改善cigs在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法
【专利摘要】本发明主要目的是改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，CIGS当中的钼经过Laser激光划线后，因Laser激光的高温对钼有熔融，这样熔融的状况会让划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，一般在背电极金属钼镀膜完成后是不可用水来进行清洗，故其粉尘就无法去除，因此本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计其清洁是使用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激光划线机内后，其划线是采用正切方式，当划线完毕后，这些粉尘就立即由清洁的擦拭布进行清洁，如此即可去除火山口粉尘，并依此方法来降低CIGS后续在钼玻璃上面镀膜时，可以减少这些粉尘存在导致CIGS与钼彼此介面不佳的情况。
【专利说明】改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法
【技术领域】
[0001]本方法是将薄膜太阳能中的技术核心CIGS划线技术，CIGS与非晶硅、微晶硅相同 都需要切成小片的电池来进行串联发电，可以使得太阳能电池电压与电流的提升，来提升 发电效率，而在非晶硅与微晶硅中都是使用laser激光进行划线，而CIGS主要是由机械式 划线机来进行划线，但其CIGS的钥则可由laser进行划线，其优点是使用laser会有较佳 的对位精度，但钥在划线后易产生火山口进而影响效率，本发明是在划线机内设计独特清 洁方法，可以去除钥在划线后残留于表面的火山口粉尘，藉此可以改善CIGS进行串联时会 有效率降低的问题。
【背景技术】
[0002]业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，而在近几年来有一新兴的产业为 CIGS产业，其藉由Cu、In、Ga、Se的材料来进行镀膜，此产业的优点在于其只要使用目前 市面上最常用的机台PVD即可完成，且在镀膜过程中所使用的气体并不会有危害人员的气 体，且其CIGS在光吸收上，可以大量的吸收到长波段(如500nnTl300nm波段)的光源，故 其发电转换效率可以达到最高，故是目前许多研究单位及企业追族的材料，而在CIGS中由 于镀膜都是使用金属进行镀膜呈半导体状，其使用的背电极则是以钥为主，而吸收层则是 CIGS本体，最后则是前电极ITO为主，而CIGS薄膜太阳能与非晶硅太阳能一样，都是需要进 行划线来形成小片的电池进行串联发电，其中最常用的就是Laser激光，而CIGS因为本身 材料关系，在一般Laser激光划线后容易转相成金属层，进而影响后续制程，故常用机械式 划线机，但是CIGS的前电极钥则是可以使用Laser激光进行划线，主要优点是使用Laser 激光划线可以有较佳的精准度，藉此可缩小划线的的无效区，但是钥在划线后容易因为熔 融产生火山口粉尘，为了去除这些火山口粉尘，故进行本发明来改善火山口问题。
【发明内容】
[0003]本发明主要目的是改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，当CIGS当 中的钥经过Laser激光划线后，会因为Laser激光的高温开始对钥有熔融的效果，这样熔融 的状况会让划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，这些粉尘在没有经过处理都会 附着在钥玻璃上，而一般在背电极金属钥镀膜完成后是不可用水来进行清洗，故其粉尘就 无法去除，因此本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计 其清洁是使用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激 光划线机内后，其划线是采用正切方式，当划线完毕后，这些粉尘就立即由清洁的擦拭布进 行清洁，如此即可去除火山口粉尘，并依此方法来降低CIGS后续在钥玻璃上面镀膜时，可 以减少这些粉尘存在导致CIGS与钥彼此介面不佳的情况。
【具体实施方式】
[0004]兹将本发明配合附图，详细说明如下所示:图1为本发明改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法之划线机示意图，由图中可知，其钥玻璃(2)以膜面朝上为正切的方式由滚轮(I)传送进入Laser划线机本体内部，随后由定位Sensor (3)将玻璃进行定位,此外再由夹子(7)固定住玻璃，此时会先将集尘器(6)开启，并且将Laser激光输出器(4)开启，此雷射所使用的波长是1064nm，此种波长可以完全的划线钥玻璃，而laser激光输出器有一固定器(5)作支撑，而划线则是Laser保持不动，玻璃则是靠着夹子固定，然后用滚轮进行传动来作划线，而在划线的时候因为CIGS是采用正切，故玻璃膜面需朝上， 故在机台上头架设集尘器来作粉尘的吸附，但是集尘器只能吸附当laser激光瞬间划线后产生的粉尘，对于熔融的火山口粉尘无法作吸附，因此本发明的清洁方式是在Laser机台本体内架式擦拭布(10)，这些擦拭布由机械弹簧(9)夹住，此机械弹簧可以作上升下降动作，以让擦拭布可以靠近或远离钥玻璃，而整体是架设在固定架(8)上，当钥玻璃划线完成后会由滚轮传送至擦拭布前开始进行清洁，此方式为乾式的清洁方式，当完成清洁后，即可完整去除火山口粉尘。
[0005]请参阅图2，此为本发明改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法之清洁方式示意图，由图中可以得知，擦拭布(10 )夹在机械弹簧(9 )里面，且机械弹簧会下压让擦拭布可以接触钥玻璃(2)，而主要去除的是钥玻璃在划线后产生的粉尘，因此去除的是划线沟槽(11)内的火山口粉尘，藉此去除粉尘，并且此方法可以在后续进行CIGS镀膜时，其钥与CIGS介面可以有更佳的接触，并藉此来提高生产良率。
[0006]以上说明，对本发明而言只是说明性的，非限制性的，本领域普通技术人员理解， 在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修正、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。【专利附图】
【附图说明】
下面是结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0007]图1是本发明之Laser激光划线机与清洁设备示意图图2是本发明之擦拭布擦拭方式示意图
主要元件符号说明:1…滚轮2…钥玻璃3…定位Sensor4 -Laser激光输出器5… 固定架6…集尘器7…固定玻璃夹8…固定擦拭布架9…机械 弹簧10…擦拭布11…划线沟槽。
【权利要求】
1.一种改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，当CIGS当中的钥经过 Laser激光划线后，会因为Laser激光的高温开始对钥有熔融的效果，这样熔融的状况会让 划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，这些粉尘在没有经过处理都会附着在钥玻 璃上，而一般在背电极金属钥镀膜完成后是不可用水来进行清洗，故其粉尘就无法去除，因 此本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计其清洁是使 用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激光划线机内 后，其划线是采用正切方式，当划线完毕后，这些粉尘就立即由清洁的擦拭布进行清洁，如 此即可去除火山口粉尘，并依此方法来降低CIGS后续在钥玻璃上面镀膜时，可以减少这些 粉尘存在导致CIGS与钥彼此介面不佳的情况。
2.根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其laser 机台内有一组清洁设备，其主要是擦拭布，此擦拭布可以藉由机械弹簧的升降来与钥玻璃 进行切处,并藉此来擦拭划线后产生的火山口粉尘。
3.根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其laser 输出器上有一固定架，此固定架可以完全固定住laser输出器，使其不会滑动，在进行划线 时就可以有较佳的精度及平行度，如此一来，划线时也会较为平整。
4.根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其机械 弹簧固定在固定架上，此机械弹簧可以作升降，且机械弹簧可以精准的让擦拭布与划线沟 槽接触，藉此来将火山口粉尘去除，且不会让粉尘再次与钥玻璃作接触，藉此提升后续钥与 CIGS介面接触。
5.根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其玻璃是 采用正切方式，主要是因为膜层的底部为背电极，而Laser激光则是从上往下出光，因此划 线后会产生粉尘，此设计中的集尘器可以吸附这些瞬间划线所产生的粉尘，而火山口粉尘 则是需要本设计的清洁方式来作清洁，才可以完整达到效果。
【文档编号】B23K26/16GK103567633SQ201210260243
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年7月26日 优先权日:2012年7月26日
【发明者】戴嘉男, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司