镀膜抑弧电箱的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及镀膜装置领域，特别涉及一种镀膜抑弧电箱。
【背景技术】
[0002]溅射镀膜的操作过程是，在真空条件下，用带有正电荷的粒子轰击带有负电荷的阴极靶材表面，使靶材表面溅射出原子或者分子，这些从靶材表面溅射出的粒子沉积在基板上形成薄膜。
[0003]然而，镀膜交流电源在旋转靶材工作时正负极在靶材上时交替运行的，当镀膜玻璃经过平面靶及旋转靶靶材下方时，旋转靶下方的玻璃表面会产生高电压，电荷会通过玻璃膜层向平面靶低电压区域移而导致放电，造成玻璃膜面的烧伤。
[0004]为了克服上述问题，一般会采用两种方法进行解决:第一，降低靶材的使用功率，从而减慢溅射速度，但是这种方式生产效率较低，且只能减少放电次数，不能实质性地避免放电现象；第二，生产大板镀膜玻璃放电时，手动打磨玻璃边缘，降低放电几率，也是治标不治本，且在生产钢化玻璃及夹层镀膜玻璃放电时无法进行有效地处理，被灼伤的玻璃只能作报废处理，极大地浪费了生产成本。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术在玻璃镀膜过程中，易发生玻璃膜面被灼伤的不足，提供一种工作效率高，能够避免发生玻璃膜面被灼伤的镀膜抑弧电箱。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种镀膜抑弧电箱，包括交流电源和两个高频降压组件，两个高频降压组件的输入端分别与交流电源的正极和负极电连接，两个高频降压组件的输出端均与地线电连接，所述高频降压组件包括若干相互串联的高频降压部，所述高频降压部包括相互并联的高频部和单向导通部，所述高频部包括相互并联的电容和电阻，所述单向导通部包括两个并联的二极管，单向导通部的两个二极管导通方向相同。
[0007]为了便于降压，所述阴极靶材与交流电源的正极电连接。
[0008]为了保证装置工作的持续性和可靠性，防止因为单个元件损坏而使得整个电路瘫痪，所述高频降压组件包括四个高频降压部。
[0009]本实用新型的有益效果是，该镀膜抑弧电箱利用二极管的单向导通原理，通过二极管将高电动势引出接地，从而使得双筒旋转靶的电动势将至与平面靶的电动势相同，使得玻璃表面电压相近，减少电荷的相对流动，抑制放电现象的产生，在不降低生产速度的情况下，避免了玻璃膜面的被灼伤的现象。
【附图说明】
[0010]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0011]图1是本实用新型的镀膜抑弧电箱的结构示意图；
[0012]图2是本实用新型的镀膜抑弧电箱的电路图；
[0013]图中:1.高频降压部。
【具体实施方式】
[0014]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0015]如图1和图2所示，一种镀膜抑弧电箱，包括交流电源和两个高频降压组件，两个高频降压组件的输入端分别与交流电源的正极和负极电连接，两个高频降压组件的输出端均与地线电连接，所述高频降压组件包括若干相互串联的高频降压部1，所述高频降压部I包括相互并联的高频部和单向导通部，所述高频部包括相互并联的电容和电阻，所述单向导通部包括两个并联的二极管，单向导通部的两个二极管导通方向相同。
[0016]为了便于降压，所述阴极靶材与交流电源的正极电连接。
[0017]为了保证装置工作的持续性和可靠性，防止因为单个元件损坏而使得整个电路瘫痪，所述高频降压组件包括四个高频降压部I。
[0018]事实上，该镀膜抑弧电箱内部的电路分为两部分，主要是为了匹配旋转靶桶，因为旋转靶的在工作时是正负极交替运行的，当旋转靶桶的A端为正，B端为负时，则A靶桶所接的与交流电源正极连接的高频降压组件导通，从而使得A靶桶与大地导通，玻璃表面的电压被瞬间吸收；当旋转靶A、B两端的极性转换，B端为正，A端为负，从而使得B靶桶所接的与交流电源负极连接的高频降压组件导通，则B靶桶与大地导通，玻璃表面的电压被瞬间吸收，从而实现旋转靶在旋转过程中，旋转靶下玻璃表面的电动势与平面靶相近。
[0019]在高频降压组件内设置二极管，主要是利用二极管的单向导通原理，在降压电路中并联电容，主要是为了给电容提供泄放通路，而在电容两端并联电阻，电阻实际上起到的也是泄放电阻的功能，以便于停止工作后，泄放掉电容两端存储的电能；而且旋转靶的正负极是交替运行的，容易在电路中产生瞬时脉冲，因为电容有阻低频通高频的作用，所以能够对电路中的瞬时升压或降压进行缓冲，防止元器件被击穿。
[0020]同一高频降压组件内设置四个高频降压部1，能够防止其中一个高频降压部I失效而导致整个电路瘫痪，能够保证电路工作的持续性和稳定性。
[0021]与现有技术相比，该镀膜抑弧电箱利用二极管的单向导通原理，通过二极管将高电动势引出接地，从而使得双筒旋转靶的电动势将至与平面靶的电动势相同，使得玻璃表面电压相近，减少电荷的相对流动，抑制放电现象的产生，在不降低生产速度的情况下，避免了玻璃膜面的被灼伤的现象。
[0022]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种镀膜抑弧电箱，其特征在于，包括交流电源和两个高频降压组件，两个高频降压组件的输入端分别与交流电源的正极和负极电连接，两个高频降压组件的输出端均与地线电连接，所述高频降压组件包括若干相互串联的高频降压部(I)，所述高频降压部(I)包括相互并联的高频部和单向导通部，所述高频部包括相互并联的电容和电阻，所述单向导通部包括两个并联的二极管，单向导通部的两个二极管导通方向相同。
2.如权利要求1所述的镀膜抑弧电箱，其特征在于，所述高频降压组件包括四个高频降压部(I)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种镀膜抑弧电箱，包括交流电源和两个高频降压组件，两个高频降压组件的输入端分别与交流电源的正极和负极电连接，两个高频降压组件的输出端均与地线电连接，高频降压组件包括若干相互串联的高频降压部，高频降压部包括相互并联的高频部和单向导通部，高频部包括相互并联的电容和电阻，单向导通部包括两个并联的二极管，单向导通部的两个二极管导通方向相同。该镀膜抑弧电箱利用二极管的单向导通原理，通过二极管将高电动势引出接地，从而使得双筒旋转靶的电动势将至与平面靶的电动势相同，使得玻璃表面电压相近，减少电荷的相对流动，抑制放电现象的产生，在不降低生产速度的情况下，避免了玻璃膜面的被灼伤的现象。
【IPC分类】C23C14-34
【公开号】CN204417580
【申请号】CN201520019606
【发明人】余华骏, 江亮, 胡勇
【申请人】咸宁南玻节能玻璃有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年1月13日