之间形成空间，能够利用该空间来进行适当的维护。例如，在光源I的更换的情况下，将两端的灯头从端子上拆下，将推压件13去除后，一边拿着两端的灯头的部分一边将光源I向上方提起。并且，从反射镜单元20与光源单元10之间的空间，横向将光源I拉出，从光照射器取出，与新的光源I进行更换。此外，关于反射镜2的反射面的清洁，也可以通过上述第二模式进行。
[0072]此外，如图10所示，当移动机构8以第三模式动作时，上部单元4、反射镜单元20和光源单元10上升，所以在光源单元10与元件单元30之间形成空间。能够利用该空间进行适当的维护。例如，还能够进行对过滤器33进行清洁、或将过滤器33拆下而更换照射侧光学元件3等维护。
[0073]基于移动机构8的移动距离(直线驱动源81的行程长)通过与上述各维护作业的关系而被最优化。例如，匹配于上述各维护作业中最需要空间的维护作业而决定移动距离，设定直线驱动源81的行程长。或者，也可以设定一些需要的移动距离，按照上述每个模式设为不同的移动距离。
[0074]此外，选择机构9具备监视销块91的位置的传感器951?953，以使上述各模式下的移动机构8的动作可靠地进行。传感器951?953通过检测滑块92的位置，间接地监视销块91的位置。具体而言，如图5所示，在滑块92的一方的长边部中的、接近于把手部921的位置上固定着检测板96。
[0075]并且，如图5所示，设有检测检测板96的位置的三个传感器951?953。三个传感器951?953都是光传感器，通过用检测板96遮光来检测位置。三个传感器中的第一传感器951设为当销块91位于第一模式位置时检测板96将遮光的位置上。第二传感器952设在当销块91位于第二模式位置时检测板96将遮光的位置上。第三传感器953设在当销块91位于第三模式位置时检测板96将遮光的位置上。
[0076]各传感器951?953连接在未图示的显示部上。显示部显示哪个传感器951?953成为开启，并能够确认销块91处于哪个位置。作业者一边观察显示部一边拿着把手部921而移动滑块92，使销块91位于三个中所希望的位置，在此状态下使移动机构8动作。显示部既可以是在各传感器上连接着LED那样的监视灯的简单的结构，也可以是显示动作状态的显不器。
[0077]根据有关上述结构的实施方式的光照射器，在从光源保持框11分离的状态下反射镜保持框21沿与光源I的长度方向垂直的方向并且以反射镜2从光源I远离的朝向移动，所以不再需要将光源保持框11在长度方向上拉出而更换光源I。因此，在使用长条的光源I的情况下，也不会仅为了更换而需要较大的空间。
[0078]此外，实施方式的光照射器在反射镜单元20的上侧具有上部单元4，但由于在从反射镜保持框21分离的状态下上部单元4向远离反射镜2的朝向移动，所以关于反射镜2也能够不在长度方向上拉出而进行维护。因此，不会为了维护而需要较大的空间。
[0079]此外，实施方式的光照射器在光源单元10的下侧具有照射侧光学元件3，但由于在从元件保持框31分离的状态下光源保持框11向远离照射侧光学元件3的朝向移动，所以关于照射侧光学元件3也能够不在长度方向上拉出而进行维护。因此，不会为了维护而需要较大的空间。
[0080]另外，在更换或清洁等的维护时，作业者站在光照射器的长度方向的侧面的侧方。如图3所示，在实施方式的光照射器中，有构成工件(在该例中是液晶基板S)的输送机构的线性导引部或滚珠丝杠，但以跨越其的方式站立而进行作业。
[0081]在上述实施方式中，基于移动机构8的移动方向是上下方向，但这是因为，光源I以水平的姿势配置，反射镜2在水平方向上较长。例如，在光源I沿着垂直方向配置、反射镜2在垂直方向上较长的情况下，移动方向为水平方向。在此情况下，移动的朝向是反射镜2从光源I远离的朝向。
[0082]此外，作为选择移动机构8的动作模式的选择机构9，除了上述机构以外，也可以采用适当的机构。例如，移动机构8是对叉式升降机的叉那样的支撑部件进行驱动的机构，可以考虑将支撑部件做成能够插入到各单元的边界部分中的构造、通过将支撑部件插入到任意的边界部分中并提起而使其移动的结构。
[0083]作为光照射器的用途，除了用来得到上述光取向膜的偏振光照射以外还可能有各种用途。例如，可以举出为了使紫外线硬化型树脂硬化而照射紫外线的光照射器、或为了光致抗蚀剂的处理而进行光照射的光照射器等。在这些光照射器中，也有照射区域宽幅化、为了与其对应而使用更长条的光源的情况，有本发明的应用成为较大的优点的情况。
[0084]标号说明
[0085]I 光源
[0086]10光源单元
[0087]11光源保持框
[0088]2反射镜
[0089]20反射镜单元
[0090]21反射镜保持框
[0091]3照射侧光学元件
[0092]30元件单元
[0093]31元件保持框
[0094]4上部单元
[0095]43 外罩
[0096]44 袖板
[0097]8移动机构
[0098]81直线驱动源
[0099]82线性导引部
[0100]9选择机构
[0101]91 销块
[0102]92 滑块
[0103]93 第一销
[0104]94 第二销
【权利要求】
1.一种光照射器，具备长条的光源、和在光源的长度方向上延伸并将光源从背后覆盖的长条的反射镜，其特征在于， 光源由光源保持框保持； 反射镜由反射镜保持框保持； 设有使反射镜保持框移动的移动机构； 移动机构能够使反射镜保持框在从光源保持框分离的状态下移动，反射镜保持框的移动的朝向是与光源的长度方向垂直且反射镜从光源远离的朝向，移动的距离是能够进行光源的更换的距离。
2.如权利要求1所述的光照射器，其特征在于， 在上述光源的与上述反射镜相反的一侧配置有照射侧光学元件，能够经由照射侧光学元件向对象物进行光照射； 照射侧光学元件由元件保持框保持； 上述移动机构能够使上述反射镜保持框及上述光源保持框在从元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直且上述光源及上述反射镜从照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是能够进行照射侧光学元件的清洁或更换的距离。
3.如权利要求1所述的光照射器，其特征在于， 在上述反射镜的背后设有背后单元； 上述移动机构能够使背后单元在从上述反射镜保持框及上述光源保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直的方向、且是背后单元从上述光源及上述反射镜远离的朝向，移动距离是能够进行上述反射镜的清洁或更换的距离。
4.如权利要求1所述的光照射器，其特征在于， 在上述光源的与上述反射镜相反的一侧配置有照射侧光学元件，能够经由照射侧光学元件向对象物进行光照射； 照射侧光学元件由元件保持框保持； 上述移动机构能够使上述反射镜保持框及上述光源保持框在从元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直且上述光源及上述反射镜从照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是能够进行照射侧光学元件的清洁或更换的距离；在上述反射镜的背后设有背后单元； 上述移动机构能够使背后单元在从上述反射镜保持框、上述光源保持框及元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直的方向、且是背后单元从上述光源、上述反射镜及照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是成为能够进行反射镜的清洁或更换的状态的距离。
5.如权利要求1?4中任一项所述的光照射器，其特征在于， 上述光源配置为，长度方向为水平方向； 上述移动的朝向是朝上的。
【文档编号】F21V19/04GK104075168SQ201410020593
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年1月16日 优先权日:2013年3月26日
【发明者】美浓部猛 申请人:优志旺电机株式会社