专利名称：蒸发镀膜设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种蒸发镀膜设备，尤其涉及一种适用于有机发光器件生产的高自动 化的蒸发镀膜设备。
背景技术：
有机发光器件(0LED)因为具有平面化、高对比度、重量轻、可视度佳等特点，近年 来广受关注。典型有机发光器件的结构如三明治结构，阳极为透明的导电玻璃，具有较高的 功函数，阴极为低功函数金属，阴极与阳极之间加入一层有机发光薄膜层，在合适的工作电 压下便可发光；为了改善其性能，通常在阳极与有机发光薄膜层间加一层空穴传输层，在阴 极与有机发光薄膜层间加一层电子传输层。在有机发光器件的结构层中，阳极是以空穴导电为主的透明金属氧化膜，而阴极 则主要提供电子，空穴传输层和电子传输层之间存在势垒，分别阻挡电子和空穴逸出，即电 子传输层传输阴极注入的电子，同时将空穴载流子阻挡在发光层内，与此相反，空穴传输层 传输阳极注入的空穴，同时将电子载流子阻挡在发光层内。由于有机发光薄膜层很薄，可产 生104-105v/cm的高场，电子和空穴一旦形成了较高的注入密度，就会集中在有机发光薄膜 层中并复合形成大量的激子(即空穴-电子对)，这些激子是在界面处有机发光薄膜层一侧 很窄的区域内产生的。当激子进行复合时，其中很大一部分产生辐射而发光。在有机发光器件的生产过程中，很多结构层都依靠镀膜工艺生成，因此，镀膜技术 在有机发光器件众多膜层的形成过程中扮演着相当重要的角色，特别是较为成熟的真空蒸 发镀膜技术，在有机发光器件的形成过程中被广泛应用；所谓真空蒸发镀膜是把待镀膜的 基片或工件置于真空室内，通过加热使蒸发材料气化(或升华)而沉积到某一温度的基片 或工作表面上，从而形成一层薄膜。随着有机发光器件的寿命及发光效率等要求越来越高， 不仅要求有机发光器件的膜层均勻、组分纯净、性能稳定、无应力、附着牢固等，更要求用于 制备各种膜层的真空镀膜设备具有越来越高的自动化程度，然而，在现有的蒸发镀膜设备 中，由于无法对膜厚进行实时地检测和控制，无法得到较高质量的膜层；另外，由于需要频 繁的更换真空腔室内的蒸发材料，因此常打破真空腔体内的真空环境，进而影响膜层的质 量。因此，急需一种能实时地检测和控制膜层厚度，并能加长蒸发材料更换周期的高 自动化的蒸发镀膜设备。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能实时地检测和控制膜层厚度，并能加长蒸发材料更 换周期的高自动化的蒸发镀膜设备。为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种蒸发镀膜设备，其包括绕丝机 构、送丝机构、蒸发源机构、挡板组件及具有腔门的真空腔体，所述绕丝机构、送丝机构、蒸 发源机构及挡板组件均设置于所述真空腔体内，其中，所述绕丝机构包括绕丝转轴及缠绕蒸发丝的绕丝轮，所述绕丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述真空腔体内；所述送丝机构包 括送丝驱动机构、安装箱、传动轴及用于夹持并传送蒸发丝的送丝轮组，所述送丝驱动机构 安装于所述真空腔体外，所述安装箱安装于所述真空腔体内，所述送丝轮组安装于所述安 装箱内，所述传动轴的一端与所述送丝驱动机构连接，所述传动轴的另一端密封地穿过所 述真空腔体与所述安装箱内的送丝轮组连接，所述送丝轮组位于所述绕丝轮与所述蒸发源 机构之间，所述送丝驱动机构通过所述传动轴驱动所述送丝轮组转动，所述送丝轮组带动 被夹持的蒸发丝传送出；所述蒸发源机构包括蒸发器、电极、承载件及膜厚传感器，所述电 极通过绝缘装置固定于所述真空腔体内，所述蒸发器固定于所述电极上且与所述电极电连 接，所述蒸发器位于所述送丝机构的输出端下方，所述承载件用于承载待镀膜工件，所述承 载件与所述真空腔体固定连接且位于所述蒸发器正上方，所述承载件与所述蒸发器之间形 成蒸镀区，所述膜厚传感器设置于所述蒸镀区内；所述挡板组件包括挡板驱动机构、挡板及 旋转轴，所述挡板驱动机构安装于所述真空腔体外，所述挡板固定于所述旋转轴的一端，所 述旋转轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述挡板驱动机构连接，所述挡板设置于所 述蒸镀区内且位于所述蒸发器与所述承载件之间，所述挡板驱动机构驱动所述挡板旋转。较佳地，所述蒸发源机构还包括回收组件，所述回收组件包括接收容器、绝缘块及 冷却座，所述接收容器设置于所述蒸发器的正下方并通过所述绝缘块连接于所述冷却座 上，所述冷却座安装于所述真空腔体内；蒸镀过程中，当送丝机构传输蒸发丝的速率大于 蒸发的速率时，易使蒸发器中的蒸发物越来越多，最终溢出，接收容器用于接收溢出的蒸发 物，防止蒸发物在溢出的过程中，电流通过蒸发物流体传到真空腔体，造成蒸发器不能正常 运作或触电等事故；同时，绝缘块及冷却座一方面起绝缘作用，另一方面冷却接受容器，减 少热辐射，保证镀膜的质量。较佳地，所述送丝轮组包括主动齿轮、从动齿轮、转动轴及弹性部件，所述主动齿 轮通过所述传动轴与所述送丝驱动机构连接，所述转动轴枢接地穿过所述从动齿轮并与具 有弹性的所述弹性部件的一端固定连接，所述弹性部件的另一端与所述安装箱的内壁固定 连接，所述主动齿轮与所述从动齿轮相啮合并带动所述从动齿轮旋转，所述弹性部件给予 所述从动齿轮产生抵触所述主动齿轮的弹力，所述主动齿轮与所述从动齿轮均开有凹槽并 于所述主动齿轮与从动齿轮的啮合处形成送丝通道，所述安装箱开设有与所述送丝通道相 对的进丝孔和出丝孔；送丝机构为齿轮啮合夹送机构，利用齿轮与蒸发丝之间的摩擦力以 及两啮合齿轮间的啮合力给予蒸发丝牵引力，从而向蒸发器源源不断的传送蒸发丝；所述 弹性部件给予所述从动齿轮产生抵触所述主动齿轮的弹力，使得所述从动齿轮位置可调地 安装于所述安装箱内，并利用弹性部件来自动调节从动齿轮与主动齿轮之间的啮合程度， 从而保持蒸发丝传送时受到的夹送力一致，传送平稳。较佳地，所述弹性部件为呈片状的弹片支架，所述弹片支架包括固定部及沿固定 部的一端向外延伸形成的两平行的弹性臂，两所述弹性臂上均设有轴套，所述转动轴的两 端固定于所述轴套内；更具体地，所述弹片支架的固定部的侧端设有凸体，所述安装箱内壁 上开设有与所述凸体相配合的卡槽。凸体与卡槽配合连接使得所述弹性部件稳固的固定在 所述安装箱的内壁上，弹片支架的两弹性臂使得所述弹片支架对从动齿轮的弹力更强，而 弹性臂上设有的轴套使得所述转动轴更加稳固地固定在所述弹性部件的一端，通过弹片支 架来调整主动齿轮与从动齿轮之间的啮合力，从而改变所述送丝机构的送丝力，结构简单。
较佳地，所述送丝机构还包括导丝管，所述导丝管可拆卸的安装于所述安装箱的 出丝孔处并延伸出所述出丝孔，所述导丝管位于所述蒸发器的上方；工作时，蒸发丝在送丝 机构的送丝力作用下，从出丝孔进入导丝管，在导丝管的导向作用下将蒸发丝引入蒸发器， 所述导丝管用于防止蒸发丝传送错位或变形。较佳地，本发明蒸发镀膜设备还包括机架，所述机架包括底座及外延臂，所述外延 臂的末端开设有安装槽，所述绕丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述安装槽内，所述安装箱 安装于所述底座上；更具体地，所述底座内贯穿开设呈中空结构的冷却水循环管路并在所 述底座的表面上形成进水口和出水口，所述冷却水循环管路呈弯折状。送丝机构长时间工 作容易变热，进而使蒸发丝受热变软、变形，使传送过程中出现卡丝现象，而底座上开设的 冷却水循环管路可以起到降温作用，使送丝机构保持恒温，而弯折状的冷却水循环管路，有 效地增加了所述冷却水循环管路的长度，提高了冷却水循环管路的降温作用，进一步降低 了外部辐射热引起的送丝机构温度升高，防止蒸发丝变软、变形。较佳地，本发明蒸发镀膜设备还包括防护罩，所述防护罩围于所述蒸镀区外，所述 蒸发器与所述承载件位于所述防护罩内；防护罩根据情况设置于真空腔体内不需蒸镀且容 易被蒸镀物溅射到的位置处，或者设置于不方便清除蒸镀物的地方，减少真空腔体的污染。较佳地，本发明蒸发镀膜设备还包括设置于所述真空腔体上的观察窗及观察窗挡 板，所述观察窗挡板活动地安装于所述所述观察窗处；通过观察窗可以适时地观察真空腔 体内的蒸镀情况，在不需要观察时，利用观察窗挡板将观察窗关闭，防止观察窗被污染。较佳地，本发明蒸发镀膜设备还包括设置于真空腔体壁上的冷却水管；冷却水管 可高效率的降低真空腔体内的温度，以保持特定的蒸镀工艺温度，提高蒸镀的质量。与现有技术相比，由于本发明蒸发镀膜设备具有设置于真空腔体内的绕丝机构、 送丝机构及蒸发源机构，其中，所述绕丝机构包括绕丝转轴及缠绕蒸发丝的绕丝轮，所述绕 丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述真空腔体内；所述送丝机构包括送丝驱动机构、安装箱、 传动轴及用于夹持并传送蒸发丝的送丝轮组，所述送丝驱动机构安装于所述真空腔体外， 所述安装箱安装于所述真空腔体内，所述送丝轮组安装于所述安装箱内，所述传动轴的一 端与所述送丝驱动机构连接，所述传动轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述送丝轮 组连接，所述送丝轮组位于所述绕丝轮与所述蒸发源机构之间，所述送丝驱动机构通过所 述传动轴驱动所述送丝轮组转动，所述送丝轮组带动被夹持的蒸发丝传送出；所述蒸发源 机构包括蒸发器、电极、承载件及膜厚传感器，所述电极通过绝缘装置固定于所述真空腔体 内，所述蒸发器固定于所述电极上且与所述电极电连接，所述蒸发器位于所述送丝机构的 输出端下方，所述承载件用于承载待镀膜工件，所述承载件与所述真空腔体固定连接且位 于所述蒸发器正上方，所述承载件与所述蒸发器之间形成蒸镀区，所述膜厚传感器设置于 所述蒸镀区内；因此，蒸镀过程中，膜厚传感器适时地检测沉积于其上的膜层厚度，系统根 据膜厚传感器上的膜层厚度及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜层厚度，以便通过 沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜层厚度，使工件上的膜层厚度精确，进 而提高膜层质量；同时，绕丝机构及送丝机构设置于真空腔体内，根据实际需要将蒸发丝缠 绕于绕丝机构上，通过送丝机构将绕丝机构上的蒸发丝平稳、均勻地送到蒸发器上，延长了 蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空腔体内的真空环境，提高蒸发镀膜形 成的膜层质量；另外，系统根据膜厚传感器检测到的膜厚控制沉积于工件上的膜厚，使蒸发镀膜设备具有较高的自动化程度。
图1是本发明蒸发镀膜设备的截面结构示意图。
图2是本发明蒸发镀膜设备的蒸发源机构的结构示意图。
图3是本发明蒸发镀膜设备的送丝机构与绕丝机构配合的结构示意图。
图4是本发明蒸发镀膜设备的送丝机构的结构示意图。
图5是图4的截面结构示意图。
图6是图4的俯视结构示意图。
图7是图4中弹性部件的结构示意图
图8本发明蒸发镀膜设备的挡板关闭的状态示意图。
图9是本发明蒸发镀膜设备的使用状态示意图。
具体实施例方式现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如图1、图2所示，本发明蒸发镀膜设备1包括绕丝机构10、送丝机构20、蒸发源 机构30、挡板组件40及具有腔门的真空腔体70，真空腔体70与抽真空系统相连通，绕丝机 构10、送丝机构20、蒸发源机构30及挡板组件40均设置于所述真空腔体70内，在真空腔 体70内还设置有机架60，绕丝机构10及送丝机构20安装于机架60上；其中，绕丝机构10 包括绕丝转轴12及缠绕蒸发丝的绕丝轮11，绕丝轮11通过绕丝转轴12枢接于机架60上； 送丝机构20包括送丝驱动机构21、安装箱22、传动轴23及用于夹持并传送蒸发丝的送丝 轮组，送丝驱动机构21安装于真空腔体70外，安装箱22安装于机架60上，送丝轮组安装 于安装箱22内，传动轴23的一端与送丝驱动机构21连接，传动轴23的另一端密封地穿过 真空腔体70与安装箱22的送丝轮组连接，送丝轮组位于绕丝轮11与蒸发源机构30之间， 送丝驱动机构21通过传动轴23驱动送丝轮组转动，所述送丝轮组带动被夹持的蒸发丝传 送出；蒸发源机构30包括电极31、蒸发器32、接收容器33、膜厚传感器36及承载件37，电 极31包括电极31a、31b，电极31a、31b均通过绝缘装置固定于真空腔体70内，蒸发器32固 定于电极31a、31b上且与电极31a、31b电连接，电极31a、31b通过电极引线与外部电源电 连接，电极31a、31b保证电极引线与蒸发器32之间的良好接触，减小连接处的电阻，进而减 少连接处的发热现象，蒸发器32位于送丝机构20的输出端下方；接收容器33设置于所述 蒸发器32的下方并通过绝缘块34连接于冷却座35上，冷却座35安装于所述真空腔体70 内；承载件37用于承载待镀膜工件，承载件37与真空腔体70固定连接且位于蒸发器32正 上方，承载件37与蒸发器32之间形成蒸镀区，膜厚传感器36设置于所述蒸镀区内；蒸镀过 程中，当送丝机构20送丝的速率大于蒸发物的蒸发速率时，易使蒸发器32中的蒸发物越来 越多，最终溢出，接收容器33用于接收溢出的蒸发物，防止蒸发物在溢出的过程中，电流通 过蒸发物流体传到真空腔体70，造成蒸发器32不能正常运作或触电等事故，同时接收容器 33能更好地回收利用蒸发物；绝缘块34及冷却座35 —方面起绝缘作用，另一方面冷却接 受容器33，减少热辐射，保证镀膜的质量；挡板组件40包括挡板驱动机构41、旋转轴42及 挡板43，挡板驱动机构41安装于真空腔体70外，挡板43固定于旋转轴42的一端，旋转轴
742的另一端密封地穿过真空腔体70与挡板驱动机构41连接，挡板43设置于蒸镀区内且位 于蒸发器32与承载件37之间，挡板驱动机构41驱动挡板43旋转实现蒸发器32与待镀膜 工件之间的隔离或连通。较佳者，本发明蒸发镀膜设备1还包括防护罩50、冷却水管72、观察窗73及观察 窗挡板74，防护罩50围于所述蒸镀区外，蒸发器32与承载件37位于防护罩50内，防护罩 50用于减少蒸发物对真空腔体的污染；冷却水管72设置于真空腔体壁上，冷却水管72可 高效率的降低真空腔体70内的温度，以保持特定的蒸镀工艺温度；观察窗73设置于真空腔 体70上，观察窗挡板74活动地安装于观察窗73处，通过观察窗73可以适时地观察真空腔 体70内的蒸镀情况，在不需要观察时，利用观察窗挡板74将观察窗73关闭，防止观察窗73 被污染。如图3所示，本发明蒸发镀膜设备1的机架60包括底座61及外延臂62，机架60 的外延臂62的末端开设有呈U型的安装槽63，绕丝轮11通过绕丝转轴12枢接于安装槽63 处；送丝机构20的安装箱22安装于底座61上，安装箱22上开设有与绕丝机构10的绕丝 轮11相对应的进丝孔221，与蒸发源机构30的蒸发器32相对应的出丝孔222，送丝轮组安 装于安装箱22内并通过传动轴23与送丝驱动机构21连接，在安装箱22的出丝孔222处 向外延伸形成一个出丝管225，该出丝管225的管腔与出丝孔222相贯通，在出丝管225上 螺纹连接或者卡接有导丝管29，导丝管29可拆卸的安装于出丝管225上，导丝管29位于所 述蒸发器32的上方；工作时，在送丝轮组的作用下将蒸发丝从绕丝轮11送至蒸发器32，而 绕丝轮11围绕着绕丝转轴12自由旋转，有效的减少了阻力。较佳者，本发明机架60的底座61内还贯穿开设呈中空结构的冷却水循环管路并 在底座61的表面上形成进水口和出水口，冷却水循环管路呈弯折状。送丝机构20长时间 工作容易变热，进而使蒸发丝受热变软、变形，使传送过程中出现卡丝现象，而底座61上开 设的冷却水循环管路可以起到降温作用，使送丝机构20保持恒温，而弯折状的冷却水循环 管路，有效地增加了冷却水循环管路的长度，提高了冷却水循环管路的降温作用，进一步降 低了外部辐射热引起的送丝机构20温度升高，防止蒸发丝变软、变形。如图4-图7所示，本发明送丝机构20的送丝轮组包括主动齿轮24、从动齿轮25、 转动轴26及弹性部件27，主动齿轮24通过传动轴23与送丝驱动机构21连接，转动轴26枢 接地穿过从动齿轮25并与具有弹性的弹性部件27的一端固定连接，弹性部件27的另一端 与安装箱22的内壁223固定连接，主动齿轮24与从动齿轮25相啮合并带动从动齿轮25旋 转，弹性部件27给予从动齿轮25产生抵触主动齿轮24的弹力，主动齿轮24上开设有凹槽 281，从动齿轮25上开有凹槽282，主动齿轮24与从动齿轮25的啮合处形成送丝通道283， 送丝通道283与安装箱22上开设的进丝孔221和出丝孔222相对应；其中，弹性部件为呈 片状的弹片支架27，弹片支架27包括固定部272及沿固定部272的一端向外延伸形成的两 平行的弹性臂273，两弹性臂273上均设有轴套274，弹片支架27的固定部272的侧端还设 有凸体271，安装箱22内壁上开设有与凸体271相配合的卡槽224，，固定部272上还开设 有安装孔，安装时，一螺纹旋钮穿过固定部272上的安装孔并与安装箱22的内壁223螺纹 连接，从而将弹片支架27的固定部272固定在安装箱22的内壁223上，而固定部272的侧 端设有的凸体271与卡槽224配合连接使弹性部件27更加稳固的固定在安装箱22的内壁 223上，转动轴26的两端固定于轴套274内，使转动轴26稳固地固定在弹片支架27上，弹片支架27的两弹性臂273使其对从动齿轮25的弹力更强，通过弹片支架27调整主动齿轮 24与从动齿轮25之间的啮合力，从而改变送丝机构20的送丝力，结构简单；导丝管29可 拆卸的安装于安装箱22的出丝孔222处的出丝管225上，导丝管29的中间开设有导丝孔 291，该导丝孔291与出丝管225的管腔相贯通，导丝管29的输出口位于所述蒸发器32的上 方；工作时，送丝驱动机构21通过传动轴23驱动主动齿轮24转动，主动齿轮24与从动齿 轮25相啮合并带动从动齿轮25旋转，利用齿轮与蒸发丝之间的摩擦力以及两啮合齿轮间 的啮合力给予蒸发丝牵引力，从而向蒸发器32源源不断的传送蒸发丝；弹片支架27给予从 动齿轮25产生抵触主动齿轮24的弹力，使从动齿轮25位置可调地安装于安装箱22内，并 利用弹片支架27来自动调节从动齿轮25与主动齿轮24之间的啮合程度，从而保持蒸发丝 传送时受到的夹送力一致，传送平稳；蒸发丝在送丝机构20的送丝力作用下，从出丝孔222 进入导丝管29，在导丝管29的导向作用下将蒸发丝引入蒸发器32，导丝管29用于防止蒸 发丝传送错位或变形。如图8、图9所示，蒸发镀膜设备1在真空腔体70未抽真空之前，将蒸发丝缠绕于 绕丝轮11上，蒸发丝的缠绕量根据实际蒸镀需要而定，由于绕丝轮11没有动力源，因此，绕 丝轮11只能在送丝机构20的带动下转动；进入蒸镀工序后，挡板驱动机构41驱动挡板43 旋转，遮挡于蒸发器32的上方，将蒸发器32与承载件37隔离，待蒸镀的工件80通过传输 机构以一定速度被送入到蒸发源机构30的承载件37上，与此同时，送丝机构20的送丝驱 动机构21通过传动轴23带动主动齿轮24转动，主动齿轮24与从动齿轮25相啮合并带动 从动齿轮25旋转，利用齿轮与蒸发丝之间的摩擦力以及两啮合齿轮间的啮合力给予蒸发 丝牵引力，将蒸发丝从绕丝轮11上拽出，蒸发丝在送丝机构20的送丝力作用下，从出丝孔 222进入导丝管29，在导丝管29的导向作用下将蒸发丝引入蒸发器32 ；蒸发器32与可压紧 式电极31a、31b电连接，而两可压紧式电极31a、31b则通过电极引线与外部电源连通，当电 流流通到蒸发器32后，蒸发器32因为电阻效应产生热量，将蒸发器32中的蒸发丝加热，待 蒸发器32中的蒸发丝达到蒸发所需条件时，挡板43在挡板驱动机构41的驱动下旋转，实 现蒸发器32与待蒸镀工件80之间的连通，开始对工件80进行蒸镀，进而在工件80的表面 上形成薄膜；在蒸镀的过程中，膜厚传感器36适时检测沉积在自身上的膜层的厚度，系统 根据膜厚传感器36上的膜层厚度及一定的转换公式可得出沉积在工件80上的膜层厚度， 以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件80上的膜层厚度，使工件80上的膜 层厚度精确，进而提高膜层质量；送丝机构20的主动齿轮24与从动齿轮25相啮合并带动 从动齿轮25旋转，利用齿轮与蒸发丝之间的摩擦力以及两啮合齿轮间的啮合力给予蒸发 丝牵引力，从而向蒸发器32源源不断的传送蒸发丝，保持蒸发丝传送平稳；同时，真空腔体 70壁上的冷却水管72可高效率的降低真空腔体70内的温度，以保证蒸镀工艺的温度控制 在合理的范围内；通过真空腔体70壁上的观察窗73可适时地观察真空腔体70内的蒸镀情 况，当不需观察时，可关闭观察窗挡板74，防止观察窗73被污染；设置于真空腔体70内的 防护罩50可减小对真空腔体70内部的污染，进而提高蒸发镀膜的质量。工件80蒸镀完成 或不需要蒸镀时，挡板43在挡板驱动机构41的驱动下旋转，将蒸发器32与承载件37上的 工件80隔离。由于本发明蒸发镀膜设备1具有设置于真空腔体70内的绕丝机构10、送丝机构 20及蒸发源机构30，其中，绕丝机构10包括绕丝轮11及绕丝转轴12，绕丝轮11通过绕丝转轴12枢接于真空腔体70内；送丝机构20包括送丝驱动机构21、安装箱22、传动轴23及 用于夹持并传送蒸发丝的送丝轮组，传动轴23的一端与送丝驱动机构21连接，传动轴的另 一端23密封地穿过真空腔体70与送丝轮组连接，送丝轮组位于绕丝轮11与蒸发源机构30 之间，送丝驱动机构21通过传动轴23驱动送丝轮组转动，所述送丝轮组带动被夹持的蒸发 丝传送出；蒸发器、电极、承载件及膜厚传感器，所述电极通过绝缘装置固定于所述真空腔 体内，所述蒸发器固定于所述电极上且与所述电极电连接，蒸发源机构30包括电极31、蒸发器32、接收容器33、膜厚传感器36及承载件37， 电极31通过绝缘装置固定于真空腔体70内，蒸发器302固定于电极31上并与电机31电连 接，蒸发器32位于送丝机构20的输出端下方，承载件37用于承载待镀膜工件，承载件37与 真空腔体固定连接且位于蒸发器32正上方，承载件与蒸发器32之间形成蒸镀区，膜厚传感 器36设置于所述蒸镀区内；因此，蒸镀过程中，膜厚传感器36适时地检测沉积于其上的膜 层厚度，系统根据检测到的膜层厚度及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜层厚度， 以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜层厚度，使工件上的膜层厚度 精确，进而提高膜层质量，接收容器33用于接收溢出的蒸发物，回收利用蒸发物的同时有 效减少对真空腔体70的污染；同时，绕丝机构10及送丝机构20设置于真空腔体70内，根 据实际需要将蒸发丝缠绕于绕丝机构10上，通过送丝机构20将绕丝机构10上的蒸发丝平 稳、均勻地送到蒸发器32上，延长了蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空 腔体70内的真空环境，提高蒸发镀膜形成的膜层质量；同时，使蒸发镀膜设备1的自动化程 度进一步提高。本发明蒸发镀膜设备的送丝驱动机构、挡板驱动机构及其原理等均为本领域普通 技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利 范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种蒸发镀膜设备，包括绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构、挡板组件及具有腔门的真空腔体，所述绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件均设置于所述真空腔体内，其特征在于所述绕丝机构包括绕丝转轴及缠绕蒸发丝的绕丝轮，所述绕丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述真空腔体内；所述送丝机构包括送丝驱动机构、安装箱、传动轴及用于夹持并传送蒸发丝的送丝轮组，所述送丝驱动机构安装于所述真空腔体外，所述安装箱安装于所述真空腔体内，所述送丝轮组安装于所述安装箱内，所述传动轴的一端与所述送丝驱动机构连接，所述传动轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述安装箱内的送丝轮组连接，所述送丝轮组位于所述绕丝轮与所述蒸发源机构之间，所述送丝驱动机构通过所述传动轴驱动所述送丝轮组转动，所述送丝轮组带动被夹持的蒸发丝传送出；所述蒸发源机构包括蒸发器、电极、承载件及膜厚传感器，所述电极通过绝缘装置固定于所述真空腔体内，所述蒸发器固定于所述电极上且与所述电极电连接，所述蒸发器位于所述送丝机构的输出端下方，所述承载件用于承载待镀膜工件，所述承载件与所述真空腔体固定连接且位于所述蒸发器正上方，所述承载件与所述蒸发器之间形成蒸镀区，所述膜厚传感器设置于所述蒸镀区内；所述挡板组件包括挡板驱动机构、挡板及旋转轴，所述挡板驱动机构安装于所述真空腔体外，所述挡板固定于所述旋转轴的一端，所述旋转轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述挡板驱动机构连接，所述挡板设置于所述蒸镀区内且位于所述蒸发器与所述承载件之间，所述挡板驱动机构驱动所述挡板旋转。
2.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述蒸发源机构还包括回收组件， 所述回收组件包括接收容器、绝缘块及冷却座，所述接收容器设置于所述蒸发器的正下方 并通过所述绝缘块连接于所述冷却座上，所述冷却座安装于所述真空腔体内。
3.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述送丝轮组包括主动齿轮、从动 齿轮、转动轴及弹性部件，所述主动齿轮通过所述传动轴与所述送丝驱动机构连接，所述转 动轴枢接地穿过所述从动齿轮并与具有弹性的所述弹性部件的一端固定连接，所述弹性部 件的另一端与所述安装箱的内壁固定连接，所述主动齿轮与所述从动齿轮相啮合并带动所 述从动齿轮旋转，所述弹性部件给予所述从动齿轮产生抵触所述主动齿轮的弹力，所述主 动齿轮与所述从动齿轮均开有凹槽并于所述主动齿轮与从动齿轮的啮合处形成送丝通道， 所述安装箱开设有与所述送丝通道相对的进丝孔和出丝孔。
4.如权利要求3所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述弹性部件为呈片状的弹片支 架，所述弹片支架包括固定部及沿固定部的一端向外延伸形成的两平行的弹性臂，两所述 弹性臂上均设有轴套，所述转动轴的两端固定于所述轴套内。
5.如权利要求4所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述弹片支架的固定部的侧端设 有凸体，所述安装箱内壁上开设有与所述凸体相配合的卡槽。
6.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述送丝机构还包括导丝管，所述 导丝管可拆卸的安装于所述安装箱的出丝孔处并延伸出所述出丝孔，所述导丝管位于所述 蒸发器的上方。
7.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于还包括机架，所述机架包括底座及外延臂，所述外延臂的末端开设有安装槽，所述绕丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述安装 槽内，所述安装箱安装于所述底座上。
8.如权利要求7所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述底座内贯穿开设呈中空结构 的冷却水循环管路并在所述底座的表面上形成进水口和出水口。
9.如权利要求8所述的蒸发镀膜设备，其特征在于所述冷却水循环管路呈弯折状。
10.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于还包括防护罩，所述防护罩围于 所述蒸镀区外，所述蒸发器与所述承载件位于所述防护罩内。
11.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于还包括设置于所述真空腔体上的 观察窗及观察窗挡板，所述观察窗挡板活动地安装于所述观察窗处。
12.如权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于还包括设置于真空腔体壁上的冷 却水管。
全文摘要
本发明公开了一种蒸发镀膜设备，其包括设置于真空腔体内的绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件，其中，蒸发源机构包括电极、膜厚传感器及固定于电极上的蒸发器，蒸镀过程中，膜厚传感器适时地检测沉积于其上的膜厚，系统根据检测到的膜厚及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜厚，以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜厚，使工件上的膜厚精确，进而提高膜层质量；根据实际需要将蒸发丝缠绕于绕丝机构上，通过送丝机构将蒸发丝平稳、均匀地送到蒸发器上，延长了蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空腔体内的真空环境，提高蒸发镀膜形成的膜层质量；使蒸发镀膜设备具有较高的自动化程度。
文档编号C23C14/24GK101876056SQ20101013195
公开日2010年11月3日 申请日期2010年3月23日 优先权日2010年3月23日
发明者刘惠森, 叶宗峰, 张华 , 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司