一种增强Sn基钎料/Kovar合金互连焊点可靠性的镀层及其制备工艺的制作方法

文档序号:18232527发布日期:2019-07-20 01:38阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种增强Sn基焊料/Kovar钎焊焊点可靠性的镀层及其制备工艺,属于电子封装与互联技术领域。选用表面电镀Ni/Au双镀层的Kovar合金作为基板,本发明是在该合金基板表面电镀一层Cu薄膜,制备表面镀Cu薄膜的Au/Ni/Kovar合金基板。镀层的制备方法:在40℃的水浴条件下,将平整的Kovar合金基板作为电镀阴极,纯铜板作为电镀阳极通入直流电流进行电镀,在阴极表面形成铜镀层。本发明具有工艺流程简单,工艺参数容易控制等优势,电镀Cu工艺有效地提高了Sn基焊料/Kovar合金互连焊点的可靠性。

技术研发人员:胡小武;鲍泥发;江雄心;李玉龙
受保护的技术使用者:南昌大学
技术研发日:2019.03.08
技术公布日:2019.07.19
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