一种全自动植球装置及其应用的制作方法

文档序号:11797658阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全自动植球装置,其特征在于,该装置包括供球机构、植球网板(5)及六轴机械手(7),

所述的供球机构包括供球盒(4)、供球管(1)、供球气缸(2)及直线模组(8),所述的供球盒(4)架设在直线模组(8)上,与供球管(1)连通,所述的供球气缸(2)开闭动作使供球盒(4)中的焊锡球通过供球管(1)均匀分布在植球网板(5)的一侧,

所述的植球网板(5)上加工与晶圆PAD点相对应、用于锡球漏入的网孔,

所述的六轴机械手(7)固定在植球网板(5)旁侧,通过植球刮板(6)沿设定路径将供球机构供应的焊锡球通过植球网板(5)植到晶圆上。

2.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的供球气缸(2)控制供球管(1)在Z向的自由度。

3.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的直线模组(8)控制供球管(1)在X向的自由度。

4.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的供球机构还包括检测供球盒(4)中焊锡球数量的锡球余量检测传感器(3)。

5.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的供球盒(4)可拆卸式连接在直线模组(8)上。

6.根据权利要求1所述的一种全自动植球装置,其特征在于,所述的植球网板(5)上设有多个检测焊锡球植入量的激光传感器(12)。

7.一种全自动植球装置的应用,其特征在于,采用以下步骤:

(a)晶圆经由晶圆搬送机构传送到植球网板(5)下方,对位调整后上升吸附住植球网板(5),六轴机械手(7)处于待机避让位置;

(b)供球管(1)初始为弯曲状态,电磁阀控制供球气缸(2)动作,驱动供球盒(4)沿Z向上升,供球管(1)由弯曲状态被拉直,供球盒(4)中的焊锡球在自身重力的作用下经由供球管(1)落入植球网板(5)的前侧,直线模组(8)驱动供球盒(4)和供球管(1)来回动作,使焊锡球均匀地分布在植球网板(5)的前侧;

(c)焊锡球供给完成后,电磁阀控制供球气缸(2)沿Z向下降到初始位置,供球管(1)弯折,焊锡球无法从供球管(1)中流出,以停止供应焊锡球,供球机构停在避让待机位置;

(d)六轴机械手(7)带动植球刮板(6)移动到植球初始位置,将供球机构供应的焊锡球按照规划的动作路径进行植球。

8.根据权利要求7所述的一种全自动植球装置的应用,其特征在于,步骤(a)中所述的晶圆PAD点和植球网板(5)的网孔一一对应。

9.根据权利要求7所述的一种全自动植球装置的应用,其特征在于,所述的植球网板(5)上设有检测焊锡球植入量的激光传感器(12),当植球网板(5)上的某区域焊锡球量过低,激光传感器(12)触发供球机构执行焊锡球补充供应动作。

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