1.双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：包括间隔并列平行设置的第一光束系统和第二光束系统，所述第一光束系统沿光路传输方向依次包含：第一激光器(10)，产生激光脉冲；第一扩束镜(11)，用于光束扩大和滤波；第一上反射镜(12)，用于改变光束方向；第一下反射镜(13)，用于改变光束方向；第一振镜扫描系统(14)，用于控制光束偏转；第一聚焦场镜(15)，用于光束聚焦；所述第一激光器(10)、第一扩束镜(11)和第一上反射镜(12)安装于x轴运动单元(31)上，所述第一下反射镜(13)、第一振镜扫描系统(14)和第一聚焦场镜(15)安装于z轴运动单元(33)上，z轴运动单元(33)连接于x轴运动单元(31)上；
所述第二光束系统沿光路传输方向依次包含：第二激光器(20)，产生激光脉冲；第二扩束镜(21)，用于光束扩大和滤波；第二上反射镜(22)，用于改变光束方向；第二下反射镜(23)，用于改变光束方向；第二振镜扫描系统(24)，用于控制光束偏转；第二聚焦场镜(25)，用于光束聚焦；所述第二激光器(20)、第二扩束镜(21)和第二上反射镜(22)安装于x轴运动单元(31)上，所述第二下反射镜(23)、第二振镜扫描系统(24)和第二聚焦场镜(25)安装于z轴运动单元(33)上；
第一聚焦场镜(15)和第二聚焦场镜(25)正对于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)，吸附平台(50)置于y轴运动单元(32)上。
2.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：第一振镜扫描系统(14)一侧设有用于工件主对位观察的左视觉定位系统，第二振镜扫描系统(24)一侧设有用于工件副对位观察的右视觉定位系统。
3.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统安装于z轴运动单元(33)上，位于第一振镜扫描系统(14)左侧，右视觉定位系统安装于z轴运动单元(33)上，位于第二振镜扫描系统(24)右侧。
4.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统和右视觉定位系统连接至控制系统，控制系统与第一激光器(10)、第二激光器(20)、第一振镜扫描系统(14)、第二振镜扫描系统(24)、x轴运动单元(31)、z轴运动单元(33)以及y轴运动单元(32)控制连接。
5.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统和右视觉定位系统均包含ccd相机、影像镜头、照明点光源、uv紫外光源，影像镜头安装于z轴运动单元(33)上，正对于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)，影像镜头上方安装ccd相机，侧方安装照明点光源，下方安装uv紫外光源。
6.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述第一激光器(10)和第二激光器(20)均为1064nm纳秒红外光纤激光器。
7.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：加工工件导电薄膜(40)与第一聚焦场镜(15)和第二聚焦场镜(25)之间安装有用于收集加工过程中粉尘和废气的集尘系统。
8.利用权利要求1所述的装置实现双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工方法，其特征在于：第一激光器(10)输出高频脉冲光束，入射到第一扩束镜(11)，第一扩束镜(11)将高频脉冲光束扩束后，射入第一上反射镜(12)改变光束指向，改变后的光束以45°入射到第一下反射镜(13)再次改变光束指向，再次改变后的光束以45°入射到第一振镜扫描系统(14)，通过第一振镜扫描系统(14)对光束进行偏转后，射入第一聚焦场镜(15)，第一聚焦场镜(15)将光束聚焦成第一加工光斑，对放置于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)的一区域进行刻蚀加工；
第二激光器(20)输出高频脉冲光束，入射到第二扩束镜(21)，第二扩束镜(21)将高频脉冲光束扩束后，射入第二上反射镜(22)改变光束指向，改变后的光束以45°入射到第二下反射镜(23)再次改变光束指向，再次改变后的光束以45°入射到第二振镜扫描系统(24)，第二振镜扫描系统(24)对光束进行偏转后，射入第二聚焦场镜(25)，第二聚焦场镜(25)将光束聚焦成第二加工光斑，第二加工光斑对放置于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)的另一区域进行刻蚀加工。
9.根据权利要求8所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工方法，其特征在于：第一振镜扫描系统(14)一侧设有用于工件主对位观察的左视觉定位系统，第二振镜扫描系统(24)一侧设有用于工件副对位观察的右视觉定位系统，左视觉定位系统和右视觉定位系统连接至控制系统，由左视觉定位系统和右视觉定位系统对加工工件导电薄膜(40)进行定位，获得加工工件导电薄膜(40)的位置坐标信息，并将位置坐标信息传输给控制系统，控制系统根据位置信息分别控制第一光束系统加工区域一，控制第二光束系统加工区域二，双光束分别完成加工区域一和加工区域二不同图案的加工，由x轴运动单元(31)带动第一光束系统和第二光束系统沿x方向定距离移动，由y轴运动单元(32)带动加工工件导电薄膜(40)沿y方向定距离移动，进行双光束扫描。
10.根据权利要求8所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工方法，其特征在于：加工工件导电薄膜(40)与第一聚焦场镜(15)和第二聚焦场镜(25)之间安装的集尘系统收集加工过程中产生的粉尘及废气。