专利名称：研磨定位环的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种研磨定位环，更详而言之，特别是指一种应用于圆体 定位研磨作业的研磨定位环。
背景技术：
目前， 一般业界应用于研磨晶体作业的研磨定位环的结构，通常是由金属 的基部环体与高分子材料的研磨环体相互结合所构成，研磨定位环在进行使用
时，其寿命的长短，除了取决于该高分子材料的研磨环体的磨耗速度，金属的 基部环体与研磨环体之间结合结构的牢固性，也是一个重要因素，因为研磨定
位环在研磨加工过程中，会与晶体及加工机件之间产生持续性剧烈的摩擦作用， 其所产生的反向应力，则会对研磨定位环的基部环体与研磨环体的结合结构产 生破坏性作用， 一旦基部环体与研磨环体之间产生松动或脱开剥离的现象时， 也意味着该研磨定位环报废，而需另作更换。
公知的研磨定位环的基部环体与研磨环体的结合固定方式，大致采用如中
国台湾省专利公告第470690号的《晶圆研磨环的接着方式》所述内容，该专利 主要在揭示将研磨定位环的接着面先进行火焰处理，再将基部环体与研磨环体 的接着面擦拭处理干净，然后再利用环氧树脂将二者加以粘着固定，使基部环 体与研磨环体达到结合固定的状态。
但是，由于前述的基部环体及研磨环体的接着面，大抵为平面结构，因此 这种通过粘着的结合方式并无法有效克服晶体研磨时所产生的反向应力，容易 因为研磨晶体时所产生的震动或高温熔解，使得环氧树脂失去粘合效用，从而 导致研磨定位环的基部环体与研磨环体产生脱落或剥离的现象，这样借由这种 粘合方式，该基部环体及研磨环体之间的结合强度仍旧存在有不足之处。有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种研磨定位环，能够有效强 化基部与研磨部之间的结合，防止研磨定位环轻易产生剥离或脱落，进而延长 该研磨定位环的使用寿命。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的 一种研磨定位
环，其包含有
基部，所述基座呈环形结构，所述基部的第一侧面为锁固面，所述锁固面
上设置有定位孔；所述基部的第二侧面为结合面，所述结合面上设置有接合孔， 所述接合孔接设锁固有接合组件；
研磨部，所述研磨部呈环形结构，所述研磨部的第一侧面为结合面，所述
结合面上设置有导入孔；所述研磨部的第二侧面为研磨面；
所述基部与所述研磨部的所述结合面上，分别涂布有粘着胶，锁设于所述 基部的所述接合孔的所述接合组件在所述基部与所述研磨部结合时能够卡掣于 所述研磨部的所述导入孔，形成双重固定结构。
根据前述结构设计，本实用新型的研磨定位环为能够达到双重的结合固定 结构，使基部与研磨部之间能够形成更加稳固的结合状态，从而提高本实用新 型的研磨定位环抵抗应力的强度，减少研磨定位环变形或产生裂痕的机率，进 而延长研磨定位环的有效使用寿命，降低业内人士研磨加工制作的成本。
图l为本实用新型中研磨定位环的立体示意图； 图2A为本实用新型中研磨定位环的分解示意图(一)，该图中同时示出了
鸠尾槽与导入孔的放大结构；
图2B为本实用新型中研磨定位环的分解示意图(二)；
图3A为本实用新型中研磨定位环装设时的剖视示意图(一 )；
图3B为本实用新型中研磨定位环装设时的剖视示意图(二 )；
5图4A为本实用新型中研磨定位环装设时的局部仰视示意图(一 ); 图4B为本实用新型中研磨定位环装设时的局部仰视示意图(二 ); 图5为本实用新型中研磨定位环设置有沟槽时的示意图。
附图标记说明
1研磨定位环11A结合面
10基部11B研磨面
10A锁固面110环形突部
10B结合面111导入孔
100定位孔1110鸠尾槽
101环形凹槽112沟槽
102接合孔2粘着胶
103接合组件
11研磨部
具体实施方式
请配合参阅图l、图2A与图2B,其中，图1为本实用新型中研磨定位环 的立体示意图，图2A与图2B为本实用新型中研磨定位环的分解示意图。
本实用新型的研磨定位环1，主要包含有基部lO与研磨部ll,如图1 所示，基部10呈具有预定厚度与特定内、外径的环形结构，其采用具有较 佳刚性的不锈钢(例如SUS系列不锈钢板材)或是金属合金，通过车削加 工而成型其外观形态；研磨部ll也呈环形结构，其釆用耐高温、耐磨耗且 耐腐蚀的高分子塑性材料，例如聚苯硫醚(Polyphenylene Sumde, PPS )、 聚醚二酮(Polyetheretherketone, PEEK)等材料，通过射出成型制成，其中
如图2A所示，基部IO的第一侧面为锁固面IOA，锁固面IOA上设置有两 个或两个以上呈等角度环列设置的定位孔100，用以结合在化学机械研磨设备 (Chemical Mechanical Polishing, CMP)的研磨头(Polishing Head )上的驱动件；基部IO的第二侧面为结合面IOB，如图2B所示，结合面10B上凹设形成 有环形凹槽101，环形凹槽101上设置有两个或两个以上呈等角度环列设置的 接合孔102,接合孔102用以接设锁固接合组件103;其中，接合组件103大致 为预定规格的平头(Pancake head)螺丝或是沉孔螺栓，同时，当接合组件103 锁设于接合孔102时，接合组件103的顶部与接合孔102的外缘面之间，会形 成有适当间隙。
研磨部11的第一侧面为结合面IIA，如图2A所示，结合面11A上对 应于基部10的环形凹槽101的外观形态而突设形成有环形突部110,环形 突部IIO上并设置有两个或两个以上的呈等角度环列设置的导入孔111,且 导入孔111依循研磨定位环1的轴转方向，而在导入孔111的外缘一侧，再 延伸形成出鸿尾槽1110,使能与基部IO上的接合组件103相互卡掣，借使 基部10与研磨部11进行结合；研磨部11的第二侧面则为研磨面IIB，用 以对晶体进行研磨加工，如图2B所示。
请配合参阅图3A、图3B、图4A及图4B，其中，图3A与图3B为本 实用新型中研磨定位环装设时的剖视示意图，图4A与图4B为本实用新型 中研磨定位环装设时的局部仰视图示意图。
据由前述的结构设计，本实用新型所提供的研磨定位环1通过以下方式 而进行结合
如图3A所示，在将基部IO与研磨部ll进行结合时，将平头螺丝等接 合组件103锁设于基部10的接合孔102中，并使接合组件103顶部与接合 孔102的外缘面之间形成有适当间隙；在基部10的结合面10B与研磨部11 的结合面11A上，涂布有类如环氧树脂的粘着胶2，并使粘着胶2能够均匀 布满结合面10B的环形凹槽101与接合孔102以及结合面11A的环形突部 110与导入孔111，再借由基部10的环形凹槽101与研磨部11的环形突部 IIO相互引导对位，将基部IO与研磨部11的结合面IOB、 IIA进行贴合， 同时使研磨部11的导入孔111对应至基部IO接合孔102中的接合组件103,将接合组件103顶部伸置于导入孔111中，如图3B所示；之后如同图4A、 图4B所示，将研磨部11依轴转方向转动，使置于导入孔111中的接合组 件103顶部得以借由其与接合孔102外缘面之间的间隙，而相对滑移嵌入至 鸿尾槽1110中进行卡掣，从而完成基部10与研磨部11的结合。
请参阅图5所示，其为本实用新型的研磨定位环设置有沟槽时的示意图。
本实用新型的研磨定位环1在研磨部11的研磨面11B处，可开设有两 个或两个以上的呈放射状等距配置的沟槽112，沟槽112具有特定深度，并
且贯穿研磨部11的内外周缘，得以在研磨作业时帮助研磨液流入与晶体接 触，同时能够借以向外甩出研磨部11在研磨时所产生的磨耗废弃物。
纟宗合以上所述的结构特征，本实用新型的研磨定位环1主要利用平头螺丝 等接合组件103先行锁合设于基部10的接合孔102中，并使接合组件103顶部 与接合孔102的外缘面之间，形成有适当间隙，同时在基部IO与研磨部11的 结合面11B、 11A上涂布有类如环氧树脂的粘着胶2，再将基部lO与研磨部ll 进行贴合，并使研磨部11的导入孔111对应至基部IO接合孔102中的接合组 件103,使接合组件103顶部伸置于导入孔111中，之后将研磨基部IO依轴转 方向转动，使接合组件103顶部得相对滑移嵌入鸠尾槽1110中卡掣；据此，本 实用新型的研磨定位环1得以借由粘着胶2粘合，同时借由平头螺丝或沉孔螺 栓等接合组件103使与导入孔lll及鸠尾槽1110的卡掣作用，达到双重固定结 合的固定作用，使本实用新型的研磨定位环1的基部IO与研磨部11之间能够 形成更加稳固的结合状态，并能从而得以有效提高本实用新型的研磨定位环1 的抵抗应力的能力，减少研磨定位环变形或产生裂痕的机率，这样能够进而延 长研磨定位环的有效使用寿命，从而降低业内人士研磨加工制作的成本。
以上所述仅为本实用新型的较佳具体实施例，并非用来局限本实用新型的
专利范围，凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化，均同理 包含于本实用新型的范围内。
权利要求1、一种研磨定位环，其特征在于，其包含有基部，所述基座呈环形结构，所述基部的第一侧面为锁固面，所述锁固面上设置有定位孔；所述基部的第二侧面为结合面，所述结合面上设置有接合孔，所述接合孔接设锁固有接合组件；研磨部，所述研磨部呈环形结构，所述研磨部的第一侧面为结合面，所述结合面上设置有导入孔；所述研磨部的第二侧面为研磨面；所述基部与所述研磨部的所述结合面上，分别涂布有粘着胶，锁设于所述基部的所述接合孔的所述接合组件在所述基部与所述研磨部结合时能够卡掣于所述研磨部的所述导入孔，形成双重固定结构。
2、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述基部的所述结合 面上还形成有环形凹槽，所述接合孔设置于所述环形凹槽上；所述研磨部对应 所述基部在所述研磨部的所述结合面上还形成有环形突部，所述导入孔设置在 所述环形突部上。
3、 根据权利要求l或2所述的研磨定位环，其特征在于，所述导入孔依所 述研磨定位环的轴转方向在所述导入孔的外缘一侧延伸形成有鸠尾槽。
4、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述研磨部的所述研 磨面还开设有沟槽，所述沟槽具有特定深度并且贯穿所述研磨部的内外周缘。
5、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述接合组件为平头 螺丝。
6、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述接合组件为沉孔 螺栓。
7、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述基部的材料为不 锈钢。
8、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述基部的材料为金 属合金。
9、 根据权利要求l所述的研磨定位环，其特征在于，所述研磨部的材料为 聚苯硫醚。
10、 根据权利要求1所述的研磨定位环，其特征在于，所述研磨部的材料 为聚醚二酮。
专利摘要本实用新型公开了一种研磨定位环，主要包含基部，所述基部具有锁固面与结合面，所述结合面上形成有环形凹槽，所述环形凹槽上设置有用以接设接合组件的接合孔；研磨部，所述研磨部具有结合面与研磨面，所述结合面上形成有环形突部，所述环形突部上设置有具有鸠尾槽的导入孔；本实用新型在结合时，在基部与研磨部的结合面上分别涂布粘着胶，同时借由锁设于所述基部接合孔的接合组件，使其置于所述研磨部的所述导入孔并卡掣于所述鸠尾槽中，形成双重固定结构，使能强化所述基部与所述研磨部之间的结合，进而延长研磨定位环的使用寿命。
文档编号B24B37/34GK201249404SQ200820127370
公开日2009年6月3日 申请日期2008年7月25日 优先权日2008年7月25日
发明者黄瑞堂 申请人:孙建忠