专利名称：加热系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池的制成，特别是关于化学气相沉积真空腔室内的加热系统。
背景技术：
在太阳能电池的制造过程中有一段程序是必须要将玻璃基板置入一真空腔室中进行化学气相沉积的加工动作，在进行此一加工动作时，该真空腔室内必须保持一定的真空度并且使腔室内部的玻璃基板维持在一定的温度才能达到所要的加工效果，所以都会在真空腔室内设置加热器来加热。但是由于热空气会上升冷空气会下降所以若在真空腔室内只设置单一的加热装置时容易造成腔体内部热度分布不均匀的情形，并且单一的加热装置要进行真空腔室内整体的空间进行温度的调控时也比较困难。
发明内容
本发明的目的在于提供一种加热系统，解决现有技术存在的缺陷。
为达成上述目的，本发明的技术解决方案是
一种加热系统是设置于真空腔室内壁，包含有至少二加热装置，该二加热装置可分别独立控制调整其加热的温度，各该加热装置皆包含有二加热器，该二加热器是分别装设于真空腔室两侧的内壁， 一加 热装置的二加热器是设置于另一加热装置的二加热器上方，使一加热 装置的加热器与另一加热装置的加热器呈上下排列。
本发明的加热系统，置于化学气相沉积的真空腔室内，解决了造 成真空腔室内上层温度较高下层温度较低的温度不平均的问题，使真 空腔室内的温度可以被调控得更为均匀、稳定，以获得更均匀的温度 分布效果，使玻璃基板进行化学气相沉积的加工效果大幅提升。
图1为本发明第一实施例装设于真空腔室的立体示意图； 图2为本发明第一实施例装设于真空腔室的侧面示意图； 图3为本发明第一实施例装设于真空腔室的剖面示意图； 图4为本发明第二实施例装设于真空腔室的立体示意图； 图5为本发明第二实施例装设于真空腔室的侧面示意图； 图6为本发明第二实施例装设于真空腔室的剖面示意图； 图7为本发明第三实施例装设于真空腔室的立体示意图。
主要组件符号说明 真空腔室1
第一加热装置10加热器11 第二加热装置20加热器21 第三加热装置30 第四加热装置40 第五加热装置50
第六加热装置60
具体实施例方式
为了说明本发明的特征及功效，以下兹举三实施例配合附图详细 说明如后。
如图1至图3所示，为本发明的第一实施例装设于真空腔室内的 示意图，本发明加热系统是设置于化学气相沉积的真空腔室1内两侧
壁，本发明的加热系统包含有
一第一加热装置10与一第二加热装置20，该二加热装置可分别
独立控制调整其加热的温度，各该加热装置皆包含有二加热器11，
该二加热器是分别装设于真空腔室两侧的内壁，该第一加热装置10 的二加热器11是设置于该第二加热装置20的加热器21上方，使该 第一加热装置的加热器与该第二加热装置的加热器呈上下排列。该等 加热装置的加热器可以为加热管或是加热线圈。各加热装置的加热范 围可以在室温至基板的热变形温度之间依实际的使用需要来加以各 别的设定，以提供最好的加热效能。
由于在本发明中该等加热装置的加热器是采用上下的设置方式， 所以通过本发明的加热系统可以对真空腔室内的上下空间分别设定 提供不同的加热温度，例如上方加热装置所设定的温度可以较下方加 热装置所设定的温度低，因此即可以排除目前热空气上升冷空气下降 而造成真空腔室内上层温度较高下层温度较低的温度不平均的问题。
如图4至图6所示，为本发明的第二实施例装设于真空腔室内的 示意图。在本实施例中除了包含有前一实施例中的第一加热装置与第 二加热装置的外，还在该二加热装置之间加设了一第三加热装置30、 一第四加热装置40与一第五加热装置50，该等加热装置同样的可独 立控制调整加热的温度，并亦各别包含有二加热器，该等加热器可以 为加热管或是加热线圈，该等加热器是分别依序装设于真空腔室两侧的内壁面并且位于第一加热装置与第二加热装置的加热器之间，使真 空腔室内壁的加热器呈现由上而下的排列设置。
通过第二施例的设置可以使真空腔室内的温度调控区分得更为 细致，以获得更均匀的温度分布效果。
如图7所示，为本发明的第三实施例装设于真空腔室内的示意 图。在本实施例中本发明的加热系统除了第二实施例的加热装置之外
还于该真空腔室的底部加设一第六加热装置60，该加热装置同样的
可独立控制调整加热的温度，该加热装置包含有至少一加热器，该加 热器可以为加热管或是加热线圈。
经由此更完善的分散控制设计能使真空腔室内的温度可以被调 控更为均匀、稳定，以提升玻璃基板进行化学气相沉积的加工效果。
在本发明中，加热装置或加热器的数量并没有特别的限制，其数
量可以依据实际的需求来设置，而各加热装置所控制的加热器数量亦 没有限制，可以以一加热装置包含有四或六加热器， 一样的能够提供
分开调控的效果。例如以在第二实施例中该真空腔室同一侧内壁上 的五个加热器来说，最上面的二个加热器可由第一加热装置来控制， 而最下面的二个加热器可由第二加热装置来控制，中间的加热器则由 第三加热装置来控制，如此同样的能够达到分开调整与控制的效果。
权利要求
1. 一种加热系统，设置于真空腔室内壁，其特征在于，包含有至少二加热装置，该二加热装置分别独立控制调整其加热的温度，各该加热装置皆包含有至少二加热器，该二加热器分别装设于真空腔室两侧的内壁，一加热装置的二加热器设置于另一加热装置的二加热器上方，使一加热装置的加热器与另一加热装置的加热器呈上下排列。
2. 依据权利要求l所述的加热系统，其特征在于，该加热系统还 包含有一加热装置设于真空腔室的底部，该加热装置同样的可独立控 制调整加热的温度，该加热装置包含有至少一加热器。
3. 依据权利要求l所述的加热系统，其特征在于，所述加热器为 加热管。
4. 依据权利要求l所述的加热系统，其特征在于，所述加热器为 加热线圈。
5. —种加热系统，设置于真空腔室内壁，其特征在于，包含有 一第一加热装置与一第二加热装置，该二加热装置分别独立控制调整其加热的温度，各该加热装置皆包含有二加热器，该二加热器分 别装设于真空腔室两侧的内壁，该第一加热装置的二加热器设置于该 第二加热装置的二加热器上方，第一加热装置的加热器与第二加热装 置的加热器呈上下排列。
6. 依据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，该加热系统还 包含有一第三加热装置设于真空腔室的底部，该加热装置同样的可独立控制调整加热的温度，该加热装置包含有至少一加热器。
7. 依据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述加热器为 加热管。
8.依据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述加热器为加热线圈。
全文摘要
本发明是有关于设置于真空腔室内侧壁的加热系统，包含有至少二加热装置，可分别独立控制调整其加热的温度，各加热装置皆包含有至少二加热器，二加热器是分别装设于真空腔室两侧的内壁，一加热装置的二加热器是设置于另一加热装置的二加热器上方，使一加热装置的加热器与另一加热装置的加热器呈上下排列。
文档编号C23C16/46GK101545099SQ200810086298
公开日2009年9月30日 申请日期2008年3月25日 优先权日2008年3月25日
发明者何建立, 叶公旭, 杨正安, 黄明鸿 申请人:东捷科技股份有限公司