太阳能电池试验用光照射装置制造方法

太阳能电池试验用光照射装置制造方法
【专利摘要】本发明的目的是提供一种能够形成与希望的任意的试验条件对应的试验环境、因而能够依据实用使用条件提高加速度的太阳能电池试验用光照射装置、以及能够对结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能电池模组的两者实施寿命加速试验的太阳能电池试验用光照射装置。本发明的太阳能电池试验用光照射装置具有在内部保持由被试验的太阳能电池模组构成的面板的腔室、对面板的表面照射的光照射单元、对面板的背面照射的第2光照射单元、第1光照射单元的放射光控制机构和第2光照射单元的放射光控制机构，构成为，能够通过第2光照射单元的放射光控制机构调整从上述第2光照射单元放射的光的分光放射分布。
【专利说明】太阳能电池试验用光照射装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及太阳能电池试验用光照射装置，更详细地讲，涉及在太阳能电池模组 的寿命加速试验中使用的、对太阳能电池模组照射试验用光的太阳能电池试验用光照射装 置。

【背景技术】
[0002] 放射含有紫外线的光的光照射装置在被照射物（以下也称作"工件"）的表面改 性、曝光、成形、硬化、粘接及清洗等的光照射处理工艺或光照射试验等的各种领域中使用， 也被用于太阳能电池模组的寿命加速试验。
[0003] 作为太阳能电池模组，以往使用图2所示那样的具备多个太阳能电池单元的结晶 类太阳能电池模组。此外，近年来，推进了能够进行节省资源且节能的制造、具有在低成本 化、量产化及大面积化有利的构造的、例如图3所示那样的在共通的透光性基板上设有多 个太阳能电池单元单位的薄膜类太阳能电池模组的研究及商品化。
[0004] 在图2的结晶类太阳能电池模组100中，多个太阳能电池单元101分别具备半导 体层102,在该半导体层102的表面（图2中的上表面）上设有防反射膜103,在该防反射 膜103的表面（图2中的上表面）及半导体层102的背面（图2中的下表面）的各自上， 通过印刷形成有电极104AU04B。这些多个太阳能电池单元101在排列在同一平面上、通 过由金属线构成的互联件105串联连接的状态下，被覆盖该多个太阳能电池单元101及互 联件105而设置的由透光性的封固件构成的封固部107封固。在该封固部107的表面（图 2中的上表面）上，为了从来自外部的应力或水蒸气的影响的保护，设有由光透过性较高的 玻璃等构成的透光板108,由该透光板108形成受光面。此外，在封固部107的背面（图2 中的下表面）上，以与透光板108对置的方式，设有称作背片的具有水蒸气隔绝性的保护片 109。并且，在透光板108及保护片109的周缘上，经由密封件113设有用来将封固部107 与透光板108及保护片109 -起固定的铝制的框架112。
[0005] 这里，作为构成封固部107的透光性的封固件，使用例如乙烯一醋酸乙烯共聚体 (EVA)、聚乙烯醇缩丁醛（PVB)或硅树脂等。此外，作为保护片109,使用例如具有将氟化乙 烯（PVF)、聚对苯二甲酸乙二酯（PET)或聚乙烯（PE)等构成的膜层叠成的具有多层膜构造 的结构。
[0006] 在图3的薄膜类太阳能电池模组120中，多个太阳能电池单元单位121分别在构 成受光面的由玻璃或塑料构成的共通的透光性基板123上，依次层叠有透明电极124A、半 导体层122和背面电极124B。这些多个太阳能电池单元单位121以半导体层122的一端 侧（图3的左端侧）的端部接触在透光性基板123上、并且背面电极124B的一端侧（图3 的左端侧）的端部接触在相邻的太阳能电池单元单位121的透明电极124A上的方式设置。 艮P，相互相邻的太阳能电池单元单位121、121通过一方的太阳能电池单元单位121的透明 电极124A及另一方的太阳能电池单元121的背面电极124B串联连接，结果将多个太阳能 电池单元单位121全部串联连接。此外，串联连接的状态的多个太阳能电池单元单位121 被以将多个太阳能电池单元单位121覆盖的方式设置的、由透光性的封固件构成的封固部 127。在该封固部127的背面（图3的下表面）上，以与透光性基板123对置的方式，设有 称作背片的具有水蒸气隔绝性的保护片129。在保护片129及透光性基板123的周缘上，夹 着密封件133设有用来与保护片129及透光性基板123 -起将封固部127固定的铝制的框 架 132。
[0007] 这里，作为构成封固部127的透光性的封固件，使用例如乙烯一醋酸乙烯共聚体 (EVA)、聚乙烯醇缩丁醛（PVB)或硅树脂等。此外，作为保护片129,使用将例如由氟化乙烯 (PVF)，聚对苯二甲酸乙二酯（PET)或聚乙烯（PE)等构成的膜层叠成的具有多层膜构造的 结构。
[0008] 此外，在太阳能电池模组中，被要求长寿命化。并且，在太阳能电池模组的使用寿 命方面，已知起因于对构成封固部的封固件及保护片等的由有机材料构成的构成部件照射 紫外线发生的劣化会带来较大的影响。于是，提出了具备对于紫外线具有良好的耐候性的 构成部件的太阳能电池模组（例如，参照专利文献1及专利文献2)。
[0009] 作为这样的太阳能电池模组的寿命试验，有使用模拟太阳光源的方法。在使用该 模拟太阳光源的方法中，一般使用放射含有紫外线的光的光照射装置。具体而言，将作为光 照射装置的光源的紫外线灯作为模拟太阳光源，进行照射紫外线以使太阳能电池模组的光 照射面上的放射照度比被照射自然太阳光的情况下的放射照度大的寿命加速试验。
[0010] 该寿命加速试验在以往对构成太阳能电池模组的构成部件分别单独地进行，但通 过太阳能电池单元或太阳能电池单元单位或其他构成部件的組合，寿命特性也有可能变 化，所以近年来，重视在作为实际使用的状态的太阳能电池模组的形态下进行。
[0011] 此外，在寿命加速试验中实现了试验所需时间的进一步的缩短的情况下，从担心 在实用环境下不会发生那样的故障事故、具体而言发生破坏的观点，要求在更依据实用使 用条件的试验条件下进行寿命加速试验。
[0012] 作为用来以太阳能电池模组自身为试验对象体进行寿命加速试验的太阳能电池 试验用光照射装置，使用如图26所示那样以包含来自多个紫外线灯142的紫外线的光为试 验用光、将试验用光朝向试验对象体、即由作为工件W的太阳能电池模组构成的面板的表 面（图26中的上表面）照射的结构。
[0013] 图26的太阳能电池试验用光照射装置具备形成收容作为工件W的太阳能电池模 组的处理室的箱型形状的腔室145和光照射单元141。光照射单元141在向下方（图26中 的下方）开口有光放射口 143A的箱型形状的灯用箱体143的内部配设有多个放射试验用 光的紫外线灯142。并且，光照射单元141以将该开口 145A堵塞的方式，配置在形成于腔室 145的上方侧（图26中的上方侧）的用来导入试验用光的开口 145A的上方。
[0014] 在该太阳能电池试验用光照射装置中，通过将从光照射单元141放射的试验用光 直接或向设在腔室145的周壁部145B的内面上的反射板147反射，仅对工件W的表面、即 具有作为太阳能电池模组的光照射面的受光面的表面照射。
[0015] 通过使用这样的太阳能电池试验用光照射装置对太阳能电池模组自身进行寿命 加速试验，对于容易受到由紫外线带来的劣化的影响的构成部件（具体而言，构成封固部 的封固件及保护片），也与实用环境下同样，照射其他构成部件（具体而言，在结晶类太阳 能电池模组100中是透光板108,此外在薄膜系太阳能电池模组120中是透光性基板123及 太阳能电池单元单位121的透明电极124A)的透射光。此外，仅被照射其他构成部件的透 射光中的再穿过了其他构成部件（具体而言，在结晶类太阳能电池模组100中是太阳能电 池单元101，在薄膜类太阳能电池模组120中是太阳能电池单元单位121)之间的泄漏光。 因此，研究了通过使工件W的表面上的紫外线照度大到不发生破坏的程度来实现试验所需 时间的进一步的缩短化。
[0016] 但是，近来，太阳能电池的普及在各种各样的领域及场所扩大。具体而言，以往在 单独住宅的房顶设置太阳能电池模组是主流，但在近年来，将太阳能电池模组设置在公寓 的屋顶或空闲中的土地上，进而在"Mega Solar"发电站中使用。因此，判明了有以太阳能 电池模组自身为试验对象体、通过仅对太阳能电池模组的表面照射试验用光、不能在依据 实用使用条件的试验条件下进行寿命加速试验的问题。
[0017] 以下，该新判明的问题进行说明。
[0018] 在将太阳能电池模组设置在单独住宅的房顶以外的场所的情况下，一般为了得到 更高的发电效率，以使太阳能电池模组对应于太阳光的照射角度为目的，将太阳能电池模 组设置在架台上，此外特别在"Mega Solar"发电站中使用的情况下，为了得到更高的发电 效率，也有使用搭载有用来有效率地受光太阳光的太阳追随装置的架台。并且，架台的高度 以减少来自设置场所的地面（架台的设置面）的湿气的影响为目的，将太阳能电池模组的 设置场所的从地面（架台的设置面）的离开距离设定为lm左右。
[0019] 这样，在将太阳能电池模组设置在具有某种程度的高度的架台之上的情况下，与 设置在具有倾斜的单独住宅的房顶、接近于该房顶而取位的情况不同，被设置场所的地面 (架台的设置面）反射、散射的太阳光（反射光）照射到设在太阳能电池模组的背面上的保 护片上。
[0020] 于是，被照射到保护片上的来自设置场所的地面（架台的设置面）的反射光虽然 相比来自太阳的直接光放射强度较小，但设置太阳能电池模组那样的场所的地面（设置架 台的地面）上的太阳光的反射率一般相对于来自太阳的直接光，草地面为3?4%，混凝土 面为10%，沙地面为15%，在雪面为80?90%，所以判明了该反射光的照射给保护片的劣 化带来较大影响。
[0021] 并且，如上述那样，太阳光的反射率根据设置场所的地面的状态而不同，所以可知 照射在保护片上的太阳光（反射光）的放射强度根据设置场所而变化。
[0022] 进而，来自设置场所的地面（架台的设置面）的反射光因为在其反射面即设置场 所的地面（架台的设置面）发生光吸收，具有与对太阳能电池模组的表面照射的太阳光的 分光放射分布不同的分光放射分布，而且，因为根据设置场所的地面的状态而太阳光的光 吸收特性不同，可知照射在保护片上的太阳光（反射光）的分光放射分布根据设置场所而 变化。
[0023] 如以上那样，再现将太阳能电池模组设置到具有某种程度的高度的架台之上的情 况下，在太阳能电池模组的背面的保护片上被照射来自太阳能电池模组的设置场所的地面 (架台的设置面）的反射光。并且，该反射光不是具有与照射在太阳能电池模组的表面上的 太阳光必定相同的分光放射分布的，并且该反射光的放射强度及分光放射分布根据设置场 所的地面（架台的设置面）的状态而不同。因此，可知为了在依据实用使用条件的试验条 件下进行寿命加速试验，需要将来自太阳能电池模组的设置场所的地面（架台的设置面） 的反射光给太阳能电池模组的背面的保护片带来的影响根据该设置场所而考虑。
[0024] 进而，根据设置场所，也有太阳能电池模组的表面侧和背面侧的温度条件及湿度 条件等的环境条件不同的情况，可知需要考虑在该太阳能电池模组的表面侧和背面侧环境 条件不同的状况给太阳能电池模组的背面的保护片带来的影响。
[0025] 然而，以往的太阳能电池试验用光照射装置是仅将试验用光从太阳能电池模组的 表面侧对该太阳能电池模组的表面照射的结构，而不是考虑到从太阳能电池模组的背面侧 照射在该太阳能电池模组的背面上的太阳光的影响的结构，所以不能在依据实用使用条件 的试验条件下进行寿命加速试验。此外，当然不是考虑到太阳能电池模组的表面侧和背面 侧的温度条件及湿度条件等的环境条件的影响的结构。
[0026] 此外，作为太阳能电池模组，提出了结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能电池 模组等的具有各种构造的模组，在这些具有不同构造的太阳能电池模组中，根据其构造而 寿命试验条件不同。因此，作为太阳能电池试验用光照射装置，需要准备与作为试验对象体 的太阳能电池模组的构造对应的专用的装置。
[0027] S卩，在太阳能电池模组中，根据其构造而用于寿命试验的紫外线照射条件不同。具 体而言，结晶类太阳能电池模组的寿命试验的紫外线照射条件由日本工业规格（JIS)号 C8990决定。另一方面，薄膜类太阳能电池模组的寿命试验的紫外线照射条件由日本工业规 格（JIS)号C8991决定。因此，在进行结晶类太阳能电池模组的寿命加速试验及薄膜类太 阳能电池模组的寿命加速试验的情况下，需要依据各自的规格，所以结晶类太阳能电池模 组的寿命加速试验和薄膜类太阳能电池模组的寿命加速试验对作为试验对象的太阳能电 池模组照射的紫外线的分光放射分布不同。
[0028] 然而，以往的太阳能电池试验用光照射装置是与结晶类太阳能电池模组或薄膜类 太阳能电池模组的某种对应的专用的装置，设定了仅与作为试验对象的一种太阳能电池模 组对应的紫外线照射条件，所以关于具有其他构造的太阳能电池模组不能进行寿命加速试 验。
[0029] 专利文献1 :特开2011 - 018872号公报
[0030] 专利文献2 :特开2011 - 228382号公报


【发明内容】

[0031] 本发明是基于以上那样的情况而做出的，其第1目的是提供一种在使用紫外线灯 作为模拟太阳光源的太阳能电池模组的寿命加速试验中、能够形成与希望的任意的试验条 件对应的试验环境、因而能够依据实用使用条件提高加速度的太阳能电池试验用光照射装 置。
[0032] 此外，第2目的是提供一种能够对结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能电池模 组的两者实施寿命加速试验的太阳能电池试验用光照射装置。
[0033] 本发明的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于，具有：腔室，在内部保持由 被试验的太阳能电池模组构成的面板；第1光照射单元，具备由多个紫外线灯构成的第1紫 外线光源，对上述面板的表面照射来自该第1紫外线光源的含有紫外线的光；第2光照射单 元，具备由多个紫外线灯构成的第2紫外线光源，对上述面板的背面照射来自该第2紫外线 光源的含有紫外线的光；第1光照射单元的放射光控制机构；第2光照射单元的放射光控 制机构；构成为，能够通过上述第2光照射单元的放射光控制机构调整从上述第2光照射单 元放射的光的分光放射分布。
[0034] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述第2光照射单元的 第2紫外线光源由多个紫外线灯A及多个具有与该紫外线灯A不同的分光放射分布的紫外 线灯B构成；上述第2光照射单元的放射光控制机构具有通过使从多个上述紫外线灯A及 多个上述紫外线灯B中选择者点灯、调整从该第2光照射单元放射的光的分光放射分布的 功能。
[0035] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述第2光照射单元的 放射光控制机构具有使来自可更换地设在上述第2光照射单元中的第2紫外线光源的光中 的特定的波长的光透过的波长选择滤波器，通过作为该波长选择滤波器而使用具有特定的 波长选择性者，调整从该第2光照射单元放射的光的分光放射分布。
[0036] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述第2光照射单元的 放射光控制机构具有通过控制点灯的紫外线灯的数量及对紫外线灯供给的电力量的至少 一方、来调整面板背面的放射照度的功能。
[0037] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述第2光照射单元的 放射光控制机构具有位于上述第2光照射单元与保持的面板之间的、用来调整面板背面上 的放射照度的透射光调整机构。
[0038] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述腔室的内部空间在 保持着面板的状态下被该面板分割为分别独立的表面侧空间和背面侧空间；在上述腔室中 设有形成与背面侧空间连通的背面侧循环风路的背面侧循环风路形成部件，在该背面侧循 环风路中，设有送风机构、循环风冷却除湿机构、循环风加热机构及循环风加湿机构。
[0039] 此外，在这样的本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述送风机 构、上述循环风冷却除湿机构、上述循环风加热机构及上述循环风加湿机构的至少一个为 被控制机构控制以在选定的条件下动作的结构。
[0040] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，构成为，能够通过上述第 1光照射单元的放射光控制机构调整从该第1光照射单元放射的光的分光放射分布。
[0041] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，上述第1光照射单元的 放射光控制机构具有调整面板表面上的放射照度的功能。
[0042] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，在上述腔室中，设有形成 与表面侧空间连通的表面侧循环风路的表面侧循环风路形成部件，在该表面侧循环风路 中，设有送风机构、循环风冷却除湿机构、循环风加热机构及循环风加湿机构。
[0043] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，优选的是，具有试验环境条件设定 机构，在该试验环境条件设定机构中，设定至少从上述第2光照射单元放射的光的分光放 射分布。
[0044] 发明效果
[0045] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，和用来对由被试验的太阳能电池模 组构成的面板的表面照射光的第1光照射单元一起，设有用来对该面板的背面照射光的第 2光照射单元。并且，第1光照射单元及第2光照射单元分别被专用的放射光控制机构控 制，并且，通过第2光照射单元的放射光控制机构，能够将从第2光照射单元放射的光的分 光放射分布与从第1光照射单元放射的光的分光放射分布独立地调整。因此，能够对由太 阳能电池模组构成的面板的背面也照射光（试验用光），并且能够对该面板的背面照射不 仅放射强度、分光放射分布也与对该面板的表面照射的光不同的光。
[0046] 因而，根据本发明的太阳能电池试验用光照射装置，能够对由作为试验对象体的 太阳能电池模组构成的面板的背面也照射光，并且能够对该面板的表面及背面分别照射具 有不同的放射强度及分光放射分布的光。因此，在太阳能电池模组的寿命加速试验中，能够 形成与希望的任意的试验条件对应的试验环境，所以能够以依据实用使用条件的试验条件 进行试验，由此能够依据实用使用条件提高加速度。
[0047] 此外，在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，通过由被试验的太阳能电池 模组构成的面板将腔室的内部空间分割为表面侧空间和背面侧空间，在连通到该背面侧空 间的背面侧循环风路中设置送风机构、循环风冷却除湿机构、循环风加热机构及循环风加 湿机构。由此，能够调整背面侧空间的温度条件及湿度条件，使该背面侧空间的气体环境成 为具有与表面侧空间的气体环境不同的温度及湿度的气体环境。因此，在太阳能电池模组 的寿命加速试验中，即使在作为试验对象体的面板的背面侧的气体环境中需要的温度条件 及湿度条件与在该面板的表面侧的气体环境中需要的温度条件及湿度条件不同的情况，也 能够以依据实用使用条件的试验条件进行试验，由此能够依据实用使用条件提高加速度。 [0048] 在本发明的太阳能电池试验用光照射装置中，通过构成为，能够由第1光照射单 兀的放射光控制机构调整从第1光照射单兀放射的光的分光放射分布，能够对由太阳能电 池模组构成的面板的表面照射具有希望的任意的分光放射分布的光。因此，能够对寿命加 速试验的紫外线照射条件（分光放射照度分布条件）不同的结晶类太阳能电池模组及薄膜 类太阳能电池模组的两者实施寿命加速试验。

【专利附图】

【附图说明】
[0049] 图1是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第1实施 方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的说明图。
[0050] 图2是表示由本发明的太阳能电池试验用光照射装置试验的太阳能电池模组的 结构的一例的说明图。
[0051] 图3是表示由本发明的太阳能电池试验用光照射装置试验的太阳能电池模组的 结构的另一例的说明图。
[0052] 图4是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示构成图1的有关第1实 施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1光照射单元及第2光照射单元的结构的说明 图。
[0053] 图5是表示构成图4的第1光照射单元的第1紫外线光源及第2光照射单元的第 2紫外线光源的紫外线灯A及紫外线灯B的各自的分光放射分布、和在图4的第1光照射单 元及第2光照射单元中、构成第1紫外线光源及第2紫外线光源的全部的紫外线灯被点灯 的情况下放射的光的分光放射分布的曲线图。
[0054] 图6是表示在图4的第1光照射单元及第2光照射单元中放射的光的分光放射分 布的第1调整例的说明图。
[0055] 图7是表示在图4的第1光照射单元及第2光照射单元中放射的光的分光放射分 布的第2调整例的说明图。
[0056] 图8是表示在图4的第1光照射单元及第2光照射单元中放射的光的分光放射分 布的第3调整例的说明图。
[0057] 图9是表示在图4的第1光照射单元及第2光照射单元中放射的光的分光放射分 布的第4调整例的说明图。
[0058] 图10是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第2实 施方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的主要部的概略的说明图。
[0059] 图11是表示在图10的有关第2实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元中放射的光的放射强度的第1调整例的说明图。
[0060] 图12是表示在图10的有关第2实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元中放射的光的放射强度的第2调整例的说明图。
[0061] 图13是表示在图10的有关第2实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元中放射的光的放射强度的第3调整例的说明图。
[0062] 图14是表示在图10的有关第2实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元中放射的光的放射强度的第4调整例的说明图。
[0063] 图15是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第3实 施方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的主要部的说明图。
[0064] 图16是在构成图15的有关第3实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图15的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第1 例的说明图。
[0065] 图17是在构成图15的有关第3实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图15的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第2 例的说明图。
[0066] 图18是在构成图15的有关第3实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图15的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第3 例的说明图。
[0067] 图19是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第4实 施方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的主要部的说明图。
[0068] 图20是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图19的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第1 例的说明图。
[0069] 图21是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图19的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第2 例的说明图。
[0070] 图22是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的一例中、以将图19的用B表示的 部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的第3 例的说明图。
[0071] 图23是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的另一例中、以将图19的用B表示 的部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的 第1例的说明图。
[0072] 图24是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的另一例中、以将图19的用B表示 的部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的 第2例的说明图。
[0073] 图25是在构成图19的有关第4实施方式的太阳能电池试验用光照射装置的第1 光照射单元及第2光照射单元的透射光调整机构的结构的另一例中、以将图19的用B表示 的部分从箭头A方向透视的状态表示构成该透射光调整机构的两个开口板的位置关系的 第3例的说明图。
[0074] 图26是表示以往的太阳能电池试验用光照射装置的结构的一例的说明图。

【具体实施方式】
[0075] 以下，对本发明的实施方式进行说明。
[0076] 〔第1实施方式〕
[0077] 图1是与由被试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第1实施 方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的说明图。
[0078] 有关第1实施方式的太阳能电池试验用光照射装置（以下，也称作"第1太阳能电 池试验用光照射装置"）10是用来以由太阳能电池模组构成的面板为试验对象体即被照射 物（工件）W、通过对该工件W的表面（图1中的上表面）及背面（图1中的下表面）照射 含有紫外线的光、对作为工件W的太阳能电池模组进行寿命试验（寿命加速试验）的光照 射装置。
[0079] 第1太阳能电池试验用光照射装置的试验对象体、即作为工件W的太阳能电池模 组在表面上具有受光面，构成该受光面的构成部件配设在将太阳能电池单元或太阳能电池 单元单位封固而成的封固部的表面上。在该太阳能电池模组中，在封固部的背面上，对置于 受光面而配设有保护片。此外，构成受光面的构成部件、封固部及保护片通过框架固定。
[0080] 具体而言，可以举出例如具备多个图2所示那样的太阳能电池单元101的结晶类 太阳能电池模组、或在图3所示那样的共通的透光性基板123上设有多个太阳能电池单元 单位121的薄膜类太阳能电池模组等。
[0081] 这里，在图2的结晶类太阳能电池模组100中，多个太阳能电池单元101分别由 例如硅多结晶构成，具备具有P型半导体层及N型半导体层的半导体层102,在该半导体层 102的表面（图2中的上表面）上，设有例如由硅氮化膜（SiN膜）等构成的防反射膜103。 并且，在防反射膜103的表面（图2中的上表面）及半导体层102的背面（图2中的下表 面）上，通过印刷形成有电极104A、104B。这些多个太阳能电池单元101在同一平面上排 列，在通过由金属线构成的互联件105串联连接的状态下，被以将该多个太阳能电池单元 101及互联件105覆盖的方式设置的、由透光性的封固件构成的封固部107封固。这里，作 为封固件而使用例如乙烯一醋酸乙烯共聚体（EVA)，聚乙烯醇缩丁醛（PVB)及硅树脂等。
[0082] 在封固部107的表面（图2中的上表面）上，为了从来自外部的应力及水蒸气的 影响的保护，设有由光透过性较高的玻璃等构成的透光板108,通过该透光板108形成受光 面。此外，在封固部107的背面（图2中的下表面）上，对置于透光板108而设有称作背片 的具有水蒸气隔绝性的保护片109。这里，保护片109具有将例如由氟化乙烯（PVF)、聚对苯 二甲酸乙二酯（PET)或聚乙烯（PE)等构成的膜层叠成的多层膜构造。并且，在透光板108 及保护片109的周缘上，经由密封件113设有用来与透光板108及保护片109 -起将封固 部107固定的铝制的框架112。
[0083] 此外，在图3的薄膜类太阳能电池模组120中，多个太阳能电池单元单位121分别 是在构成受光面的由玻璃或塑料形成的共通的透光性基板123上依次层叠透明电极124A、 具有P型半导体层及N型半导体层的半导体层122和背面电极124B的结构。这里，透明电 极124A是由氧化铟锡（ΙΤ0)、氧化锌（ZnO)及氧化锡（Sn0 2)等构成的，背面电极124B是由 氧化铟锡（ΙΤ0)、氧化锌（ZnO)、氧化锡（Sn02)及银（Ag)等构成的。这些多个太阳能电池 单元单位121设置为，半导体层122的一端侧（图3中的左端侧）的端部接触在透光性基 板123上，并且背面电极124B的一端侧（图3中的左端侧）的端部接触在相邻的太阳能电 池单元单位121的透明电极124A上。即，相互相邻的太阳能电池单元单位121、121通过一 方的太阳能电池单元单位121的透明电极124A及另一方的太阳能电池单元121的背面电 极124B串联连接，结果将多个太阳能电池单元单位121全部串联连接。此外，串联连接的 状态的多个太阳能电池单元单位121被以将多个太阳能电池单元单位121覆盖的方式设置 的、由透光性的封固件构成的封固部127封固。这里，作为封固件，使用例如乙烯一醋酸乙 烯共聚体（EVA)、聚乙烯醇缩丁醛（PVB)及硅树脂等。在封固部127的背面（图3中的下表 面）上，对置于透光性基板123而设有称作背片的具有水蒸气隔绝性的保护片129。这里， 保护片129具有将例如由氟化乙烯（PVF)、聚对苯二甲酸乙二酯（PET)或聚乙烯（PE)等构 成的膜层叠而成的多层膜构造。此外，在保护片129及透光性基板123的周缘上，经由密封 件133设有用来与保护片129及透光性基板123 -起将封固部127固定的铝制的框架132。
[0084] 第1太阳能电池试验用光照射装置10具备在内部保持收容工件W的矩形筒状的 腔室11、将该腔室11的上方（图1中的上方）的开口封堵而设置的第1光照射单元20、和 将该腔室11的下方（图1中的下方）的开口封堵而设置的第2光照射单元25。第1光照 射单元20是在向下方（图1中的下方）开口有光放射口 22A的箱型形状的灯用箱体22的 内部配设有由多个紫外线灯21构成的第1紫外线光源的结构，此外，第2光照射单元25是 在向上方（图1中的上方）开口有光放射口 27A的箱型形状的灯用箱体27的内部配设有 由多个紫外线灯26构成的第2紫外线光源的结构。
[0085] 在该第1太阳能电池试验用光照射装置10中，在腔室11的内部，形成有被该腔室 11的周壁部11A、第1光照射单元20及第2光照射单元25包围的用来收容工件W的空间。 此外，在腔室11的外部，设有用来对构成第1光照射单元20的第1紫外线光源的多个紫外 线灯21分别供给电力的第1电源部24、和用来对构成第2光照射单元25的第2紫外线光 源的多个紫外线灯26分别供给电力的第2电源部29。并且，第1电源部24及第2电源部 29经由第1控制部18A及第2控制部18B连接在主控制部19上。
[0086] 在腔室11中，在该腔室11的内部，在从第1光照射单元20的灯用箱体22的光放 射口 22A的开口端面及第2光照射单元25的灯用箱体27的光放射口 27A的开口端面的 离开距离相同的位置上，设有用来以与这些开口端面平行的状态保持工件W的工件支承部 12〇
[0087] 工件支承部12由设在腔室11的周壁部11A的内周面上的工件载置用凸部13、和 以将载置在该工件载置用凸部13上的工件W从上方侧（图1中的上方侧）夹入的方式配 置的固定用板部件14构成。
[0088] 构成工件支承部12的工件载置用凸部13遍及腔室11的周壁部11A的内周面的 整周设为矩形环状。该工件载置用凸部13向与周壁部11A的内周面垂直的方向突起，在其 前端部的表面侧（图1中的上表面侧），形成有该前端部的厚度比基端部的厚度小那样的阶 差，其截面形状是层级状，具有在作为下段的前端部载置作为工件W的太阳能电池模组的 周缘部（具体而言是框架）的结构。
[0089] 在该工件载置用凸部13中，从周壁部11A的内周面的突起高度（图1中的左右方 向的尺寸）为由工件载置用凸部13的前端形成的矩形状的开口（以下，也称作"工件支承 部间开口 "）具有对作为工件W的太阳能电池模组的保护片的表面应用的内形尺寸（开口 尺寸）那样的尺寸。此外，前端部的长度（图1中的左右方向的尺寸）为通过将工件W的 周缘部载置在该前端部而作为工件W的太阳能电池模组的保护片的表面整面位于工件支 承部间开口上的区域中那样的尺寸。
[0090] 在该图的例子中，为与作为工件W的太阳能电池模组的框架的背面一起、该框架 的侧面接触在工件载置用凸部13上的状态。
[0091] 并且，工件载置用凸部13通过被配置作为工件W的太阳能电池模组，成为在该太 阳能电池模组的背面中仅框架接触在该工件载置用凸部13的前端部的表面上的状态，由 此，成为太阳能电池模组的保护片的表面整面经由工件支承部间开口露出到第2光照射单 元25侧的状态。
[0092] 此外，构成工件支承部12的固定用板部件14由口字状的平板体、即在中央部具有 矩形状的开口的平板体构成。构成该固定用板部件14的平板体具有与腔室11的开口（具 体而言上方的开口）适合的外形尺寸，并且具有与作为工件W的太阳能电池模组的受光面 适合的内形尺寸（开口尺寸）。
[0093] 并且，固定用板部件14通过配置到载置在工件载置用凸部13上的作为工件W的 太阳能电池模组上，成为仅框架接触在该太阳能电池模组的表面上的状态，由此，成为该太 阳能电池模组的受光面整面经由该固定用板部件14的开口露出在第1光照射单元20侧的 状态。
[0094] 在该图的例子中，固定用板部件14成为与作为工件W的太阳能电池模组的框架的 表面一起接触在工件载置用凸部13的基端部的表面上的状态。
[0095] 于是，在第1太阳能电池试验用光照射装置10中，通过将工件W用工件支承部12 保持，腔室11的内部的用来收容工件W的空间被分割为位于工件W的表面侧（图1中的上 表面侧）的表面侧空间S1、和位于该工件W的背面侧（图1中的下表面侧）的背面侧空间 S2。此外，使表面侧空间S1和背面侧空间S2为独立的状态。并且，在表面侧空间S1中，成 为作为工件W的太阳能电池模组的表面中的受光面（具体而言，在作为工件W的太阳能电 池模组是结晶类太阳能电池模组100的情况下是透光板108的表面，或在是薄膜类太阳能 电池模组120的情况下是透光性基板123的表面）从固定用板部件14的开口露出的状态。 另一方面，在背面侧空间S2中，成为太阳能电池模组的背面的保护片的表面从有关工件载 置用凸部13的工件支承部间开口露出的状态。
[0096] 这里，表面侧空间S1被工件W、腔室11的周壁部11A和第1光照射单元20包围 而成为闭空间。此外，背面侧空间S2被工件W、腔室11的周壁部11A和第2光照射单元25 包围而成为闭空间。
[0097] 此外，在第1太阳能电池试验用光照射装置10中，在腔室11中，在周缘部11A的 将表面侧空间S1包围的区域中，相互对置而形成有将用来调整表面侧空间S1中的温度及 湿度的由空气构成的气体环境调整媒体（以下，也称作"第1循环空气"）导入的第1导入 用开口 16A、和用来将从该第1导入用开口 16A导入的第1循环空气排出的第1排出用开口 16B。此外，在第1导入用开口 16A及第1排出用开口 16B处，设有与表面侧空间S1连通、 用来形成用来使第1循环空气循环的表面侧循环风路（以下，也称作"第1循环风路"）30 的表面侧循环风路形成部件。
[0098] 在第1循环风路30中，从上游侧朝向下游侧依次设有用来将第1循环空气送出而 使其循环的第1送风机构31、用来进行第1循环空气的冷却及除湿的第1循环风冷却除湿 机构32、用来进行第1循环空气的加热的第1循环风加热机构33及用来进行第1循环空气 的加湿的第1循环风加湿机构34。并且，这些第1送风机构31、第1循环风冷却除湿机构 32、第1循环风加热机构33及第1循环风加湿机构34分别经由第1控制部18A连接在主 控制部19上。
[0099] 在该图的例子中，将第1循环风路30中的第1循环空气的循环方向用箭头表示。
[0100] 并且，在第1循环风路30中，在第1循环风加湿机构34的下游侧，从上游侧朝向 下游侧依次设有第1温度监视器35及第1湿度监视器36,这些第1温度监视器35及第1 湿度监视器36经由第1控制部18A连接在主控制部19上。
[0101] 第1温度监视器35是测量在第1循环风路30中流通的第1循环空气的温度的， 将其测量结果向第1控制部18A发送。
[0102] 此外，第1湿度监视器36是测量在第1循环风路30中流通的第1循环空气的湿 度的，将其测量结果向第1控制部18A发送。
[0103] 此外，在腔室11中，在周缘部11A的将背面侧空间S2包围的区域中，相互对置而 形成有将用来调整背面侧空间S2中的温度及湿度的由空气构成的气体环境调整媒体（以 下，也称作"第2循环空气"）导入的第2导入用开口 17A、和用来将从该第2导入用开口 17A导入的第2循环空气排出的第2排出用开口 17B。此外，在第2导入用开口 17A及第2 排出用开口 17B处，设有与背面侧空间S2连通、用来形成使第2循环空气循环的背面侧循 环风路（以下，也称作"第2循环风路"）40的背面侧循环风路形成部件。
[0104] 在第2循环风路40中，从上游侧朝向下游侧依次设有用来将第2循环空气送出并 使其循环的第2送风机构41、用来进行第2循环空气的冷却及除湿的第2循环风冷却除湿 机构42、用来进行第2循环空气的加热的第2循环风加热机构43及用来进行第2循环空气 的加湿的第2循环风加湿机构44。并且，这些第2送风机构41、第2循环风冷却除湿机构 42、第2循环风加热机构43及第2循环风加湿机构44分别经由第2控制部18B连接在主 控制部19上。
[0105] 在该图的例子中，将第2循环风路40中的第2循环空气的循环方向用箭头表示。
[0106] 并且，在第2循环风路40中，在第2循环风加湿机构44的下游侧，从上游侧朝向 下游侧依次设有第2温度监视器45及第2湿度监视器46,这些第2温度监视器45及第2 湿度监视器46经由第2控制部18B连接在主控制部19上。
[0107] 第2温度监视器45是测量在第2循环风路40中流通的第2循环空气的温度的， 将其测量结果向第2控制部18B发送。
[0108] 此外，第2湿度监视器46是测量在第2循环风路40中流通的第2循环空气的湿 度的，将其测量结果向第2控制部18B发送。
[0109] 第1光照射单元20由具有光放射口 22A的大致长方体的箱型形状的灯用箱体22、 配置在该灯用箱体22的内部中的由多个棒状的紫外线灯21构成的第1紫外线光源、和对 各个紫外线灯21供给电力的第1电源部24构成，将来自第1紫外线光源的含有紫外线的 光向作为工件W的太阳能电池模组的表面中的受光面照射。
[0110] 在该第1光照射单元20中，构成第1紫外线光源的多个紫外线灯21中，各个紫外 线灯21以与在腔室11内被工件支承部12支承的状态的工件W的表面、或该工件支承部12 的表面对置的方式配置。由此，第1光照射单元20的照射区域被设定为比保持在腔室11 内的工件W的表面整面大。
[0111] 在该图的例子中，构成第1紫外线光源的多个紫外线灯21各自的灯中心轴位于灯 用箱体22的与光放射口 22A的开口端面平行的两个平面的某个中。并且，灯中心轴位于两 个平面中的光放射口 22A侧的一平面内的多个紫外线灯21以与紫外线灯21的外径同等的 间隔相互离开而并列地配置。此外，灯中心轴位于灯用箱体22的底部22B侧的一平面内的 多个紫外线灯21以与紫外线灯21的外径同等的间隔相互离开，并且并列地配置，以位于与 位于光放射口 22A侧的紫外线灯21的相互相邻的灯彼此的间隙或端部的紫外线灯21的外 方位置对应的区域中。
[0112] 此外，构成第1紫外线光源的多个紫外线灯21如图4所示，由分光放射分布不同 的两种紫外线灯构成。具体而言，由具有在图5中用曲线（A)表示的分光放射分布的紫外 线灯A、和具有在图5中用曲线（B)表示的分光放射分布的紫外线灯B构成。
[0113] 这些紫外线灯A及紫外线灯B分别只要为在太阳能电池模组的寿命加速试验中使 用的模拟太阳光源就可以，例如可以使用惰性气体荧光灯等。
[0114] 在该图的例子中，作为位于光放射口 22A侧的多个（具体而言是18根）紫外线灯 21而使用紫外线灯A，此外作为位于灯用箱体22的底部22B侧的多个（具体而言是18根） 紫外线灯21而使用紫外线灯B。
[0115] 第2光照射单元25如图1及图4所示，具有与第1光照射单元20同样的结构，通 过具有光放射口 27A的大致长方体的箱型形状的灯用箱体27、配置在该灯用箱体27的内部 的由多个棒状的紫外线灯26构成的第2紫外线光源、和对各个紫外线灯26供给电力的第 2电源部29构成，将来自第2紫外线光源的含有紫外线的光向作为工件W的太阳能电池模 组的背面的保护片的表面照射。
[0116] 在该第2光照射单元25中，构成第2紫外线光源的多个紫外线灯26配置为，使各 个紫外线灯26对置于在腔室11内被工件支承部12支承的状态的工件W的背面、或该工件 支承部12的背面。由此，第2光照射单元25的照射区域设定得比保持在腔室11内的工件 W的表面整面大。
[0117] 在该图的例子中，构成第2紫外线光源的多个紫外线灯26各自的灯中心轴位于灯 用箱体27的与光放射口 27A的开口端面平行的两个平面的某个中。并且，灯中心轴位于两 个平面中的光放射口 27A侧的一平面内的多个紫外线灯26以与紫外线灯26的外径同等的 间隔相互离开而并列地配置。此外，灯中心轴位于灯用箱体27的底部27B侧的一平面内的 多个紫外线灯26以与紫外线灯26的外径同等的间隔相互离开，并且并列地配置，以位于与 位于光放射口 27A侧的紫外线灯26的相互相邻的灯彼此的间隙或端部的紫外线灯26的外 方位置对应的区域。
[0118] 此外，构成第2紫外线光源的多个紫外线灯26与构成第1紫外线光源的紫外线灯 21同样，如图4所示，由分光放射分布不同的两种紫外线灯构成。具体而言，由具有在图5 中用曲线（A)表示的分光放射分布的紫外线灯A、和具有在图5中用曲线（B)表示的分光放 射分布的紫外线灯B构成。
[0119] 在该图的例子中，作为位于光放射口 27A侧的多个（具体而言是18根）紫外线 灯26而使用紫外线灯A，此外，作为位于灯用箱体27的底部27B侧的多个（具体而言是18 根）紫外线灯26而使用紫外线灯B。
[0120] 第1控制部18A作为第1光照射单元20的放射光控制机构发挥作用，并且作为基 于第1温度监视器35及第1湿度监视器36的测量结果控制第1送风机构31、第1循环风 冷却除湿机构32、第1循环风加热机构33及第1循环风加湿机构34的动作的气体环境控 制机构作用。
[0121] 由该第1控制部18A形成的第1光照射单元20的放射光控制机构具体而言，具有 下述（1 一 1)?（1 一 3)的点灯控制功能。
[0122] (1 一 1)使构成第1紫外线光源的多个紫外线灯21中的从位于光放射口 22A侧的 多个紫外线灯A(以下，将它们一起也称作"第1灯A群"）21A及构成该第1紫外线光源的 多个紫外线灯21中的位于灯用箱体22的底部22B侧的多个紫外线灯B (以下，将它们一起 也称作"第1灯B群"）21B中选择的灯点灯、由此调整从第1光照射单元20放射的光的分 光放射分布的功能。
[0123] (1 - 2)控制构成第1灯A群21A的紫外线灯A中的点灯的紫外线灯A的数量及 构成第1灯B群21B的紫外线灯B中的点灯的紫外线灯B的数量、由此调整工件W的表面 上的放射照度的功能。即，调整从第1光照射单元20放射的光的放射强度的功能。
[0124] (1 一 3)控制向构成第1灯A群21A的紫外线灯A及构成第1灯B群21B的紫外 线灯B供给的电力量、由此调整工件W的表面上的放射照度的功能。即，调整从第1光照射 单元20放射的光的放射强度的功能。
[0125] 第2控制部18B作为第2光照射单元25的放射光控制机构发挥作用，并且作为基 于第2温度监视器45及第2湿度监视器46的测量结果控制第2送风机构41、第2循环风 冷却除湿机构42、第2循环风加热机构43及第2循环风加湿机构44的动作的气体环境控 制机构发挥作用。
[0126] 由该第2控制部18B形成的第2光照射单元25的放射光控制机构具体而言，具有 下述（2 - 1)?（2 - 3)的点灯控制功能。
[0127] (2 - 1)使构成第2紫外线光源的多个紫外线灯26中的位于光放射口 22A侧的多 个紫外线灯A (以下，将它们一起也称作"第2灯A群"）26A及构成该第2紫外线光源的多 个紫外线灯26中的位于灯用箱体27的底部27B侧的多个紫外线灯B (以下，将它们一起也 称作"第2灯B群"）26B中选择的灯点灯、由此调整从第2光照射单元25放射的光的分光 放射分布的功能。
[0128] (2 - 2)控制构成第2灯A群26A的紫外线灯A中的点灯的紫外线灯A的数量及 构成该第2灯B群26B的紫外线灯B中的点灯的紫外线灯B的数量、由此调整工件W的表 面上的放射照度的功能。即，调整从第2光照射单元25放射的光的放射强度的功能。
[0129] (2 - 3)控制向构成第2灯A群26A的紫外线灯A及构成第2灯B群26B的紫外 线灯B供给的电力量、由此调整工件W的表面上的放射照度的功能。即，调整从第2光照射 单元25放射的光的放射强度的功能。
[0130] 主控制部19作为试验环境设定机构发挥作用。具体而言，基于作为为试验对象体 的工件W的太阳能电池模组的种类及设置场所的信息，从预先存储的与太阳能电池模组的 种类及太阳能电池模组的设置场所对应的各种试验条件中选择适当的条件，设定由第1控 制部18A及第2控制部18B进行的第1光照射单元20及第2光照射单元25的点灯控制的 条件、以及第1循环风路30及第2循环风路40中的气体环境控制的条件。
[0131] 根据这样的结构的第1太阳能电池试验用光照射装置10,通过在腔室11内用工件 支承部12支承而保持作为工件W的太阳能电池模组，腔室11的内部空间被分割为表面侧 空间S1和背面侧空间S2,使该太阳能电池模组成为其表面的受光面露出到表面侧空间S1 的状态，并且成为背面的保护片的表面露出到背面侧空间S2的状态。并且，在第1光照射 单元20及第2光照射单元25中，通过将构成第1紫外线光源的紫外线灯21及构成第2紫 外线光源的紫外线灯26点灯，对太阳能电池模组的表面（具体而言是太阳能电池模组的受 光面），照射从第1光照射单元20放射的来自第1紫外线光源的含有紫外线的光。另一方 面，对于太阳能电池模组的背面（具体而言是太阳能电池模组的保护片的表面），照射从第 2光照射单元25放射的来自第2紫外线光源的含有紫外线的光。由此，实施对于太阳能电 池模组的寿命加速试验。
[0132] 于是，在第1太阳能电池试验用光照射装置10中，保持太阳能电池模组的腔室11 的内部空间被分割为背面侧空间S2和表面侧空间S1，并且在表面侧空间S1中，设有连通到 该表面侧空间S1的第1循环风路30,此外在背面侧空间S2中，设有连通到该背面侧空间 S2的第2循环风路40。因此，通过基于在主控制部19中适当选择的试验条件，由第1控制 部18A及第2控制部18B使第1循环空气流通到第1循环风路30中、使第2循环空气流通 到第2循环风路40中，能够单独地调整表面侧空间S1及背面侧空间S2中的气体环境。
[0133] 具体而言，在表面侧空间S1中，通过第1控制部18A，使第1送风机构31、第1循 环风冷却除湿机构32、第1循环风加热机构33及第1循环风加湿机构34在预先设定的期 望的选定条件下动作。并且，基于第1温度监视器35及第1湿度监视器36的测量结果进 行反馈控制。这样，调整第1循环空气的温度及湿度，所以调整表面侧空间S1的气体环境。
[0134] 这里，在第1循环风路30中，由第1送风机构31送出的空气在被第1循环风冷却 除湿机构32冷却及除湿后，从该第1循环风冷却除湿机构32送出的被除湿的干燥空气被 第1循环风加热机构33加热。进而，通过由第1循环风加湿机构34对从第1循环风加热 机构33送出的空气注入蒸气，调整在第1循环风路30及腔室11的表面侧空间S1中流通 的第1循环空气的温度及湿度。
[0135] 此外，在背面侧空间S2中，通过第2控制部18B，使第2送风机构41、第2循环风 冷却除湿机构42、第2循环风加热机构43及第2循环风加湿机构44在预先设定的期望的 选定条件下动作。并且，基于第2温度监视器45及第2湿度监视器46的测量结果进行反 馈控制。这样，调整第2循环空气的温度及湿度，所以调整背面侧空间S2的气体环境。
[0136] 这里，在第2循环风路40中，由第2送风机构41送出的空气在被第2循环风冷却 除湿机构42冷却及除湿后，从该第2循环风冷却除湿机构42送出的被除湿后的干燥空气 被第2循环风加热机构43加热。进而，通过由第2循环风加湿机构44对从第2循环风加 热机构43送出的空气注入蒸气，调整在第2循环风路40及腔室11的背面侧空间S2中流 通的第2循环空气的温度及湿度。
[0137] 此外，在第1太阳能电池试验用光照射装置10中，在工件W的表面侧设有第1光 照射单元20,并且在工件W的背面侧设有第2光照射单元25,第1光照射单元20及第2光 照射单元25中，第1紫外线光源及第2紫外线光源由具有不同的分光放射分布的两种紫外 线灯A及紫外线灯B构成。因此，通过由第1控制部18A及第2控制部18B基于在主控制 部19中适当选择的试验条件在第1紫外线光源及第2紫外线光源的各自中使从灯A群及 灯B群中选择的灯点灯，能够将从第2光照射单元25及第1光照射单元20放射的光的分 光放射分布、即工件W的表面及背面的分光放射照度分布单独地调整。
[0138] 此外，在第1光照射单元20及第2光照射单元25中，通过分别控制点灯的紫外线 灯A的数量及点灯的紫外线灯B的数量、或控制向紫外线灯A及紫外线灯B供给的电力量， 能够在分光放射分布的调整的同时，单独地调整对工件W的表面及背面放射的光的放射强 度、即工件W的表面及背面上的放射照度。
[0139] 这里，使用图6?图9说明从第1光照射单元20及第2光照射单元25分别放射 的光的分光放射分布的调整例。
[0140] 在图6?图9中，将有关第1光照射单元20的紫外线灯21及有关第2光照射单 元25的紫外线灯26中的灭灯者赋予黑色表示。
[0141] 如图6所示，在第1光照射单元20中，在选择仅使构成第1紫外线光源的紫外线 灯21中的第1灯群21A点灯、并且使属于第1灯A群21A的紫外线灯21全部点灯、另一方 面使属于第1灯B群21B的紫外线灯21的全部灭灯的情况下，从第1光照射单元20放射 的光具有有关紫外线灯A的分光放射分布（具体而言，在图5中用曲线（A)表示的分光放 射分布）。此外，在第2光照射单元25中，与第1光照射单元20同样，在选择仅使构成第2 紫外线光源的紫外线灯26中的第2灯A群26A点灯、并且使构成第2紫外线光源的多个紫 外线灯26中的属于第2灯A群26A的紫外线灯26全部点灯、另一方面使属于第2灯B群 26B的紫外线灯26全部灭灯的情况下，从第2光照射单元25放射的光具有有关紫外线灯A 的分光放射分布（具体而言，在图5中用曲线（A)表示的分光放射分布）。
[0142] 如图7所示，在第1光照射单元20中，在选择仅使构成第1紫外线光源的紫外线 灯21中的第1灯B群21B点灯、并且使属于第1灯B群21B的紫外线灯21全部点灯、另一 方面使属于第1灯A群21A的紫外线灯21全部灭灯的情况下，从第1光照射单元20放射 的光具有有关紫外线灯B的分光放射分布（具体而言，在图5中用曲线（B)表示的分光放 射分布）。此外，在第2光照射单元25中，与第1光照射单元20同样，在选择仅使构成第2 紫外线光源的紫外线灯26中的第2灯B群26B点灯、并且使属于第2灯B群26B的紫外线 灯26全部点灯、另一方面使属于第2灯A群26A的紫外线灯26全部灭灯的情况下，从第2 光照射单元25放射的光具有有关紫外线灯B的分光放射分布（具体而言，在图5中用曲线 (B)表不的分光放射分布）。
[0143] 此外，如图8所示，在第1光照射单元20中，在选择使构成第1紫外线光源的第1 灯A群21A及第1灯B群21B都点灯、并且使属于第1灯A群21A及第1灯B群21B的紫 外线灯21全部点灯、并调整对属于第1灯A群21A的紫外线灯21及属于第1灯B群21B 的紫外线灯21分别供给的电力的情况下，从第1光照射单元20放射的光具有在图5中用 曲线（C)表不的分光放射分布，放射强度被调整。此外，在第2光照射单兀25中，与第1光 照射单元20同样，在选择使构成第2紫外线光源的第2灯A群26A及第2灯B群26B都点 灯，并且使属于第2灯A群26A及第2灯B群26B的紫外线灯26全部点灯、并调整了对属 于第2灯A群26A的紫外线灯26及属于第2灯B群26B的紫外线灯26分别供给的电力的 情况下，从第2光照射单元25放射的光具有在图5中用曲线（C)表示的分光放射分布，放 射强度被调整。
[0144] 此外，如图9所示，在第1光照射单元20中，在选择使第1灯A群21A及第1灯B 群21B都点灯、并且使属于第1灯A群21A及第1灯B群21B的紫外线灯21隔1根点灯的 情况下，从第1光照射单元20放射的光具有在图5中用曲线（C)表示的分光放射分布，放 射强度被调整。此外，在第2光照射单元25中，与第1光照射单元20同样，在选择使第2 灯A群26A及第2灯B群26B都点灯、并且使属于第2灯A群26A及第2灯B群26B的紫 外线灯26隔1根点灯的情况下，从第2光照射单元25放射的光具有在图5中用曲线（C) 表不的分光放射分布，放射强度被调整。
[0145] 这样，根据第1太阳能电池试验用光照射装置10,对于作为工件W的太阳能电池模 组的背面也能够照射光，并且对于该太阳能电池模组的表面及背面能够分别照射具有不同 的放射强度及分光放射分布的光，并且能够使表面侧空间S1及背面侧空间S2的温度条件 及湿度条件不同。因此，在太阳能电池模组的寿命加速试验中，不论与太阳能电池模组的种 类及设置场所对应而需要的试验条件是怎样的条件，都能够形成与其需要的试验条件对应 的试验环境。结果，能够在依据实用使用条件的试验条件下进行试验，由此，能够依据实用 使用条件提高加速度。
[0146] 进而，在第1太阳能电池试验用光照射装置10中，由于能够对作为工件W的太阳 能电池模组的表面照射具有希望的任意的分光放射分布的光，所以能够对于寿命试验中的 紫外线照射条件（分光放射照度分布条件）不同的结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能 电池模组的两者实施寿命加速试验。
[0147] 〔第2实施方式〕
[0148] 图10是与试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第2实施方 式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的主要部的概略的说明图。
[0149] 有关第2实施方式的太阳能电池试验用光照射装置（以下，也称作"第2太阳能 电池试验用光照射装置"）具备第1光照射单元51及第2光照射单元54,除了第1控制部 18A及第2控制部18B具有的功能不同以外，具有与有关图1的第1太阳能电池试验用光照 射装置10同样的结构。
[0150] 在第2太阳能电池试验用光照射装置中，第1光照射单元51除了能够更换使从第 1紫外线光源放射的光中的特定的波长的光透过的第1波长选择滤波器52而设置、构成第 1紫外线光源的多个紫外线灯21由1种紫外线灯构成以外，具有与第1太阳能电池试验用 光照射装置10中的第1光照射单元20同样的结构。此外，第2光照射单元54除了能够更 换使从第2紫外线光源放射的光中的特定的波长的光透过的波长选择滤波器55而设置、构 成第2紫外线光源的多个紫外线灯26由1种紫外线灯构成以外，具有与第1太阳能电池试 验用光照射装置10的第2光照射单元25同样的结构。此外，第1控制部18A及第2控制 部18B除了具有在第1紫外线光源及第2紫外线光源的各自中使从灯A群及灯B群选择的 灯点灯的功能以外，与第1太阳能电池试验用光照射装置10的第1控制部18A及第2控制 部18B是同样的。
[0151] 在该第2太阳能电池试验用光照射装置中，由第1波长选择滤波器52和第1控制 部18A构成第1光照射单兀51的放射光控制机构。此外，由第2波长选择滤波器55和第 2控制部18B构成第2光照射单元54的放射光控制机构。
[0152] 在该第2太阳能电池试验用光照射装置中，第1波长选择滤波器52将灯用箱体22 的光放射口 22A封堵而设置。此外，第2波长选择滤波器55将灯用箱体27的光放射口 27A 封堵而设置。
[0153] 第1波长选择滤波器52及第2波长选择滤波器55分别使用对应于构成紫外线光 源的紫外线灯的种类（紫外线灯具有的分光放射分布）及在第1光照射单元51及第2光 照射单元54的各自中需要的光放射分布特性而具有适当的波长选择特性。由此，第1波长 选择滤波器52和第2波长选择滤波器55既可以具有相同的波长选择特性，也可以具有不 同的波长选择特性。
[0154] 在这样的结构的第2太阳能电池试验用光照射装置中，在工件W的表面侧设有第1 光照射单元51，此外在工件W的背面侧设有第2光照射单元54。并且，在第1光照射单元 51及第2光照射单元54中，可更换地设有第1波长选择滤波器52及第2波长选择滤波器 55。因此，通过作为第1波长选择滤波器52及第2波长选择滤波器55而使用具有适当的 波长选择特性者，能够单独地调整从第1光照射单元51及第2光照射单元54放射的光的 分光放射分布，即工件W的表面及背面的分光放射照度分布。
[0155] 此外，在第1光照射单元51及第2光照射单元54中，通过分别控制点灯的紫外线 灯21、26的数量、或控制对紫外线灯21、26供给的电力量，能够单独地调整对工件W的表面 及背面放射的光的放射强度，即工件W的表面及背面的放射照度。
[0156] 这里，第1光照射单元51及第2光照射单元54的各自的放射的光的放射强度可 以例如如图11?图14所示那样调整。
[0157] 具体而言，图11是在第1光照射单元51及第2光照射单元54的哪个中、都通过 使构成第1紫外线光源及第2紫外线光源的全部紫外线灯21及紫外线灯26点灯来调整放 射的光的放射强度的例子。图12是在第1光照射单元51及第2光照射单元54的哪个中、 都通过使构成第1紫外线光源及第2紫外线光源的紫外线灯21及紫外线灯26中的2/3点 灯来调整放射的光的放射强度的例子。图13是在第1光照射单元51及第2光照射单元54 的哪个中、都通过使构成第1紫外线光源及第2紫外线光源的紫外线灯21及紫外线灯26 中的1/2点灯来调整放射的光的放射强度的例子。图14在第1光照射单元51及第2光照 射单元54的哪个中、都通过使构成第1紫外线光源及第2紫外线光源的紫外线灯21及紫 外线灯26中的1/3点灯来调整放射的光的放射强度的例子。
[0158] 在这样通过控制点灯的紫外线灯21、26的数量来调整放射的光的放射强度的情 况下，为了将工件W上的放射照度分布尽可能维持为均匀，灭灯的灯优选的是如图11?图 14所示那样尽可能关于与工件的中心点对应的点对称地取位。
[0159] 在图11?图14中，将灭灯的紫外线灯21、26赋予黑色表示。
[0160] 根据第2太阳能电池试验用光照射装置，与第1太阳能电池试验用光照射装置10 同样，能够对作为工件W的太阳能电池模组的背面也照射光。并且，对于太阳能电池模组的 表面及背面，能够分别照射具有不同的放射强度及分光放射分布的光，并且能够使表面侧 空间S1及背面侧空间S2的温度条件及湿度条件不同。因此，在太阳能电池模组的寿命加 速试验中，不论根据太阳能电池模组的种类及设置场所而需要的试验条件是怎样的条件， 都能够形成与该需要的试验条件对应的试验环境。结果，能够在依据实用使用条件的试验 条件下进行试验，由此，能够依据实用使用条件提高加速度。
[0161] 进而，根据第2太阳能电池试验用光照射装置，对于由太阳能电池模组构成的面 板的表面，能够照射具有希望的任意的分光放射分布的光，所以能够对于寿命试验中的紫 外线照射条件（分光放射照度分布条件）不同的结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能电 池模组的两者实施寿命加速试验。
[0162] 〔第3实施方式〕
[0163] 图15是与由试验的太阳能电池模组构成的面板一起表示有关本发明的第3实施 方式的太阳能电池试验用光照射装置的结构的主要部的说明图。
[0164] 有关第3实施方式的太阳能电池试验用光照射装置（以下，也称作"第3太阳能 电池试验用光照射装置"）具备第1光照射单元61及第2光照射单元65,除了第1控制部 18A及第2控制部18B具有的功能不同以外，具有与有关图1的第1太阳能电池试验用光照 射装置10同样的结构。
[0165] 在第3太阳能电池试验用光照射装置中，第1光照射单元61除了设有位于保持在 腔室11内的工件W之间的第1透射光调整机构62、构成第1灯B群21B的紫外线灯21在 从灯用箱体22的光放射口 22A侧透视的与该光放射口 22A的开口端面平行的投影面上、一 部分与构成第1灯A群21A的紫外线灯21重叠而取位以外，具有与第1太阳能电池试验用 光照射装置10的第1光照射单元20同样的结构。此外，第2光照射单元65除了设有位于 保持在腔室11内的工件W之间的第2透射光调整机构66、构成第2灯B群26B的紫外线灯 26在从灯用箱体27的光放射口 27A侧透视的与该光放射口 27A的开口端面平行的投影面 上、一部分与构成第2灯A群26A的紫外线灯26重叠而取位以外，具有与第1太阳能电池 试验用光照射装置10的第2光照射单元25同样的结构。此外，第1控制部18A及第2控 制部18B除了不具有控制点灯的紫外线灯21、26的数量的功能以及控制对紫外线灯21、26 供给的电力量的功能、而具有控制有关第1光照射单元61的第1透射光调整机构62及有 关第2光照射单兀65的第2透射光调整机构66的动作的功能以外，与第1太阳能电池试 验用光照射装置10的第1控制部18A及第2控制部18B是同样的。
[0166] 在该第3太阳能电池试验用光照射装置中，由第1透射光调整机构62和第1控制 部18A构成第1光照射单元61的放射光控制机构。此外，由第2透射光调整机构66和第 2控制部18B构成第2光照射单元65的放射光控制机构。
[0167] 在该第3太阳能电池试验用光照射装置中，第1透射光调整机构62将灯用箱体22 的光放射口 22A封堵而设置。此外，第2透射光调整机构66将灯用箱体27的光放射口 27A 封堵而设置。
[0168] 第1透射光调整机构62如图15?图18所示，具备将灯用箱体22的光放射口 22A 封堵而设置的、例如具有多个圆形状的开口 63A的开口板（以下，也称作"固定开口板")63、 例如具有多个圆形状的开口 64A的开口板（以下，也称作"移动开口板"）64、和用来将移 动开口板64滑动驱动的开口板驱动机构（图示省略）。移动开口板64可在一维方向（图 15?图18中的左右方向）上滑动地设在固定开口板63上。此外，开口板驱动机构经由第 1控制部18A连接在主控制部19上。
[0169] 在图的例子中，移动开口板64具有相比固定开口板63稍小的外形尺寸，以便能够 在固定开口板63上滑动。
[0170] 在构成第1透射光调整机构62的固定开口板63中，多个开口 63A以格状配置在 该固定开口板63的整面上。
[0171] 此外，移动开口板64能够调整固定开口板63的多个开口 63A的全部的开口率。具 体而言，能够如图16所示那样使固定开口板63的多个开口 63A均匀地成为整体开口的状 态（没有被封堵的状态），并且能够如图17及图18所示那样使固定开口板63的多个开口 63A均匀地成为一部分被封堵的状态。
[0172] 在该图的例子中，移动开口板64的多个开口 64A具有与固定开口板63的开口 63A 相同的内径（开口径），以与该开口 63A的间距相同的间距以格状配置在该移动开口板64 的整面上。
[0173] 此外，在图17及图18中，由箭头表示用来转移到在图16中表示的状态的移动开 口板64的移动方向。
[0174] 第2透射光调整机构66具有与第1透射光调整机构62同样的结构，如图15? 图18所示，具备将灯用箱体27的光放射口 27A封堵而设置的具有多个例如圆形状的开口 67A的开口板（以下，也称作"固定开口板"）67、例如具有圆形状的开口 68A的开口板（以 下，也称作"移动开口板"）68、和用来使移动开口板68滑动驱动的开口板驱动机构（图示 省略）。移动开口板68可在一维方向（图9及图10中的左右方向）上滑动地设在固定开 口板67上。此外，开口板驱动机构经由第2控制部18B连接在主控制部19上。
[0175] 在图的例子中，移动开口板68具有比固定开口板67稍小的外形尺寸，以便能够在 固定开口板67上滑动。
[0176] 在构成第2透射光调整机构66的固定开口板67中，多个开口 67A以格状配置在 该固定开口板67的整面上。
[0177] 此外，移动开口板68能够调整固定开口板67的多个开口 67A的全部的开口率。具 体而言，能够如图16所示那样使固定开口板67的多个开口 67A均匀地成为整体开口的状 态（没有被封堵的状态），并且能够如图17及图18所示那样使固定开口板67的多个开口 67A均匀地成为一部分被封堵的状态。
[0178] 在该图的例子中，移动开口板68的多个开口 68A具有与固定开口板67的开口 67A 相同的外径，以与该开口 67A的间距相同的间距以格状配置在该移动开口板68的整面上。
[0179] 此外，在图17及图18中，用箭头表示用来转移到图16所示的状态的移动开口板 68的移动方向。
[0180] 在这样的结构的第3太阳能电池试验用光照射装置中，在工件W的表面侧设有第1 光照射单元61，此外在工件W的背面侧设有第2光照射单元65。并且，第1光照射单元61 及第2光照射单元65中，第1紫外线光源及第2紫外线光源由具有不同的分光放射分布的 两种紫外线灯A及紫外线灯B构成，并且设有第1透射光调整机构62及第2透射光调整机 构66。因此，通过由第1控制部18A及第2控制部18B在第1紫外线光源及第2紫外线光 源的各自中使从灯A群及灯B群选择者点灯，能够单独地调整从第1光照射单元61及第2 光照射单兀65放射的光的分光放射分布，即工件W的表面及背面上的分光放射照度分布。
[0181] 此外，在第1光照射单元61及第2光照射单元65中，分别由第1控制部18A及第 2控制部18B通过开口板驱动机构使移动开口板64、68滑动驱动。这样，通过调整第1透射 光调整机构62及第1透射光调整机构66的开口率，能够单独地调整对工件W的表面及背 面放射的光的放射强度，即工件W的表面及背面上的放射照度。
[0182] 另外，在第3太阳能电池试验用光照射装置中，在第1光照射单元61及第2光照射 单元65的各自中，通过灯A群及灯B群的点灯控制进行放射的光的分光放射分布。因此， 不会通过控制点灯的紫外线灯A的数量及点灯的紫外线灯B的数量、以及控制对紫外线灯 A及紫外线灯B供给的电力量来调整对工件W的表面及背面放射的光的放射强度。
[0183] 根据第3太阳能电池试验用光照射装置，与第1太阳能电池试验用光照射装置10 同样，能够对作为工件W的太阳能电池模组的背面也照射光，并且能够对该太阳能电池模 组的表面及背面分别照射具有不同的放射强度及分光放射分布的光，并且能够使表面侧空 间S1及背面侧空间S2的温度条件及湿度条件不同。因此，在太阳能电池模组的寿命加速 试验中，不论根据太阳能电池模组的种类及设置场所而需要的试验条件是怎样的条件，都 能够形成与需要的试验条件对应的试验环境。结果，能够以依据实用使用条件的试验条件 进行试验，由此能够依据实用使用条件提高加速度。
[0184] 进而，根据第3太阳能电池试验用光照射装置，由于对由太阳能电池模组构成的 面板的表面照射具有希望的任意的分光放射分布的光，所以能够对寿命试验的紫外线照射 条件（分光放射照度分布条件）不同的结晶类太阳能电池模组及薄膜类太阳能电池模组的 两者实施寿命加速试验。
[0185] 表示使用该第3太阳能电池试验用光照射装置在沙漠地（沙地面）进行与结晶类 太阳能电池模组设置在具有某种程度的高度的架台上的情形对应的寿命加速试验的情况 下的该第3太阳能电池试验用光照射装置的动作的具体的一例。
[0186] 这里，在表1中表示预先存储在第3太阳能电池试验用光照射装置的主控制部19 中的试验条件表的具体例。
[0187] 表1是定性地表示试验条件表的例子，实际上是将各条件数值地存储的表。
[0188] [表 1]
[0189]

【权利要求】
1. 一种太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 具有： 腔室，在内部保持由被试验的太阳能电池模组构成的面板； 第1光照射单元，具备由多个紫外线灯构成的第1紫外线光源，对上述面板的表面照射 来自该第1紫外线光源的含有紫外线的光； 第2光照射单元，具备由多个紫外线灯构成的第2紫外线光源，对上述面板的背面照射 来自该第2紫外线光源的含有紫外线的光； 第1光照射单元的放射光控制机构； 第2光照射单元的放射光控制机构； 构成为，能够通过上述第2光照射单元的放射光控制机构调整从上述第2光照射单元 放射的光的分光放射分布。
2. 如权利要求1所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述第2光照射单元的第2紫外线光源由多个紫外线灯A及多个具有与该紫外线灯A 不同的分光放射分布的紫外线灯B构成； 上述第2光照射单元的放射光控制机构具有通过使从多个上述紫外线灯A及多个上述 紫外线灯B中选择者点灯、调整从该第2光照射单元放射的光的分光放射分布的功能。
3. 如权利要求1所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述第2光照射单元的放射光控制机构具有使来自可更换地设在上述第2光照射单元 中的第2紫外线光源的光中的特定的波长的光透过的波长选择滤波器，通过作为该波长选 择滤波器而使用具有特定的波长选择性者，调整从该第2光照射单元放射的光的分光放射 分布。
4. 如权利要求1?3中任一项所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述第2光照射单元的放射光控制机构具有通过控制点灯的紫外线灯的数量及对紫 外线灯供给的电力量的至少一方、来调整面板背面的放射照度的功能。
5. 如权利要求1?3中任一项所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述第2光照射单元的放射光控制机构具有位于上述第2光照射单元与保持的面板之 间的、用来调整面板背面上的放射照度的透射光调整机构。
6. 如权利要求1?3中任一项所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述腔室的内部空间在保持着面板的状态下被该面板分割为分别独立的表面侧空间 和背面侧空间； 在上述腔室中设有形成与背面侧空间连通的背面侧循环风路的背面侧循环风路形成 部件，在该背面侧循环风路中，设有送风机构、循环风冷却除湿机构、循环风加热机构及循 环风加湿机构。
7. 如权利要求6所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述送风机构、上述循环风冷却除湿机构、上述循环风加热机构及上述循环风加湿机 构的至少一个为被控制机构控制以在选定的条件下动作的结构。
8. 如权利要求1?3中任一项所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 构成为，能够通过上述第1光照射单元的放射光控制机构调整从该第1光照射单元放 射的光的分光放射分布。
9. 如权利要求8所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 上述第1光照射单元的放射光控制机构具有调整面板表面上的放射照度的功能。
10. 如权利要求6所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 在上述腔室中，设有形成与表面侧空间连通的表面侧循环风路的表面侧循环风路形成 部件，在该表面侧循环风路中，设有送风机构、循环风冷却除湿机构、循环风加热机构及循 环风加湿机构。
11. 如权利要求1?3中任一项所述的太阳能电池试验用光照射装置，其特征在于， 具有试验环境条件设定机构，在该试验环境条件设定机构中，设定至少从上述第2光 照射单元放射的光的分光放射分布。
【文档编号】G01N17/00GK104145424SQ201380011240
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2013年4月9日 优先权日:2012年4月19日
【发明者】森纯一郎 申请人:优志旺电机株式会社