期间线段的位置之间所围成的角度。因此角度也为位移的量度，并且因此可以用于同样的目的。由于线部分遵循线导辊的曲率，所以位移和角度之间的关系不成正比。为了进行精确地测量，可以生成如关于步骤301至307所述的查找表。
[0094]在图3中，线网监测系统13在线网的松弛状态下略高于线网3放置并且朝向工件2偏移。由于传感器8的检测范围14(见图5)是有限的，将传感器安装得不太远离线网3是有利的。在另一方面，线网监测系统13不可以以不期望的形式干扰线网3上的切割流体(未示出)，并且因此应保持在一定的距离处。优选在线网的未偏离状态，传感器壳体10远离线网3不超过l_5mm。
[0095]由于线网监测系统13总是影响切割流体的行为，所以在整个线网3上或者至少在线网3的用于切割的那部分上，影响应尽可能地保持恒定。此外，壳体10的至少靠近线网3的外表面对线网3的相关部分应是恒定的。
[0096]由于线网通常会偏离，所以偏离测量装置可以与网的偏离状态相匹配。此外，偏离测量装置的测量范围可以在线网未被加载时不垂直于线网延伸，而在切割期间垂直于线网的法向位置延伸。这可以根据所使用的偏离测量装置的类型来增大测量的精度。
[0097]由于传感器8的检测范围14 (见图5)是有限的，所以如果靠近线导辊4 (的顶线)完成测量，则这是进一步有利的。与进一步朝向工件2相比，线段3'、3"、3"'显然不会更靠近线导辊4。优选地，当在未偏离线网3的位置和方向进行测量时，从线导辊的轴线(或顶线)到检测范围14的中心的(水平)距离d的为约20-60mm，优选约30_40mm。换句话说，从松弛线段(平均)离开线导辊4的点到检测范围14的中心的距离d可以为约20-60mm。
[0098]图4B示出在切割开始后，网3和所有线段在间隙或切口中延伸。显然，所有线藉由砖(未示出)的向下移动(M)而被向下推动(未示出)。间隙线段3"'落后于大多数(从砖的下侧向上延伸到线段的间隙)延伸，而线段3'的间隙前进得最快。另外，在图4B中可见的是两根线，即已经配对的两个最左边的线:它们在同一个槽上运转，大大地削弱了晶片的质量。
[0099]图4C示出了晶片的检索。在晶片被切割后，它们仍然附装到梁，并被撤回经过线网以离开线锯。尽管这样，一些线段与其它线段相比在晶片之间被卡住得多并且被拉起得多。这是图4C中的线段3"的情况。
[0100]图5示意性示出本发明的实施例在与图4A至4C相同的视角中的一部分。示出了砖在(未示出)被切割的同时沿向下的方向M移动的情况。偏离传感器或偏离测量装置8安装在导轨或直线导轨9上，以便能够在线网3上方沿一根线到下一根线的方向S移动。另夕卜，传感器8可以沿主要垂直于线段延伸的方向、主要平行于松弛线网的方向S移动。需要重点注意的是，传感器8的移动方向S使传感器8对所有相关线的偏离进行测量。因此，传感器8可以移动经过所有的相关线段。保持移动的方向平行于线网3并且平行于线导辊延伸的方向，使得对各根线的测量更具有可比性。
[0101]传感器8和轨道9安装于附装到线锯(未示出)的壳体10的内部。壳体是完全封闭的。线网监测系统是完全独立的并且仅提供了用于电力和信号的一个输出口 11。
[0102]偏离传感器或偏离测量装置8可以是可以使用任何种类的电磁辐射(可见光、雷达、红外线灯等)、电-磁感应(电感位移传感器)、电容耦合(电容位移传感器)、机械或(超)声的任何种类的距离传感器、存在传感器或位移传感器。优选使用非接触传感器，但也可以使用接触线的传感器。
[0103]如将在后面更详细地解释，偏离传感器8可用于生成线网3的“图像”，所谓的弯曲轮廓。当传感器8移动经过线网3时，如果进行测量，则根据传感器的位置记录并存储数据。传感器8所需要具有的精度和/或深度分辨率取决于对该“图像”所进行的分析。因此，仅表示线在一定范围内存在的传感器8可能就足够了。如果期望更复杂的分析，则传感器8可能需要精确地确定与线的距离(绝对或相对)。参照平面与观察到的一个(或多个)线段之间的距离指“距离”。通常，参照平面与传感器的一部分(如其前表面或传感器的敏感部分)重合。
[0104]偏离传感器8的检测范围14可以比两个相邻线3a和3b的中心之间的垂直距离(平行于线导辊延伸的方向)更宽。在这种情况下，传感器8通常将“看到”不止一根线3a、3bο通过将连接件15连接至传感器的控制器单元12可用于进行多个这样的测量并且通过这样的测量，在进行测量时利用传感器8的位置推导出单线3a的位置。为此，可以使用数字滤波器，如差分滤波器、反卷积滤波器、微分滤波器或任何其它的过滤器。视图(在传感器所视的方向上的检测范围)的深度延伸到线的最大允许位置外。以这种方式，线总是“可见的”。
[0105]传感器8可以被连接到控制器单元12。控制器单元可以控制传感器的位置、速度以及测量时间或存储时间。控制器单元12可具有与其关联的用于存储测量数据(优选与进行测量的位置一起)的存储器17。以这种方式，可以生成线网的“图像”(实际上是ID阵列)。控制器可以在需要更多或更精确的测量的区域中减缓传感器的速度。这可能是这种情况:如果只有单线落后并(部分地)被其相邻物遮盖。为了得到更精确的测量，传感器可以在此范围内减慢甚至停止。连接到传感器控制器12的连接件15可以是直线导轨9的一部分或被直线导轨9支撑。
[0106]当线网3不旋转时，传感器8也可以有利地用在线网3上。将工件2降低到线网3上方可用于找出进给台7和工件2首次接触线网3的位置。以这种方式，可以在盯着切割期间，控制切割速度和进给台7的速度。此外，由于现在已知开始切割的位置、进给台的速度或力、线网的速度，所以可以以任何期望的方式控制在改变方向之前线沿一个方向进给的长度或者甚至控制切割液(切割配方的所有部分)的供给。
[0107]还能够确定一个(或多个)工件的准确位置。此信息可以用于控制传感器12的往复移动和/或进行测量的位置。此外，一个(或多个)工件的总长度影响最佳切割配方。
[0108]图12示出与图5相同的情况，但是具有两个偏离测量装置8、V。传感器屮也通过连接件15'被连接到控制器单元12。传感器8和8'可以具有独立的驱动器(未示出)，可被安装在独立的轨道(未示出)上或者可具有共同的驱动器(未示出)和/或安装在共同的轨道9上。
[0109]图6和7示出本发明的传感器13在线网3上的位置和传感器8在壳体10内部的移动方向。然而，本发明并不限于任何位置。系统3可以位于用于切割的线网3(线导辊4之间)的上方和/或下方并且位于工件的一侧或两侧。
[0110]由于测量范围现在遍布于线段的距传感器8的不同距离的部分，所以线段的偏离可能影响有效测量距离。为此，可以通过倾斜传感器来校正传感器8指向和测量的方向。优选传感器被倾斜为使得当线段处于其切割操作时，传感器垂直于线段测量。或者，传感器被倾斜(或不被倾斜)为使得当需要最精确的测量时传感器的测量最精确。这可以例如为当必须检测零点时。传感器8还可以是可旋转的以被调整以适应线的平均(在给定时刻或在一段时间内的所有线)偏离或者被调整以适应在任何给定的时刻其所解决的问题。
[0111]图8示出用于确定零点的方法:工件2首次接触线网的进给台7的位置。理想状态下，非常接近该位置时开始切割过程。方法100包括以下步骤:
[0112]101:在线锯上形成线网；
[0113]102:通常利用固定附件6和辅助板5将工件2附装到进给台7 ;
[0114]103:朝向线网3移动进给台7与工件2 ;
[0115]104:通过移动传感器使其经过线网来监测线网并测量线的偏离；以及
[0116]105:只要检测到线段3'、3"、3"'被首次按压，就存储进给台的位置。
[0117]当旋转线网3(使线导辊旋转，以实现线网的切割动作)时或者当线网3静止不动时，可以实施该方法。特别地，步骤101、102、103和104可以以任何特定的顺序完成或开始。如果线网是旋转的，线一被压下就调整进给台的速度。
[0118]可以通过方法200的以下步骤来实施切割:
[0119]201:将工件移动到线网上方的预定距离处，该预定距离理论上在零点附近；
[0120]202:给予线网初始速度以用于启动切割；
[0121]203:按压工件使其通过线网；
[0122]204:可选地，将线网速度改变为正常切割速度和/或基于线网的测量特性/形状控制切割配方。
[0123]控制切割过程或切割配方的特征可以选自包括以下方面的组合或者基于来自包括以下方面的组合的元素来选择或计算:
[0124]线或线组的最大偏离，线或线组的最小偏离，线或线组的平均偏离，线或线组的方差或标准偏差，线在轴向(线导辊延伸的方向)上的偏差，缺失线段或其任意组合。
[0125]确定整个线网的特征或仅确定相关线段(例如，实际切割工件2的那些线段)的特征。该?目息可以利用方法400来获得。
[0126]为了精确测量，可以制备将线段3'、3"、3"'的实际偏离与传感器8所测量的方面联系起来的参照表。为了这样做，该方法包括以下步骤:
[0127]301: