技术总结
本实用新型公开了一种直线运动平台，包括底座、位于所述底座上的第一直线模组以及能够沿所述第一直线模组长度方向进行运动的第二直线模组；所述底座上设有下沉式容纳腔，所述容纳腔内设置有CCD影像系统，所述第一直线模组包括第一直线电机以及能够沿所述第一直线电机长度方向进行运动的第一运动座，所述第二直线模组通过连接座与所述第一运动座连接，所述第二直线模组包括第二直线电机以及能够沿所述第二直线电机长度方向进行运动的第二运动座，所述连接座与所述第二运动座上均设有空腔，所述CCD影像系统与所述空腔位置对应。本实用新型解决了目前碳化硅晶圆切割时平台启动和停止时间长、定位不精准等问题，CCD影像系统能够实时观测晶圆。能够实时观测晶圆。能够实时观测晶圆。
技术研发人员：胡剑
受保护的技术使用者：苏州汉立光电科技有限公司
技术研发日：2020.09.19
技术公布日：2021/7/5