高速激光点阵光刻机及其光刻方法与流程

文档序号:13215226阅读:700来源:国知局
技术领域:本发明涉及一种高速激光点阵光刻机及其光刻方法。

背景技术:
:激光全息防伪技术是采用激光作为光源,通过复杂的光路设计,记录拍摄物体图像信息的干涉条纹等图像,通过光刻机对光刻胶进行刻蚀,再经过显影和电铸制作全息母板,用特殊的机械模压设备进行大量廉价的复制。在普通光照明下,承载这种干涉条纹的复制品材料呈现出变换的色彩、三维的图像文字信息以及动态变化的时空信息。全息母板制作技术复杂,涉及刻蚀显影工艺、电化学工艺等,其中最为关键的技术是光刻机根据图像信息对光刻胶进行刻蚀。传统的点阵光刻机采用静态曝光的工作模式,工作效率低,难以实现大尺寸防伪商标的制作。

技术实现要素:
:本发明的目的是提供一种高速激光点阵光刻机及其光刻方法。上述的目的通过以下的技术方案实现:一种高速激光点阵光刻机,其组成包括:X-Y工作台,所述的X-Y工作台与控制器连接,所述的控制器与计算机连接,所述的控制器还与X-Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接,所述的交流伺服电机与光栅连接,所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。所述的高速激光点阵光刻机,所述的X-Y工作台上设有自动调焦结构。所述的高速激光点阵光刻机,所述的控制器内设有X-Y位移控制模块、交流伺服控制模块、自动调焦控制模块。所述的高速激光点阵光刻机,所述的控制器通过ARM和单片机与所述的激光器连接。一种所述的高速激光点阵光刻机的光刻方法,该方法步骤如下:X-Y工作台由两台直线电机分别控制X轴与Y轴方向上的位移,采用双向逐行扫描的方式工作,首先系统位置初始化,读第一行图像的文件,运行X-Y工作台,转动光栅转角,检测到曝光位置时触发激光器对光刻胶感光、关闭激光器、转动光栅转角,直致X轴方向走完一行,然后Y轴方向上移动一个步距,如此交替进行,直到一幅画面完成,为了提高激光光刻制版的速度,采用动态曝光的工作方式,在激光器曝光时,工作台不会停止运行。本发明的有益效果:本发明采用双向逐行扫描、动态曝光的工作方式,使光刻工作速度提高了10~12倍,解决了大尺寸防伪商标制作难的问题,提高了防伪商标制作的技术水平。本发明由于直线电机结构简单、运动平稳、噪声小、动态响应快,在加速度和精度方面明显优于“旋转伺服电机+滚珠丝杠”的驱动方式,有效提高了工作台的运动速度和光刻定位精度。附图说明:附图1是本发明的结构框图。具体实施方式:实施例1:一种高速激光点阵光刻机,其组成包括:X-Y工作台1,所述的X-Y工作台与控制器2连接,所述的控制器与计算机3连接,所述的控制器还与X-Y直线电机4、交流伺服电机5、激光器连接6,所述的交流伺服电机与光栅7连接,所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。实施例2:根据实施例1所述的高速激光点阵光刻机,所述的X-Y工作台上设有自动调焦结构。实施例3:根据实施例1或2所述的高速激光点阵光刻机,所述的控制器内设有X-Y位移控制模块、交流伺服控制模块、自动调焦控制模块。实施例4:根据实施例1或2或3所述的高速激光点阵光刻机,所述的控制器通过ARM和单片机与所述的激光器连接。实施例5:一种实施例1-4之一所述的高速激光点阵光刻机的光刻方法,该方法步骤如下:X-Y工作台由两台直线电机分别控制X轴与Y轴方向上的位移,采用双向逐行扫描的方式工作,首先系统位置初始化,读第一行图像的文件,运行X-Y工作台,转动光栅转角,检测到曝光位置时触发激光器对光刻胶感光、关闭激光器、转动光栅转角,直致X轴方向走完一行,然后Y轴方向上移动一个步距,如此交替进行,直到一幅画面完成,为了提高激光光刻制版的速度,采用动态曝光的工作方式,在激光器曝光时,工作台不会停止运行。
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