光照射装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及具备光源以及偏振片单元的光照射装置。
【背景技术】
[0002]以往，已知有一种光照射装置:其在光照射器的框体内具备光源，并通过在框体的光出射开口部设置的偏振片单元而使来自光源的光偏振并照射(例如参照专利文献I)。该光照射装置在框体内具备光源以及偏振片单元的冷却路径。
[0003]【现有技术文献】
[0004]【专利文献】
[0005]【专利文献I】日本专利第5056991号公报
【发明内容】
[0006]在光照射装置中，由于光源在低温下变得寿命短，因此需要以温度变得比较高的方式冷却光源，另一方面，从耐热性的观点出发，需要以温度变得比较低的方式冷却偏振片单元。
[0007]然而，在上述现有的结构中，由于采用对偏振片单元进行冷却后的冷却风来冷却光源的结构，因此在想要充分地冷却偏振片单元时，存在光源被过度冷却的问题。
[0008]本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的是，提供能够适当地冷却光源以及偏振片单元的光照射装置。
[0009]为实现上述目的，本发明的光照射装置的特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件和偏振片单元，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立。
[0010]在上述结构中，可以将所述光透射部件和所述偏振片单元之间的空间设定成正压。
[0011]在上述结构中，所述偏振片单元是将多个偏振片进行并列配置而形成的。
[0012]在上述结构中，由冷却机冷却后的冷却风可以在所述热源冷却路径以及所述空间冷却路径中流动。
[0013]另外，本发明的特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件以便堵塞所述光出射开口部，在所述光透射部件的外侧与所述光透射部件相对的位置上设置偏振片单元，所述偏振片单元与所述光透射部件隔开空间，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与偏振片单元的偏振片冷却路径独立，所述热源冷却路径用于向所述框体的所述光出射开口部的内侧供给冷却风；所述偏振片冷却路径用于向所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间供给冷却风，所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间构成了所述偏振片冷却路径。
[0014]另外，本发明是一种光照射装置，其特征在于，所述光照射装置具备:平台搬运台架；设置有用于照射偏振光的光照射器的照射器设置台架；在所述照射器设置台架的两侧设置的两个工作平台；用于移送各工作平台以使其通过了所述光照射器的正下方的直动机构；以及机器人装置，所述机器人装置与所述平台搬运台架平行配置并将工件载置在各工作平台上，并且具有能够沿着直进方向移动的臂、以及固定在臂上并对工件进行保持的保持部，要确保在第一工作平台和所述光照射器的照射区域之间、具有使第二工作平台上的工件通过照射区域以上的间隙，并确保在第二工作平台和照射区域之间、具有使第一工作平台上的工件通过照射区域以上的间隙。
[0015]在上述结构中，所述直动机构可以将第一工作平台移动到所述光照射器的照射区域，在第一工作平台上的工件通过了所述照射区域之后将第一工作平台返回至原来的位置，同时所述直动机构可以将第二工作平台移动到所述光照射器的照射区域，在第二工作平台上的工件通过了所述照射区域之后将第二工作平台返回至原来的位置。
[0016]在上述结构中，可以设置旋转驱动机构，所述旋转驱动机构被设置成与各工作平台对应，并且为了对工作平台上的工件的角度进行微调而旋转驱动工作平台。
[0017]在上述结构中，所述机器人装置可以移动所述臂，从外部接收工件，将工件载置在角度调节装置的调节平台上，在角度调节装置将工件的姿态变成正姿态之后，所述机器人装置从角度调节装置中将工件载置在工作平台上。
[0018]在上述结构中，所述机器人装置可以是具有模座、机器人和往复驱动机构的机器人装置，所述模座与平台搬运台架平行设置；所述机器人由所述模座支承；所述往复驱动机构使所述机器人沿着直进方向移动。
[0019]发明的效果
[0020]根据本发明，由于使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立，因此能够分别冷却光源以及偏振片单元，并且能够适当地冷却光源以及偏振片单元。
【附图说明】
[0021]图1是示意性地表示本发明第一实施方式的光取向装置的主视图。
[0022]图2是表示光取向装置的主视图。
[0023]图3是表示对图2的光照射器进行放大的图。
[0024]图4是表示偏振片单元的结构的图，图4 (A)是俯视图；图4 (B)是侧剖视图。
[0025]图5是表示本发明的变形例的光取向装置的主视图。
[0026]图6是示意性地表示本发明第二实施方式的具备光取向装置的光取向照射系统的结构的俯视图，并表示第一工作平台以及第二工作平台的待机状态。
[0027]图7是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台设置光取向对象物的状态。
[0028]图8是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台的移动过程中、机器人接收下一个光取向对象物的状态。
[0029]图9是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台的移动过程中、将下一个光取向对象物设置在第二工作平台的状态。
[0030]图10是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第一工作平台以及第二工作平台的移动过程中、使机器人移动的状态。
[0031]图11是示意性地表示光取向照射系统的结构的俯视图，并表示在第二工作平台的移动过程中、再将下一个光取向对象物设置在第一工作平台的状态。
[0032]附图标记的说明
[0033]1、100:光取向装置(光照射装置)
[0034]2:光照射器
[0035]3:框体
[0036]3A:光出射开口部
[0037]4:灯(光源)
[0038]5:反射镜
[0039]6:透明体(光透射部件)
[0040]7:波长选择滤波器(光透射部件)
[0041]10:偏振片单元
[0042]30:热源冷却路径
[0043]40:偏振片冷却路径(空间冷却路径)
[0044]S:空间
【具体实施方式】
[0045]以下，参照附图来说明本发明的实施方式。
[0046]〈第一实施方式〉
[0047]图1是示意性地表示第一实施方式的光取向装置的主视图，图2是表示光取向装置的图。图3是表示对图2的光照射器进行放大的图。图4是表示偏振片单元的结构的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是侧首I]视图。
[0048]如图1所示，光取向装置I是向板状或带状的光取向对象物(工件)W的光取向膜照射偏振光并进行光取向的光照射装置。
[0049]光取向装置I具备:平台搬运台架81 ;照射器设置台架82 ;载置光取向对象物W(图2)的工作平台(平台)83;以及向正下方照射偏振光的光照射器2。
[0050]照射器设置台架82是在从平台搬运台架81分开规定距离的上方位置、横架在平台搬运台架81的宽度方向(与后述的直动机构的直进方向X垂直的方向)上的门体，其两个柱被固定在平台搬运台架81上。照射器设置台架82内置