一种激光能量自动补偿方法及设备与流程

本发明涉及激光技术领域，尤其涉及一种激光能量自动补偿方法及其设备。

背景技术：

随着技术的发展，显示面板，如OLED或LCD显示面板已广泛应用于各种消费电子产品。由于在显示面板制造过程中，通常在玻璃基板内会产生不良缺陷，如线路之间发生断路或短路等缺陷，因此，需要检测玻璃基板是否有不良缺陷。如果存在不良缺陷，需要使用激光器对缺陷进行修复。而在实际应用中，受制造工艺、环境温度等影响，激光器存在激光能量不稳定(例如，衰减)的问题。这会对产品的修补产生比较大的影响，例如，激光器输出能量大时，修补时会打到下层膜层，而能量小则可能线切不好，即引起线路之间短路缺陷的线路连接并未能完全切断。此外，在现有技术中，并未对激光修补过程进行实时能量监控，从而导致修补失败的玻璃基板流入到后续加工中，造成人力和物料的浪费。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决上述问题，提供一种激光能量自动补偿方法及其设备，该方法可对激光能量进行实时监控并实时调整激光能量，从而能够得到期望大小的激光能量，提高了激光能量的稳定性。

根据本发明的示例性实施例的一方面，提供一种激光能量自动补偿方法，所述方法包括：(1)检测接收到的激光能量对应的激光能量值；(2)基于检测到的激光能量值，判断激光能量值是否满足预设值；(3)当激光能量值不满足所述预设值时，计算补偿因子并判断所述补偿因子是否在补偿范围内；(4)当所述补偿因子在所述补偿范围内时，基于与所述补偿因子相应的运动信息来确定镜片组合单元中的镜片的数量以及各个镜片的旋转角度；(5)按照确定的镜片的数量及各个镜片的旋转角度对镜片进行操作以获得具有预定波长的激光能量。

进一步地，所述补偿因子是通过预存在配置文件中的能量信息和检测到的激光能量值而获得的。

进一步地，所述补偿范围是根据镜片数量以及各个镜片的旋转角度而预先设置的范围。

进一步地，按照确定的镜片的数量和各个镜片的旋转角度进行操作的步骤包括：使所述多个镜片按照水平方向排列并旋转所述多个镜片，使得激光能量通过所述多个镜片水平射出。

进一步地，按照确定的镜片的数量和各个镜片的旋转角度进行操作的步骤包括：使所述多个镜片按照垂直方向排列并旋转所述多个镜片，使得激光能量通过所述多个镜片水平射出。

进一步地，当所述补偿因子超出所述补偿范围时，对发送激光能量的激光单元进行硬件调节或更换激光单元。

进一步地，所述的方法，还包括：判断所述预定波长的激光能量对应的激光能量值是否满足所述预设值，若不满足，则重复进行步骤(3)、(4)和(5)。

根据本发明的示例性实施例的另一方面，提供一种激光能量自动补偿设备，所述设备包括：第一能量检测单元，检测接收到的激光能量对应的激光能量值；

控制单元，被配置为：基于检测到的激光能量值，判断激光能量值是否满足预设值；当激光能量值不满足所述预设值时，计算补偿因子并判断所述补偿因子是否在补偿范围内，当所述补偿因子在所述补偿范围内时，将与所述补偿因子相应的运动信息发送到运动控制单元；运动控制单元，被配置为基于接收的运动信息来确定镜片组合单元中的多个镜片的数量以及各个镜片的旋转角度；镜片组合单元，被配置为按照确定的镜片数量和旋转角度进行操作以获得具有预定波长的激光能量。

进一步地，第一能量检测单元还被配置为将检测的激光能量对应的激光能量值发送到控制单元。

进一步地，镜片组合单元还被配置为将所述预定波长的激光能量发送到第一能量检测单元。

进一步地，所述的设备，还包括：第二能量检测单元，被配置为检测所述预定波长的激光能量的大小以得到激光能量值，并将所述激光能量值发送到控制单元。

本发明实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：能够通过实时检测激光能量并基于检测的激光能量获得的补偿因子来对激光能量进行实时补偿，从而提高了激光能量的稳定性，避免了人力和物力的浪费。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是根据本发明的实施例的激光能量自动补偿方法的流程图；

图2是根据本发明的另一实施例的激光能量自动补偿方法的流程图；

图3是根据本发明的实施例的镜片组合单元的框图；

图4是根据本发明的另一实施例的镜片组合单元的框图；

图5是根据本发明的实施例的激光能量自动补偿设备的框图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1是根据本发明的实施例的激光能量自动补偿方法的流程图。

参照图1，在步骤S110，检测接收的激光能量的大小以得到激光能量值。其中，所述激光能量由激光单元输出，激光单元包括但不限于激光器。激光能量包括深紫外、近紫外、可见光、红外等多种波长的激光光束。

随后在步骤S120，基于检测到的激光能量值来判断激光能量值是否满足预设值。该预设值可根据激光单元的特性(例如，激光单元的类型或型号等)而获得并被预存。当激光能量值不满足预设值时，在步骤S130，计算补偿因子并判断补偿因子是否在补偿范围内，其中，可通过检测到的激光能量值与预存在配置文件(recipe)(包括对激光单元进行调试后获得的多个参数)中的能量信息来获得补偿因子。具体来说，在初始启动设备时，需要对所要修补的基板按照材料进行各种调试，从而获得相应的配置文件，激光调试操作是指使用激光单元输出的激光能量来切割各种材料，然后分别得到在背光和正光情况下的切割效果并通过切割效果来确定配置文件中的多个参数。此外，补偿范围将会在下文进行详细描述，因此在此将省略对其的描述。

当补偿因子在补偿范围内时，在步骤S140，基于与补偿因子相应的运动信息来确定镜片组合单元中的镜片的数量以及各个镜片的旋转角度。然后，在步骤S150中，镜片组合单元按照确定的镜片数量和旋转角度进行操作，使得激光能量通过镜片组合单元获得具有预定波长的激光能量(即，期望大小的激光能量)。

举例来说，当补偿因子在补偿范围内并且激光能量偏小时，控制单元将与补偿因子相应的运动信息发送到运动控制单元，运动控制单元根据接收的运动信息来确定镜片的数量以及各个镜片的角度，过滤掉波长较长的激光光束以得到较小的波长，从而保证激光能量稳定。又例如，当激光能量偏大时，运动控制单元根据接收的运动信息来确定镜片的数据以及各个镜片的角度，过滤掉波长较小的激光光束以得到较长的波长，从而保证能量稳定。

补偿范围是指可对激光能量进行补偿的范围。可根据对镜片组合单元中的镜片数量与镜片角度的组合来获得补偿范围，并将补偿范围预先存储在控制单元中。

图2是根据本发明的另一实施例的激光能量自动补偿方法的流程图。

图1中的步骤S110至S150分别对应图2中的步骤S201至S205，因此，为了清楚和简明起见，在此将不再对重复的内容进行描述。

如图2所示，当在步骤S202激光能量的大小满足预设值时，继续进行至步骤S207，使用激光能量来处理玻璃基板。

此外，在已通过步骤S205获得激光能量的情况下，参照图2，继续进行至步骤S206，检测激光能量的大小，即检测激光能量对应的激光能量值，并判断激光能量值是否满足预设值，如不满足，则继续进行步骤S203至S205，直至激光能量值满足预设值为止。

此外，如果在步骤S203判断出补偿因子超出补偿范围，则转至步骤208，手动调节或更换激光单元，然后通过手动调节后的激光单元或更换后的激光单元重新输出激光能量。

图3是根据本发明的实施例的镜片组合单元的框图。

参照图3，在确定补偿因子在补偿范围内的情况下，控制单元将与补偿因子相应的运动信息发送到运动控制单元，运动控制单元根据运动信息确定镜片数量为两个，并且两个镜片沿垂直方向排列，并旋转这两个镜片，使得激光能量通过镜片组合单元后水平射出。

图4是根据本发明的另一实施例的镜片组合单元的框图。

参照图4，在确定补偿因子在补偿范围内的情况下，控制单元将与补偿因子相应的运动信息发送到运动控制单元，运动控制单元根据运动信息确定镜片数量为三个，并且三个镜片沿水平方向排列，并旋转这三个镜片，使得激光能量通过镜片组合单元后水平射出。

图5是根据本发明的实施例的激光能量自动补偿设备500的框图。

参照图5，激光能量自动补偿设备500包括第一能量检测单元510、控制单元520、运动控制单元530和镜片组合单元540。

具体来说，激光单元400输出激光能量。其中，激光能量包括多种不同波长的激光束。第一能量检测单元510检测接收到的激光能量的大小，即检测激光能量对应的激光能量值，并将激光能量值发送至控制单元520。

控制单元520基于检测到的激光能量值来判断激光能量值是否满足预设值，当激光能量值不满足所述预设值时，计算补偿因子并判断补偿因子是否在补偿范围内，当补偿因子在补偿范围内时，将与补偿因子相应的运动信息发送到运动控制单元530。

运动控制单元530基于接收的运动信息来确定镜片组合单元440中的镜片的数量以及各个镜片的旋转角度。

镜片组合单元540按照确定的镜片数量和旋转角度进行操作，使得激光能量通过镜片组合单元540获得具有预定波长的激光能量。

此外，虽然附图中并未示出，但是激光能量自动补偿设备500还可包括第二能量检测单元，该能量检测单元检测接收到通过镜片组合单元540后的激光能量，并将激光能量对应的激光能量值发送到控制单元520。可选地，镜片组合单元540还可将激光能量发送到第一能量检测单元510，控制单元520基于第一能量检测单元510检测到的激光能量对应的激光能量值来判断激光能量值是否满足预设值，当激光能量值不满足所述预设值时，重复进行后续操作直至激光能量值满足预设值。

本发明实施例能够通过实时检测激光能量并基于检测的激光能量获得的补偿因子来对激光能量进行实时补偿，从而提高了激光能量的稳定性，避免了人力和物力的浪费。

以上所述的具体实例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。