高速激光点阵光刻机及其光刻方法与流程

文档序号:13215226阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种高速激光点阵光刻机,其组成包括:X-Y工作台,其特征是:所述的X-Y工作台与控制器连接,所述的控制器与计算机连接,所述的控制器还与X-Y直线电机、交流伺服电机、激光器连接,所述的交流伺服电机与光栅连接,所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。2.根据权利要求1所述的高速激光点阵光刻机,其特征是:所述的X-Y工作台上设有自动调焦结构。3.根据权利要求1或2所述的高速激光点阵光刻机,其特征是:所述的控制器内设有X-Y位移控制模块、交流伺服控制模块、自动调焦控制模块。4.根据权利要求1或2或3所述的高速激光点阵光刻机,其特征是:所述的控制器通过ARM和单片机与所述的激光器连接。5.一种权利要求1-4之一所述的高速激光点阵光刻机的光刻方法,其特征是:该方法步骤如下:X-Y工作台由两台直线电机分别控制X轴与Y轴方向上的位移,采用双向逐行扫描的方式工作,首先系统位置初始化,读第一行图像的文件,运行X-Y工作台,转动光栅转角,检测到曝光位置时触发激光器对光刻胶感光、关闭激光器、转动光栅转角,直致X轴方向走完一行,然后Y轴方向上移动一个步距,如此交替进行,直到一幅画面完成,为了提高激光光刻制版的速度,采用动态曝光的工作方式,在激光器曝光时,工作台不会停止运行。
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