对位装置、对位检测方法及对位系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示技术领域，特别是指一种对位装置、对位检测方法及对位系统。
【背景技术】
[0002] 在液晶显示装置（IXD)、有机发光二极管显示装置（OLED)等的制造过程中，包括 大量对玻璃基板（如阵列基板、彩膜基板等）进行加工（如光刻、贴膜、切割等）的步骤，为 保证加工的精确性，故在每道加工工序开始前都要先对基板进行对位。
[0003] 如图1所示，现有的基板对位装置包括设置在工作台1上、用于对基板进行对位的 多个对位杆2 (Stopper)，在对基板进行对位时，机械手将基板放置在工作台1上，多个对位 杆2分别位于基板的四个侧面外。
[0004] 但是现有技术中至少存在如下问题：现有的对位杆2多采用硬质PEK (聚醚酮）材 料制成，是刚性的，如果机械手放置位置错误，对位杆在与基板接触的瞬间会对基板产生较 大的冲击力，易损坏基板，尤其对于厚度较薄（如小于等于〇.5_)的基板更是如此，故现有 的基板对位装置一般不能用于厚度较薄的基板；同时，目前针对对位错误进行预警主要使 用的是工作台上的真空系统，当基板放到工作台上时，根据工作台吸附基板的真空数值是 否达到标准进行预警。但在实际应用中，会出现吸真空与机械手配合时间难以掌控、真空值 过大导致对位失效等问题，使得误报警的情况过多，影响了实际生产。
【发明内容】
[0005] 本发明要解决的技术问题是提供一种对位装置、对位检测方法及对位系统，能够 对对位错误进行报警，并降低误报警的几率。
[0006] 为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：
[0007] -方面，提供一种对位装置，包括：
[0008] 工作台；
[0009] 设置在工作台上的多个对位杆，所述对位杆内部设置有电容元件，所述电容元件 的电容能够在所述对位杆形变时发生变化；
[0010]与所述电容元件连接的报警单元，用于在接收到的电容变化值超过预设阈值时进 行报警。
[0011] 进一步地，所述对位装置还包括：
[0012] 增益元件，与所述电容元件连接，用于对所述电容元件的电容变化值进行放大或 者缩小，并将放大或者缩小的电容变化值发送给所述报警元件；
[0013] 所述报警元件具体用于在接收到的所述增益元件发送的电容变化值超过预设阈 值时进行报警。
[0014] 进一步地，所述增益元件包括与所述电容元件连接的滑动变阻器、第一电阻、晶体 管、第二电阻和第三电阻，其中，滑变电阻器的一端与所述电容元件连接，另一端与低电平 连接；所述第一电阻的一端与高电平连接，另一端与所述电容元件连接；所述第二电阻的 一端与高电平连接，另一端与所述晶体管的集电极连接；所述第三电阻的一端与所述晶体 管的集电极连接，另一端与低电平连接；所述晶体管的基极与所述电容元件连接，集电极分 别与所述第二电阻和第三电阻连接，发射极与低电平连接。
[0015] 进一步地，所述对位装置还包括：
[0016] 与所述电容元件连接的变压电路以及交流转直流电路，所述变压电路用于对施加 到所述电容元件上的电信号进行变压，所述交流转直流电路用于对施加到所述电容元件上 的电信号进行交流转直流变换。
[0017] 进一步地，所述对位杆包括有外壳和设置在所述外壳内的所述电容元件，所述外 壳为采用软质橡胶制成。
[0018] 进一步地，所述外壳包括有相互配合的第一部分和第二部分，所述第一部分为圆 柱形结构，所述圆柱形结构的一端面向内凹陷形成一凹槽；所述第二部分包括用于固定在 所述工作台上的基底和设置在所述基底上、与所述凹槽相适配的凸起，在所述第一部分与 所述第二部分相互配合组成所述外壳时，所述凸起位于所述凹槽内且所述凸起与所述凹槽 之间形成有间隙。
[0019] 进一步地，所述电容元件的上极板位于所述凹槽底部，所述电容元件的下极板位 于所述凸起顶部。
[0020] 进一步地，所述凹槽为圆柱形凹槽，所述凸起为圆柱形凸起，所述基底为圆形基 底，且所述圆形基底的直径与所述圆柱形结构的直径相等。
[0021] 进一步地，所述外壳的高度为l_2cm。
[0022] 进一步地，所述圆柱形结构的直径为l_2cm。
[0023] 进一步地，所述圆柱形结构的直径为I. 2cm。
[0024] 本发明实施例还提供了一种对位系统，包括待对位的基板，还包括如上所述的对 位装置，在对所述基板进行对位时，所述对位杆分别位于在所述基板的至少两个相对的侧 面处。
[0025] 本发明实施例还提供了一种对位检测方法，包括：
[0026] 将待对位的基板放置在工作台上，所述工作台上设置有多个对位杆，所述对位杆 分别位于所述基板的至少两个相对的侧面处，所述对位杆内部设置有电容元件，所述电容 元件的电容能够在所述对位杆形变时发生变化；
[0027] 检测所述电容元件的电容是否发生变化，在所述电容元件的电容变化值超过预设 阈值时进行报警。
[0028] 本发明的实施例具有以下有益效果：
[0029] 上述方案中，在工作台上设置多个对位杆，对位杆内部设置有电容元件，在机械手 放置位置错误，对位杆在与基板接触时，对位杆发生形变，电容元件的电容也随之发生变 化，报警单元根据电容元件的电容变化值进行报警，使用电容进行报警在技术上易实现，降 低了报警的实现成本，并且报警精度高，能够大大降低误报警的几率。
【附图说明】
[0030] 图1为现有基板对位装置的结构不意图；
[0031] 图2为本发明实施例对位装置的结构示意图；
[0032] 图3为本发明实施例对位杆的结构示意图；
[0033] 图4为本发明实施例对位杆的截面示意图；
[0034] 图5为本发明实施例对位装置的电路结构图；
[0035] 图6为本发明实施例对位杆发生形变时的示意图；
[0036] 图7为本发明实施例对位杆发生形变时的俯视示意图；
[0037] 图8为本发明实施例对位杆发生形变时的俯视坐标系示意图；
[0038] 图9为本发明实施例计算不规则有效电容面时的示意图。
[0039] 附图标记
[0040] 1工作台 2现有技术中的对位杆3本发明实施例的对位杆
[0041] 31第一部分 32第二部分 33电容元件的上极板
[0042] 34电容元件的下极板311第一部分的上表面
[0043] 321第二部分的下表面
【具体实施方式】
[0044] 为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合 附图及具体实施例进行详细描述。
[0045] 本发明的实施例针对现有技术中基板对位装置一般不能用于厚度较薄的基板，同 时误报警的情况过多，影响了实际生产的问题，提供一种对位装置及对位系统，能够对对位 错误进行报警，并降低误报警的几率。
[0046] 实施例一
[0047] 本实施例提供了一种对位装置，如图2所示，包括：
[0048] 工作台1 ;
[0049] 设置在工作台上的多个对位杆3,对位杆3内部设置有电容元件，电容元件的电容 能够在对位杆3形变时发生变化；
[0050] 与电容元件连接的报