1.一种镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：
提供背板、焊料和镍铬靶材，所述焊料为能与所述镍铬靶材及背板浸润的焊料，所述背板用于与镍铬靶材焊接的面为第一焊接面，所述镍铬靶材用于与背板焊接的面为第二焊接面；
将所述焊料放置于所述背板的第一焊接面和镍铬靶材的第二焊接面；
加热使所述焊料熔化；
对所述背板的第一焊接面和所述镍铬靶材的第二焊接面进行第一超声波处理，浸润所述第一焊接面和第二焊接面；
在所述背板的第一焊接面和所述镍铬靶材的第二焊接面上再次放入焊料；
对背板的第一焊接面和镍铬靶材的第二焊接面进行第二超声波处理，增加所述第一焊接面和第二焊接面上焊料分布的均匀度；
将所述背板的第一焊接面与镍铬靶材的第二焊接面相贴合进行焊接；
焊接后进行冷却，形成镍铬靶材组件。
2.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述背板的材料为铝或铜。
3.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述镍铬靶材为超高纯镍铬合金，所述超高纯镍铬合金为镍和铬的质量百分比大于或等于99.9％的镍铬合金。
4.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述焊料为铟焊料，所述铟焊料的纯度为99.9％以上。
5.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，采用超声波装置执行所述第一超声波处理和第二超声波处理，所述超声波装置包括超声波探头；
所述第一超声波处理和第二超声波处理包括：采用第一功率和第一超声波探头处理所述背板和所述镍铬靶材的中间区域；采用第二功率和第二超声 波探头处理所述背板和所述镍铬靶材的边缘区域；
所述第一超声波处理和第二超声波处理中，第一功率大于所述第二功率，第一超声波探头的接触面积大于所述第二超声波探头的接触面积。
6.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述背板上形成有凹槽，所述第一焊接面位于所述凹槽的底部；
将所述背板的第一焊接面与镍铬靶材的第二焊接面相贴合的过程中，将所述镍铬靶材放置于所述凹槽中，使所述镍铬靶材的第二焊接面与所述凹槽的底部相贴合。
7.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述加热使所述焊料熔化的步骤包括：将所述背板和镍铬靶材放入加热平台上加热到180～190摄氏度使焊料熔化。
8.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述将所述背板的第一焊接面与镍铬靶材的第二焊接面相贴合的步骤包括：用真空吸附盘吸附所述镍铬靶材，并使所述镍铬靶材的第二焊接面与所述背板的第一焊接面相贴合。
9.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括，在将所述背板与镍铬靶材贴合之前，去除所述背板第一焊接面和所述镍铬靶材第二焊接面上的焊料氧化物。
10.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述冷却的步骤包括，焊接完成后，在加压的条件下，使背板和镍铬靶材在加热平台上随加热平台自然冷却，冷却过程中压强为0.4～0.6兆帕，冷却时间为1～2小时。
11.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括，冷却处理之后，对背板和镍铬靶材进行机械加工，形成靶材组件。
12.如权利要求1所述的镍铬靶材组件的制造方法，其特征在于，加热使所述焊料熔化的步骤中，采用加热平台加热到使焊料熔化后，处于保温状态； 后续第一超声波处理、再次放入焊料、第二超声波处理以及贴合焊接的过程中，所述加热平台处于保温状态，所述保温状态的温度为150～200摄氏度。