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激光修值系统的制作方法
文档序号:12620753
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来源:国知局
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激光修值系统的制作方法与工艺
技术总结
本实用新型公开了一种激光修值系统,其包含一激光装置、一扫描装置及一驱动装置,激光装置用以提供第一激光束;扫描装置用以将第一激光束转换为一扫描激光束,且扫描激光束以一扫描频率往复摆动;驱动装置用以承载至少一电子元件且驱动电子元件沿着一第一方向移动,扫描激光束以Z字型轨迹扫描电子元件表面并于电子元件表面形成沟槽。
技术研发人员:
林钦松
受保护的技术使用者:
敏源股份有限公司
文档号码:
201621123845
技术研发日:
2016.10.14
技术公布日:
2017.06.16
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