97]机器人装置90具备模座91、机器人92和往复驱动机构93，所述模座91与光取向装置200的平台搬运台架81平行设置；所述机器人92由该模座91支承；所述往复驱动机构93使机器人92沿着直进方向X进行往复移动。机器人92具备:能够沿着直进方向X进行往复移动(旋转以及伸缩)的臂92A;以及固定在臂92A上并对光取向对象物W进行保持的保持部92B。臂92A以在水平面上能够旋转的方式由模座91支承。本实施方式的臂92A是多关节臂，其具有自由转动的多个关节并能够自由伸缩，但臂92A的结构并不仅限于此。机器人92移动臂92A，从外部接收光取向对象物W，将光取向对象物W载置在角度调节装置85的调节平台上，并且从角度调节装置85将光取向对象物W载置在工作平台83上。
[0098]角度调节装置85虽然省略了图示，但其具备:载置有光取向对象物W并对光取向对象物W的角度进行调节的调节平台。角度调节装置85对光取向对象物W的角度进行调节，以使光取向对象物W成为如下的正姿态:即光取向对象物W的一对边与灯4的长轴L 一致(平行)、且光取向对象物W的另一对边与灯4的长轴L正交。
[0099]接下来，对光取向照射系统的动作进行说明。
[0100]在这里，为了便于说明，将一个工作平台83称为第一工作平台83，将另一个工作平台83称为第二工作平台83。
[0101]在初始状态下，如图6所示，第一及第二工作平台83分别位于直进方向X的一端Pl侦彳、另一端P2侧，并且机器人92位于一端Pl侧，灯4被点亮。
[0102]首先，机器人92从光取向装置200的外部接收光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态之后，如图7所示，将光取向对象物W载置在第一工作平台83上。第一工作平台83的旋转驱动机构可驱动第一工作平台83，对光取向对象物W的角度进行微调，并且根据需要，以相对于灯4的长轴L为规定的角度使光取向对象物W旋转。而且，如图8所示，直动机构84使第一工作平台83移动，由此使偏振光照射到光取向对象物W上。
[0103]在第一工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，机器人92可移动臂92A并从光取向装置200的外部接收下一个光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态，并再次接收光取向对象物W。而且，如图9所示，机器人92通过往复驱动机构93向另一端P2侧移动，并移动臂92A将光取向对象物W载置在第二工作平台83上。第二工作平台83的旋转驱动机构对光取向对象物W的角度进行微调，并且根据需要，以相对于灯4的长轴L为规定的角度使光取向对象物W旋转。而且，如图10所示，直动机构84通过追随第一工作平台83的回程的移动而使第二工作平台83移动，由此使偏振光照射到第二工作平台83上的光取向对象物W。
[0104]在第一及第二工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，机器人92通过往复驱动机构93向一端Pl侧移动。
[0105]在第二工作平台83上对光取向对象物W进行照射的期间，如图11所示，机器人92从第一工作平台83接收光取向对象物W，并配置在外部的保管场所。而且，机器人92从外部接收光取向对象物W，通过角度调节装置85使光取向对象物W成为正姿态之后，机器人92将光取向对象物W载置在第一工作平台83上。
[0106]S卩、要确保在第一工作平台83和光照射器2的照射区域之间、具有使第二工作平台83上的光取向对象物W通过照射区域以上的间隙，并确保在第二工作平台83和照射区域之间、具有使第一工作平台83上的光取向对象物W通过照射区域以上的间隙。
[0107]像这样，通过设置两个工作平台83，以追随一个工作平台83的移动的方式，使另一个工作平台83移动，由此能够缩短光取向对象物W的处理(光取向照射)工序作业时间。
[0108]但是，上述实施方式只是本发明的一个方式，当然在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行适当变更。
[0109]例如，在上述实施方式中，对光源采用辐射紫外线的灯4进行了说明，但光源并不仅限于此。
[0110]另外，在上述实施方式中，作为光透射部件设置了透明体6以及波长选择滤波器7，但光透射部件并不仅限于这些部件。
[0111]另外，在上述实施方式中，虽然由多个线栅偏振片16构成了偏振片单元10，但线栅偏振片16也可以是一个。
[0112]而且，在上述实施方式中，作为偏振片使用了线栅偏振片16，但偏振片也可以是例如使用了蒸镀膜的偏振片。
[0113]另外，在上述实施方式中，从上游按顺序配置了送风机21、冷却机22、过滤器23，但它们的配置顺序能够进行任意变更。
[0114]而且，在上述实施方式中，为了分别控制在热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40中流动的冷却风的温度，而分别控制了送风机21、21，但也可以将冷却机22、22中的冷却温度设定成不同的温度。
[0115]另外，在上述实施方式中，虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40完全独立，但也可以将热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的一部分进行通用化，例如将送风机21、冷却机22、过滤器23中的至少一个进行通用化。
[0116]而且，在上述实施方式中，虽然使热源冷却路径30以及偏振片冷却路径40的冷却风循环，但冷却风不一定必须循环。
【主权项】
1.一种光照射装置，其特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件和偏振片单元，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与光透射部件和偏振片单元之间的空间冷却路径独立。
2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，将所述光透射部件和所述偏振片单元之间的空间设定成正压。
3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，所述偏振片单元是将多个偏振片进行并列配置而形成的。
4.如权利要求1至3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，由冷却机冷却后的冷却风、在所述热源冷却路径以及所述空间冷却路径中流动。
5.一种光取向装置，其特征在于，在光照射器的框体中收纳有反射镜和光源，在所述框体的光出射开口部设置光透射部件以便堵塞所述光出射开口部，在所述光透射部件的外侧与所述光透射部件相对的位置上设置偏振片单元，所述偏振片单元与所述光透射部件隔开空间，并使反射镜和光源的热源冷却路径、与偏振片单元的偏振片冷却路径独立，所述热源冷却路径用于向所述框体的所述光出射开口部的内侧供给冷却风；所述偏振片冷却路径用于向所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间供给冷却风， 所述光透射部件和所述偏振片单元之间的所述空间构成了所述偏振片冷却路径。
【专利摘要】本发明提供一种光照射装置，其能够对光源以及偏振片单元进行适当的冷却。光照射装置(1)的结构为，在光照射器(2)的框体(3)中收纳有反射镜(5)和光源(4)，在框体(3)的光出射开口部(3A)设置光透射部件(6、7)和偏振片单元(10)，并使反射镜(5)和光源(4)的热源冷却路径(30)、与光透射部件(6、7)和偏振片单元(10)之间的空间冷却路径(40)独立，从而分别冷却光源(4)以及偏振片单元(10)。
【IPC分类】F21V29-67
【公开号】CN104654253
【申请号】CN201410664353
【发明人】蒲原武志, 坂井和宏, 川锅保文, 萱岛隆弘, 今井诚
【申请人】岩崎电气株式会社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年11月19日