技术总结
垂直多束激光处理装置。本发明涉及一种使用激光的多点处理装置，更具体地，本发明被构造为包括：激光器，其用于产生一组脉冲；会聚透镜，其用于使激光束会聚和发散；光束路径分离单元，其用于将从会聚透镜发散的光束分离成不同距离的多个路径的光束；以及聚焦透镜，其用于在同一方向的不同位置处形成针对每个光路径的焦点，以形成从光束路径分离单元射出的不同距离的多个路径光束的多个点，因此有效的是，不同距离的多个点可以形成在工件的同一线上，此外，通过调整物侧数值孔径来将一像侧数值孔径调整为与其它像侧数值孔径相同，并且能够通过使用Fθ透镜和电流镜，按照扫描方法而无需移动光学系统来改变点位置。
技术研发人员：全圻淑;郑晋澔
受保护的技术使用者：塔工程有限公司;镭射APPS株式会社
技术研发日：2016.06.12
技术公布日：2018.11.27