专利名称：镀膜机蒸发夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种蒸发夹具，尤其是一种镀膜机蒸发夹具，适用于BAK760镀膜 机。
背景技术：
原有的BAK760镀膜机真空室中的蒸发夹具存在以下缺点1、球面不够标准，2、盘 面直径较真空室而言，尚有空间未利用，因此一次镀膜产量较低，使用寿命低。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术之不足而提供一种结构简单、缩短工时、节 约生产成本、节约人力消耗的镀膜机蒸发夹具。本实用新型的目的通过下述技术方案予以实现一种镀膜机蒸发夹具，包括底板和设置在底板上的、固定基片的挡板，所述底板的 直径为738-742mm，所述挡板均勻分布在所述底板上。采用上述结构，将底板直径扩大至740mm，同时增加了相应的挡板，使5英寸基片 的由原来的14片/批，增加到16 17片/批，4英寸的基片由原来的22片/批，增加到26 片/批，大大提高了生产效率；选用优质的Crl8M9Ti不锈钢材料，按照标准的球面加工，并 进行喷沙处理，增强夹具的耐腐蚀能力和刚性，延长使用寿命；对真空室内的各个部件的尺 寸标准重新进行调整，适应新尺寸的底板，使得镀膜均勻。综上所述，所述实用新型一种镀膜机蒸发夹具具有结构简单、缩短工时、节约生产 成本、节约人力消耗等优点，适合于工业生产。
图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型转盘的结构示意图。图3为本实用新型转盘的支撑板和支杆连接的结构示意图。图4为真空室的结构示意图。图5为真空室的俯视图。附图1-5中1一转盘、2—支杆、3—底板、4一石英晶振、5—蒸发源、6—真空室、 7-支撑板、8—挂钩、9一挡板。
具体实施方式
以下结合附图，来详细说明镀膜机蒸发夹具的具体实施方式
。如图1-5所示，一种镀膜机蒸发夹具，包括底板3和设置在底板3上的、固定基片 的挡板9，所述底板3的直径为738-742mm，所述挡板9均勻分布在所述底板3上。所述底 板3为反拱圆弧形。[0016] 所述底板3安装在真空室6内顶部，所述真空室6内顶部固定有转盘1，所述转盘 1上固接有均勻分布在转盘1的圆周上的支撑板7，所述支撑板7上铰接有支杆2，所述支 杆2的一端设置有挂钩8，另一端伸出铰接点卡装在支撑板7下方，所述底板3卡装在支杆 2的挂钩8上，在真空室6内还安装有石英晶振4和蒸发源5，如图4所示，底板3圆弧的高 度A = 25mm,底板3到真空室6地面的垂直距离B = 715mm,底板3的直径C = 740mm,蒸发 源5离真空室6地面的距离D = 180mm,蒸发源5离真空室6墙体的距离E = 350mm,蒸发 源5离真空室6另一侧墙体长度F = 140mm,石英晶振4离蒸发源的直线距离G = 560mm, 所述底板3、挡板9、支杆2由Crl8Ni9Ti不锈钢材料制作。
权利要求一种镀膜机蒸发夹具，包括底板(3)和设置在底板(3)上的、固定基片的挡板(9)，其特征在于所述挡板(9)均匀分布在所述底板(3)上，所述底板(3)为反拱圆弧形，所述底板(3)的直径为738 742mm。
专利摘要一种镀膜机蒸发夹具，包括底板和设置在底板上的、固定基片的挡板，所述底板的直径为738-742mm，所述挡板均匀分布在所述底板上，本实用新型具有结构简单、缩短工时、节约生产成本、节约人力消耗等优点，适合于工业生产。
文档编号C23C14/56GK201648517SQ20102030145
公开日2010年11月24日 申请日期2010年1月25日 优先权日2010年1月25日
发明者刘益民, 刘长青, 陈保国 申请人:长沙韶光铬版有限公司