用于半导体加工的夹持工装的制作方法

文档序号:16086777发布日期:2018-11-27 22:31阅读:361来源:国知局
用于半导体加工的夹持工装的制作方法

本实用新型涉及半导体加工领域,具体涉及用于半导体加工的夹持工装。



背景技术:

半导体(semiconductor),指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。半导体在加工过程中通常要进行焊接、封装、切割等工序。

半导体在焊接过程中需要对芯片进行夹持固定,防止芯片的移动,但在对芯片夹持的过程中,由于芯片加工时会产生抖动,芯片在抖动的过程中会与夹持装置的夹爪互相摩擦,造成夹爪的磨损,夹爪磨损后在后续的夹持过程中会存在夹持不紧的问题,影响夹持效果。



技术实现要素:

本实用新型意在提供用于半导体加工的夹持工装,以解决现有技术中,由于芯片抖动使得夹爪磨损,夹爪磨损后影响夹持效果的问题。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:用于半导体加工的夹持工装,包括操作板,操作板上设有多个夹持机构,夹持机构包括竖直转动连接在操作板上的支撑杆,支撑杆上均固定连接有固定部,固定部内活动连接有伸长部。

采用上述技术方案用于半导体加工的夹持工装,实际应用时的原理及有益效果在于:操作板起到支撑待夹持的工件的作用,夹持机构用于夹持工件,夹持机构上的固定部用于固定夹持机构整体,起到稳定连接的作用,伸长部用于夹持工件,且伸长部可伸长,在伸长部受到磨损后可伸长,作为磨损后的补充,相较于在伸长部磨损后,直接更换新的,本方案延长了伸长部的使用寿命,且可保证夹持的效果,支撑杆起到支撑夹持机构的作用,转动杆转动连接在操作板上,可相对操作板转动,使得夹持机构转动,对操作板上不同位置的工件进行夹持,适用范围广,且更灵活。

进一步,固定部包括固定连接在支撑杆顶部的壳体,壳体内转动连接有转轴,转轴的一端穿过壳体并固定连接有转轮,转轴的另一端位于壳体内并设有螺纹部,螺纹部的端部设有限位块,螺纹部上螺纹连接有螺母,螺母滑动连接在壳体内,伸长部位于螺母远离转轮的一侧,伸长部包括滑动套设在转轴上的夹爪,夹爪靠近螺母的一端设有可与限位块相抵的限位槽,夹爪的另一端穿过壳体并向壳体外延伸。

当夹爪由于长时间使用受到磨损而使得长度变短时,转动转轮,转轮转动带动与之固定连接的转轴转动,进而带动螺母在螺纹部上沿转轴的长度方向移动,由于螺母滑动连接在壳体内,使得螺母不会相对转轴转动,仅会沿直线移动,螺母移动会抵紧夹爪,使得夹爪沿螺纹部向远离螺母的一侧移动,实现夹爪的伸长,限位块起到限定夹爪移动距离的作用,当夹爪伸长到限位槽与限位块相抵时,夹爪被限位块卡住,不会继续移动,即达到了夹爪的最大移动距离,此时继续转动转轮,夹爪不会移动,起到提醒操作人员更换新的夹爪的作用。

进一步,壳体内部设有第一单向齿条和第二单向齿条,夹爪靠近螺母一端的外壁分别设有可与第一单向齿条和第二单项齿条啮合的第一单向齿和第二单向齿。夹爪沿转轴的螺纹部移动使得第一单向齿与第二单向齿相对第一单向齿条和第二单向齿条滑动,实现夹爪的伸长,当夹爪伸长就位后,第一单向齿条与第二单向齿条通过第一单向齿与第二单向齿起到反向卡紧夹爪的作用,避免夹爪在夹持过程中向壳体内部收缩,保证夹持的稳定性,较少夹爪的磨损。

进一步,夹爪的底部设有滑槽,滑槽内竖直滑动连接有竖杆,操作板上设有以支撑杆的轴心为圆心的圆形驱动槽,竖杆的底端滑动连接在驱动槽内。夹爪可限定待夹持工件的竖直方向上的移动,而竖杆起到辅助夹爪限定待夹持的工件的作用,避免工件在被加工过程中水平方向上产生移动,使得工件的水平和竖直两个方向上的自由度均被限定,保证工件的夹持效果,竖杆的顶端滑动连接在滑槽内,竖杆的底端滑动连接在驱动槽内,使得竖杆可随支撑杆的转动在驱动槽内滑动,实现对不同位置的工件的夹持,作用范围广。

进一步,竖杆与壳体之间固定连接有支撑弹簧,支撑弹簧外套设有弹性筒。支撑弹簧起到支撑抵紧竖杆的作用,此外,工件加工过程中会产生抖动,支撑弹簧起到缓冲的作用,减小工件的抖动幅度,避免因工件抖动而影响工件的加工精度,同时还可减少因工件抖动造成的夹爪磨损问题,从根本上延长夹爪的使用寿命。

进一步,转轮的偏心位置固定连接有把手。转动转轮时,操作人员可通过转动把手实现,操作方便。

进一步,支撑杆的底端穿过操作板并水平固定连接有转杆。当需要转动支撑杆时,可通过转杆进行移动,水平摆动转杆带动支撑杆转动,更为方便和省力。

附图说明

图1为本发明实施例中操作板与夹持机构的示意图。

图2为本实用新型实施例的示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细说明:

说明书附图中的附图标记包括:操作板1、支撑杆2、壳体3、转轴4、转轮5、螺纹部6、限位块7、螺母8、夹爪9、限位槽10、第一单向齿条11、第二单向齿条12、滑槽13、驱动槽14、竖杆15、支撑弹簧16、把手17、转杆18。

实施例基本如附图1所示:用于半导体加工的夹持工装,包括操作板1,操作板1上设有四个夹持机构,结合图2所示,每个夹持机构包括竖直转动连接在操作板1上的支撑杆2,支撑杆2上均固定连接有固定部,固定部内活动连接有伸长部。固定部包括固定连接在支撑杆2顶部的壳体3,壳体3内转动连接有转轴4,转轴4的左端穿过壳体3并固定连接有转轮5,转轮5的偏心位置固定连接有把手17,转轴4的右端位于壳体3内并设有一段螺纹部6,本实施例中的螺纹部6为设置在转轴上的外螺纹,螺纹部6的右端部设有限位块7,螺纹部6上螺纹连接有螺母8,螺母8滑动连接在壳体3内。

伸长部位于螺母8的右侧,伸长部包括滑动套设在转轴4上的夹爪9,夹爪9的左端设有可与限位块7相抵的限位槽10,夹爪9的右端穿过壳体3并向壳体3外延伸。壳体3内部设有第一单向齿条11和第二单向齿条12,夹爪9左端的外壁分别设有可与第一单向齿条11和第二单项齿条啮合的第一单向齿和第二单向齿,夹爪9的底部设有滑槽13,滑槽13内竖直滑动连接有竖杆15,操作板1上设有以支撑杆2的轴心为圆心的圆形驱动槽14,竖杆15的底端滑动连接在驱动槽14内;竖杆15与壳体3之间固定连接有支撑弹簧16,支撑弹簧16外套设有弹性筒;支撑杆2的底端穿过操作板1并水平固定连接有转杆18。

具体实施过程如下:将待加工的工件置于操作板1上,操作人员手握转杆18转动,使得转杆18带动支撑杆2转动,进而带动夹爪9转动,使得夹爪9的朝向适应工件位置,对工件进行夹持,限定工件竖直方向上的自由度,同时,夹爪9转动带动滑动连接在夹爪9底部的滑槽13内的竖杆15沿操作板1的驱动槽14转动,竖杆15辅助夹爪9对工件进行夹持,限定工件水平方向上的自由度,此时支撑弹簧16起到支撑抵紧竖杆15的作用,夹爪9与竖杆15共同对工件进行夹紧,限定工件水平及竖直两个方向上的自由度,夹紧效果好,工件在加工过程中会产生抖动,支撑弹簧16起到缓冲的作用,减小工件的抖动幅度,避免因工件抖动而影响工件的加工精度,弹性筒可避免弹簧产生歪斜。

当夹爪9由于长时间使用使得夹爪9的端部被磨损变短时,夹爪9则不能很好的夹持住工件,此时转动转轮5,转轮5转动带动与之固定连接的转轴4转动,进而带动螺母8在螺纹部6上沿转轴4从左向右移动,螺母8向右移动会抵紧夹爪9的左端,并将夹爪9向右推动,使得夹爪9右端伸出壳体3的长度增加,实现夹爪9的伸长,在此过程中,夹爪9上的第一单向齿相对第一单向齿条11滑动,第二单向齿相对第二单向齿条12滑动。

当夹爪9伸长就位后,夹爪9继续对工件进行夹持,在工件被加工时,第一单向齿条11与第二单向齿条12通过第一单向齿与第二单向齿反向卡紧夹爪9,避免夹爪9在夹持过程中向壳体3内部收缩,保证夹持的稳定性。限位块7起到限定夹爪9移动距离的作用,当夹爪9伸长到限位槽10与限位块7相抵时,夹爪9被限位块7卡住,不会继续移动,即达到了夹爪9的最大移动距离,此时继续转动转轮5,夹爪9不会移动,起到提醒操作人员更换新的夹爪9的作用。

以上所述的仅是本实用新型的实施例,方案中公知的具体技术方案和/或特性等常识在此未作过多描述。应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本实用新型技术方案的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本实用新型的保护范围,这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准,说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

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