技术总结
高速激光点阵光刻机及其光刻方法。传统的点阵光刻机采用静态曝光的工作模式，工作效率低，难以实现大尺寸防伪商标的制作。本发明的组成包括：X-Y工作台（1），所述的X-Y工作台与控制器（3）连接，所述的控制器与计算机（4）连接，所述的控制器还与X-Y直线电机（5）、交流伺服电机（6）、激光器连接（7），所述的交流伺服电机与光栅（8）连接，所述的X-Y直线电机与X-Y工作台连接。本发明用于高速激光点阵光刻机及其光刻方法。
技术研发人员：侯英华;
受保护的技术使用者：哈尔滨冠标科技有限公司;
文档号码：201410847281
技术研发日：2014.12.31
技术公布日：2016.07.27