要求，达到了预期加工效果，表面粗糙度用样板检测可达到3nm，再经过抛光可以进一步提高表面粗糙度。
[0022]【具体实施方式】二:结合图1具体说明本实施方式，本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，它还包括N个一号减重槽5，在圆柱体上车削N个凹槽，形成N个一号减重槽5。
[0023]【具体实施方式】三:本实施方式是对【具体实施方式】二所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，一号减重槽5为四个，四个一号减重槽5在圆柱体上对称分布。
[0024]【具体实施方式】四:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的材质为45 #不锈钢材料。
[0025]【具体实施方式】五:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，α的值为45°。
[0026]【具体实施方式】六:本实施方式是对【具体实施方式】五所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，一号螺丝孔3和二号螺丝孔4的尺寸均为Μ5。
[0027]【具体实施方式】七:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，刀座I与长方体为一体件。
[0028]【具体实施方式】八:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架作进一步说明，本实施方式中，将刀座I的一个角车削掉，车削角度为45°，形成缺口 6。
[0029]缺口 6保证了刀座有足够的自重，同时又避免了装卸不便。
[0030]【具体实施方式】九:本实施方式是利用【具体实施方式】一所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架进行加工的方法，该方法包括以下步骤:
[0031]第一步、首先将金钢石车床原有的可调刀架拆下；
[0032]因为可调刀架钢性差，且对安装新刀架进刀有障碍，所以将金钢石车床原有的可调刀架拆下。
[0033]第二步、将研制的刀架安装到金钢石车床的溜板上，确保刀体与主轴平行，便于准确装刀；
[0034]第三步、将金钢石刀具装到刀架上，用薄铜皮调整刀具高度，与主轴轴饯高度一致；
[0035]第四步、用金钢石车床自身的刀具探测器探测刀具在机床坐标系中的位置，给出初始刀具零位置；
[0036]第五步、初始加工(也可称粗加工):切削深度0.04mm-0.05mm，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400转-500转；
[0037]第六步、半精加工，共加工两次，切削深度分别为8微米和5微米，每分钟进给速度为15mm，主轴转速为每分钟400-500转；
[0038]第七步、精加工，切削深度为2微米，进给速度为每分钟2mm，主轴转速为每分钟400-500 转；
[0039]第八步、观查表面质量，如尚有不足，再重复精加工一遍；
[0040]第九步、加工时注意冷却油不能间断，且给油量加大，确保精车质量；
[0041]第十步、采用同样加工程序和参数加工测试样板，经PGl 1240轮廓仪测表面粗糙度为 0.0055nm。
【主权项】
1.极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，它包括刀座(I)、深斜孔(2)、一号螺丝孔(3)、二号螺丝孔(4)。 刀架分成两部分，一部分为刀座(I)，另一部分为一个长方体；所述刀座(I)是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔(2)，该深斜孔(2)的轴线与圆柱体的轴线相交，二者的夹角为α，α #90° ;圆柱体的一个端面固定在长方体的一个侧面上，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，所述两个凹槽在X方向上均延伸至与所述侧面相对的侧面，两个凹槽分别沿Y方向和-Y方向延伸至长方体的另外两个侧面，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔(3)和二号螺丝孔(4)，所述X方向与圆柱体的轴线方向平行，由圆柱体向长方体为正，Z方向为与长方体上表面垂直的方向。2.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，它还包括N个一号减重槽(5)，在圆柱体上车削N个凹槽，形成N个一号减重槽(5)。3.根据权利要求2所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，所述一号减重槽(5)为四个，四个一号减重槽(5)在圆柱体上对称分布。4.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架的材质为45 #不锈钢材料。5.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，α的值为 45。?6.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，所述一号螺丝孔(3)和二号螺丝孔(4)的尺寸均为Μ5。7.根据权利要求1所述的极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，其特征在于，刀座(I)与长方体为一体件。
【专利摘要】极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
【IPC分类】B23B21/00
【公开号】CN104923808
【申请号】CN201510363157
【发明人】王骐, 徐强, 赵永蓬
【申请人】哈尔滨工业大学
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年6月26日