用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及电阻检测领域，具体地，涉及用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在 线检测装置。
【背景技术】
[0002] 真空卷绕镀膜是应用物理气相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术，其最大 特点就是可以连续卷对卷进行镀膜。
[0003] 在柔性薄膜上镀制金属膜层时，需要实时检测膜层厚度来确保产品的质量，但是 由于直接在线检测膜层的厚度比较困难，所以可以通过测量膜层电阻来间接测量膜层厚 度。此外，在镀制类似ITO的导电膜层时，一般要求在线检测其膜层的阻值，以实时地调节 工艺参数。若是镀制膜层的过程中无法直接或是间接地检测膜层的厚度，将要停机恢复大 气压后方可对膜层厚度进行检测，耗时较长。若是在设备内引入一套在线电阻检测装置，就 可以在镀制膜层时实时监测。
[0004] 因此，设计了一套真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置。
【发明内容】
[0005] 针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种用于真空卷绕镀膜设备上的膜 层电阻在线检测装置。
[0006] 根据本发明提供的用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置，包括：接 触铜辊、压接引线装置、穿舱密封接插件、电阻测量仪，其中，所述接触铜辊与压接引线装置 相连，接触铜辊用于测量膜层的电阻值，并依次通过压接引线装置、穿舱密封接插件将测得 的膜层电阻值传输至电阻测量仪，所述电阻测量仪能够对膜层的电阻值进行实时在线监 测 。
[0007] 优选地，所述接触铜辊的数量至少为两根，分别记为：接触铜辊A、接触铜辊B ;所 述压接引线装置包括：压接引线装置A、压接引线装置B ;所述压接引线装置A的测试端连 接接触铜辊A，所述压接引线装置B的测试端链接接触铜辊B，且所述压接引线装置A、压接 引线装置B的输出端分别通过导线与穿舱密封接插件后连接至电阻测量仪。
[0008] 优选地，所述接触铜辊包括：铜辊和安装架，其中，所述铜辊包括：轴用弹性挡圈、 轴承、铜辊绝缘四氟套、铜套、主辊；所述轴承设置在所述主辊的两端上，所述铜套呈空心柱 状，且所述铜套以所述主辊为轴心围住所述主辊和轴承；所述轴承与铜套的内壁之间设置 有铜辊绝缘四氟套，所述主辊的两端端面上还设有轴用弹性挡圈。
[0009] 优选地，所述压接引线装置包括：压头组件、安装架，其中，所述压头组件包括：紫 铜头、安装块、螺丝帽、内六角螺钉、弹簧；所述安装块为空心柱状，且所述安装块的空心区 域内设有六角螺钉、弹簧、以及部分紫铜头和部分螺丝帽；所述紫铜头的一端伸出安装块的 一端，所述螺丝帽伸出安装块的另一端；所述紫铜头的一端构成所述压接引线装置的测试 端，所述紫铜头的另一端通过内六角螺钉与导线的一端相连，所述导线的另一端经过螺丝 帽的通孔连接至穿舱密封接插件，所述螺丝帽与内六角螺钉之间设置有弹簧，所述弹簧穿 在导线上。
[0010] 优选地，所述压接引线装置还包括：压头组件绝缘四氟套、四氟块，所述压头组件 绝缘四氟套设置在安装块内壁与紫铜头之间；所述四氟块设置在内六角螺钉与安装块内壁 之间。
[0011] 优选地，所述电阻测量仪设有远程通信模块，所述远程通信模块与计算机相连，实 现了膜层电阻值的实时检测。
[0012] 与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：
[0013] 1、本发明中的装置能够直接在设备上安装使用，组装方法简单，测量精度好。
[0014] 2、本发明中的装置中的电阻测量仪设有远程通信模块，所述远程通信模块与计算 机相连，实现了膜层电阻值的实时检测。
[0015] 3、本发明中的装置通过接触铜辊与膜层充分接触，实现检测装置与膜层的接触， 铜辊内部使用聚四氟乙烯实现接触铜套与真空容器的绝缘，从而能够确保证测量的准确 性。
【附图说明】
[0016] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、 目的和优点将会变得更明显：
[0017] 图1为本发明提供的用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置的结构 示意图；
[0018] 图2为本发明提供的用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置中的铜 辊结构示意图；
[0019] 图3为本发明提供的用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置中的压 头组件结构示意图。
[0020] 图中：
[0021] 1-接触铜辊A;
[0022] 2-压接引线装置A ;
[0023] 3-接触铜辊B ;
[0024] 4-压接引线装置B ;
[0025] 5_ 导线；
[0026] 6-穿舱密封接插件；
[0027] 7-电阻测量仪；
[0028] 8-轴用弹性挡圈；
[0029] 9-轴承；
[0030] 10-铜辊绝缘四氟套；
[0031] 11-铜套；
[0032] 12-主辊；
[0033] 13-紫铜头；
[0034] 14-压头组件绝缘四氟套；
[0035] 15-安装块；
[0036] 16-螺丝帽；
[0037] 17-内六角螺钉；
[0038] 18-四氟块；
[0039] 19-弹簧。
【具体实施方式】
[0040] 下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术 人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术 人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明 的保护范围。
[0041] 根据本发明提供的用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置，包括：接 触铜辊、压接引线装置、穿舱密封接插件6、电阻测量仪7,其中，所述接触铜辊与压接引线 装置相连，接触铜辊用于测量膜层的电阻值，并依次通过压接引线装置、穿舱密封接插件6 将测得的膜层电阻值传输至电阻测量仪7,所述电阻测量仪7能够对膜层的电阻值进行实 时在线监测。
[0042] 针对真空卷绕镀膜设备上需要在线检测膜层电阻，提供一套简易的膜层电阻在线 检测装置，以提高卷绕镀膜的膜层质量。
[0043] 本发明所述的真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置是一种可在卷绕镀 膜设备镀膜时实时在线检测膜层电阻的装置。该装置与膜层充分接触，并与真空容器绝缘， 以确保测量的准确性，并通过穿舱密封接插件6把测量值引到运程电阻测量仪7上，以实现 远程实时监测。该膜层电阻在线检测装置主要由：接触铜辊、压接引线装置、导线、穿舱密封 接插件6、电阻测量仪7等部件组成。
[0044] 所述接触铜辊包括：接触铜辊AU接触铜辊B2 ;所述压接引线装置包括：压接引线 装置A2、压接引线装置M ;所述压接引线装置A2的测试端连接接触铜辊A1，所述压接引线 装置M的测试端链接接触铜辊B2,且所述压接引线装置A2、压接引线装置M的另一端分 别通过导线与穿舱密封接插件6后连接至电阻测量仪7。
[0045] 所述接触铜辊包括：铜辊和安装架，其中，所述铜辊包括：轴用弹性挡圈8、轴承9、 铜辊绝缘四氟套10、铜套11、主辊12 ;所述轴承9设置在所述主辊12的两端上，所述铜套 11呈空心柱状，且所述铜套11以所述主辊12为轴心围住所述主辊12和轴承9 ;所述轴承 9与铜套11的内壁之间设置有铜辊绝缘四氟套10,所述主辊12的两端端面上还设有轴用 弹性挡圈8。
[0046] 具体地，如图1所示，膜层电阻在线检测装置主要由2套接触铜辊、2套压接引线装 置、导线、穿舱接插件以及电阻测量仪等组成。
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