激光修值系统的制作方法

文档序号:12620753阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光修值系统,其特征在于,包含:

一激光装置,用以提供第一激光束;

一扫描装置,用以将该第一激光束转换为一扫描激光束,且该扫描激光束以一扫描频率往复摆动;以及

一驱动装置,用以承载至少一电子元件且驱动该电子元件沿着一第一方向移动,该扫描激光束以Z字型轨迹扫描该电子元件表面并于该电子元件表面形成沟槽。

2.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该电子元件呈圆柱型,该驱动装置驱动该电子元件轴转且沿着该第一方向移动,该扫描频率符合一公式:

该扫描频率=(该电子元件的圆周长度)×(该电子元件的每秒轴转速)/(该第一激光束的直径)。

3.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该扫描装置由一振镜与一透镜构成,该第一激光束投射于该振镜后反射一第二扫描激光束通过该透镜并形成该扫描激光束。

4.根据权利要求3所述的激光修值系统,其特征在于,该振镜的振幅为±0.5径向角,该扫描激光束的摆动角度为±1径向角。

5.根据权利要求3所述的激光修值系统,其特征在于,该沟槽的宽度W符合一公式:

W=(θ2)×(F)

其中,θ2为该扫描激光束的摆动角度;F为该透镜的焦距。

6.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该Z字型轨迹的间距大于该第一激光束的直径。

7.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该扫描激光束的扫描频率至少为1kHz。

8.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该激光装置与该电子元件耦接于一控制装置,该控制装置侦测该电子元件的阻值达到一预设值时,即控制该激光装置停止发出该激光束。

9.根据权利要求1所述的激光修值系统,其特征在于,该电子元件为芯片型电子元件。

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