智能等离子体蒸发镀膜机的制作方法
【专利摘要】本申请提供了一种智能等离子体蒸发镀膜机，针对现有真空镀膜机操作复杂、人工成本过高、镀膜质量差异不一的问题，本申请提供的智能等离子体蒸发镀膜机的智能控制装置分别与气体流速控制装置、变频调速装置和镀膜真空室装置连接，通过智能控制装置控制镀膜机的气体进入速度、工装装置的基座转动速率和温度调控，本实用新型的智能等离子体蒸发镀膜机可实现智能化生产、降低生产成本及提高镀膜质量。
【专利说明】
智能等离子体蒸发镀膜机
技术领域
[0001]本申请涉及一种真空镀膜机，特别涉及一种智能等离子体蒸发镀膜机。
【背景技术】
[0002]随着人工智能的发展，智能化的仪器仪表在我们的生活中起到越来越大的作用，现在市场上的等离子体镀膜机多数采用人工操作方法，在操作过程中，由于不同人员的操作习惯，使得制模差异性较大，而且由于真空室体内等离子体分布得可能不是很均匀，使得工件支架上的膜层质量存在一定差异；同时，由于需要人工操作，操作复杂，而且人工成本较高，给企业造成较大的负担，因此，有必要提供一种智能控制镀膜，有效解决现在人工成本过高、镀膜质量差异不一的等离子体真空镀膜机。
【实用新型内容】
[0003]本申请针对现有真空镀膜机操作复杂、人工成本过高、镀膜质量差异不一的问题，提供了一种能实现智能化生产、降低生产成本、提高镀膜质量的智能等离子体蒸发镀膜机。
[0004]本申请的技术方案为:一种智能等离子体蒸发镀膜机，包括镀膜装置、工装装置、等离子体源装置、蒸发源装置和智能控制装置;镀膜装置包括镀膜真空室装置、气体流速控制装置和栗组;工装装置包括行星工件装置和变频调速装置;等离子体源装置包括射频等离子体电源装置、匹配箱和射频天线;蒸发源装置包括蒸发电源装置、蒸发源电极和加热组件;镀膜真空室装置分别与气体流速控制装置和栗组连接;行星工件装置设置在镀膜真空室装置内，与变频调速装置连接;射频等离子体电源装置通过镀膜真空室装置的导线与行星工件装置连接;匹配箱通过镀膜真空室装置的导线与行星工件装置连接;射频天线固装在行星工件装置上，至少两个蒸发源电极装在镀膜真空室体的中间，至少两个蒸发源电极之间沿纵向设置有一组水平放置的加热组件，加热组件的两端与蒸发源电极连接;蒸发电源装置与蒸发源电极组两端连接；智能控制装置分别与气体流速控制装置、变频调速装置和镀膜真空室装置连接。
[0005]优选的，行星工件装置包括周向旋转的基座，若干片工件片及转动轴，基座的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，基座上设置有若干相互独立的第二通孔，且个第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，转动轴通过设置在镀膜真空室装置外面的导线与匹配箱和射频等离子体电源装置连接。
[0006]优选的，加热组件由一组电热丝组成，电热丝的两端与蒸发源电极连接，电热丝内放置有用于导热金属条或金属板材。
[0007]优选的，加热组件还包括用于控制加热组件温度的智能温控装置，智能温控装置分别与智能控制装置和加热组件的两端连接。
[0008]优选的，栗组由包括机械栗、罗茨栗和分子栗，其中，机械栗包括第一机械栗和第二机械栗，分子栗包括主分子栗和辅助分子栗;第一机械栗、罗茨栗和镀膜真空室装置通过管道顺序连接形成一条由栗体通向镀膜真空室装置内腔的气路，第二机械栗、分子栗和镀膜真空室装置顺序连接形成另一条由栗体通向镀膜真空室装置内腔的气路。
[0009]优选的，气体流速控制装置由多路气体控制装置组成。
[0010]优选的，其还包括与多路气体控制装置配合连接使用的多路进气装置。
[0011]优选的，智能控制装置包括PLC智能控制装置和人机触控装置，PLC智能控制装置分别与人机触控装置、镀膜真空室装置、气体流速控制装置、变频调速控制装置、智能温控装置连接。
[0012]优选的，其还包括用于对异常情况进行报警，并执行相应保护措施的警示保护装置，警示保护装置分别与镀膜真空室装置110、变频调速装置、智能温控装置和PLC智能控制装置连接。
[0013]优选的，其还包括用于校准系统参数的校准装置，校准装置分别与警示保护装置、镀膜真空室装置、变频调速装置、智能温控装置和PLC智能控制装置连接。
[0014]本申请的有益效果是:本申请提供了一种智能等离子体蒸发镀膜机，包括镀膜装置、工装装置、等离子体源装置、蒸发源装置和智能控制装置;镀膜装置包括镀膜真空室装置、气体流速控制装置和栗组;工装装置包括行星工件装置和变频调速装置;等离子体源装置包括射频等离子体电源装置、匹配箱和射频天线;蒸发源装置包括蒸发电源装置、蒸发源电极和加热组件;镀膜真空室装置分别与气体流速控制装置和栗组连接;行星工件装置设置在镀膜真空室装置内，与变频调速装置连接;射频等离子体电源装置通过镀膜真空室装置的导线与行星工件装置连接；匹配箱通过镀膜真空室装置的导线与行星工件装置连接；射频天线固装在行星工件装置上，至少两个蒸发源电极装在镀膜真空室体的中间，至少两个蒸发源电极之间沿纵向设置有一组水平放置的加热组件，加热组件的两端与蒸发源电极连接;蒸发电源装置与蒸发源电极组两端连接;智能控制装置分别与气体流速控制装置、变频调速装置和镀膜真空室装置连接。本申请解决了现有真空镀膜机操作复杂、人工成本过高、镀膜质量差异不一的问题，提供了一种智能等离子体蒸发镀膜机，通过智能控制装置控制镀膜机的气体进入速度、工装装置的基座转动速率和温度调控，提供了一种实现了智能化控制生产，降低生产成本，并提高镀膜质量的真空镀膜机。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例提供的智能等离子体蒸发镀膜机的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0017]实施例1
[0018]一种智能等离子体蒸发镀膜机，包括镀膜装置100、工装装置200、等离子体源装置300、蒸发源装置400和智能控制装置500;镀膜装置100包括镀膜真空室装置110、气体流速控制装置120和栗组130;工装装置200包括行星工件装置210和变频调速装置220;等离子体源装置300包括射频等离子体电源装置310、匹配箱320和射频天线330;蒸发源装置400包括蒸发电源装置410、蒸发源电极420和加热组件430;镀膜真空室装置110分别与气体流速控制装置120和栗组130连接;行星工件装置210设置在镀膜真空室装置110内，与变频调速装置220连接;射频等离子体电源装置310通过镀膜真空室装置110的导线与行星工件装置210连接;匹配箱320通过镀膜真空室装置110的导线与行星工件装置210连接;射频天线330固装在行星工件装置210上，至少两个蒸发源电极420装在镀膜真空室装置110室体的中间，至少两个蒸发源电极420之间沿纵向设置有一组水平放置的加热组件430，加热组件430的两端与蒸发源电极420连接；蒸发电源装置410与蒸发源电极420组两端连接；智能控制装置500分别与气体流速控制装置120、变频调速装置220和镀膜真空室装置110连接;气体流速控制装置上装有进气管。
[0019]实施例二
[0020]基于实施例一的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施方式中，其中，行星工件装置210包括周向旋转的基座，若干片工件片及转动轴，基座的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，基座上设置有若干相互独立的第二通孔，且个第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，转动轴通过设置在镀膜真空室装置110外面的导线与匹配箱320和射频等离子体电源装置310连接;工件片在转动轴的驱动下，会沿竖直方向转动，从而带动被镀膜物业会竖直方向转动，在配合轴向转动的基座，从而实现了被镀膜物空间上的旋转，大大提高了镀膜效果。
[0021 ] 实施例三
[0022]基于实施例二的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施方式中，其中，加热组件430由一组电热丝组成，电热丝的两端与蒸发源电极420连接，电热丝内放置有金属条或金属板材;加热组件430还包括用于控制加热组件430温度的智能温控装置，智能温控装置分别与智能控制装置500和加热组件430的两端连接，用于实现智能控制加热组件的温度调控。
[0023]实施例四
[0024]基于实施例三的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施方式中，其中，栗组130由包括机械栗、罗茨栗和分子栗，其中，机械栗包括第一机械栗和第二机械栗，分子栗包括主分子栗和辅助分子栗;第一机械栗、罗茨栗和镀膜真空室装置110通过管道顺序连接形成一条由栗体通向镀膜真空室装置110内腔的气路，第二机械栗、分子栗和镀膜真空室装置110顺序连接形成另一条由栗体通向镀膜真空室装置110内腔的气路;本实施例中采用分子栗可节省空间，降低耗能，减少了对环境的污染，而且具有较高的抽真空工作效率，实现稳定性强、真空度极限高并且污染小的抽真空工作。
[0025]实施例五
[0026]基于实施例四的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施例中，其中，气体流速控制装置由多路气体控制装置组成，还包括与多路气体控制装置配合连接使用的多路进气装置，多路气体控制装置与多路进气装置用于控制镀膜真空室体的气压，配合栗组工作，提高抽真空的工作效率，增强镀膜的效果。
[0027]实施例六
[0028]基于实施例五的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施例中，其中，智能控制装置500包括PLC智能控制装置和人机触控装置，PLC智能控制装置分别与人机触控装置、镀膜真空室装置110、气体流速控制装置、变频调速控制装置、智能温控装置连;本实施例中人机触控装置为HMI全彩人机触控界面，采用人机交互的智能控制模式，实现逻辑全自动控制。
[0029]实施例七
[0030]基于实施例六的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施例中，还包括用于对异常情况进行报警，并执行相应保护措施的警示保护装置，警示保护装置分别与镀膜真空室装置110、变频调速装置、智能温控装置和PLC智能控制装置连接;当上述镀膜真空室装置110、变频调速装置、智能温控装置和PLC智能控制装置发生异常情况时，警示保护装置发出警报提醒人们关注镀膜机工作情况，并执行相应保护措施，提高了仪器的工作效率及有效防止了镀膜质量不一的情况出现。
[0031 ]实施例八
[0032]基于实施例七的另一种智能等离子体镀膜机，在本实施例中，还包括用于校准系统参数的校准装置，校准装置分别与警示保护装置、镀膜真空室装置110变频调速装置220、智能温控装置和PLC智能控制装置连接。
[0033]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，包括镀膜装置、工装装置、等离子体源装置、蒸发源装置和智能控制装置;所述镀膜装置包括镀膜真空室装置、气体流速控制装置和栗组;所述工装装置包括行星工件装置和变频调速装置;所述等离子体源装置包括射频等离子体电源装置、匹配箱和射频天线;所述蒸发源装置包括蒸发电源装置、蒸发源电极和加热组件;所述镀膜真空室装置分别与所述气体流速控制装置和所述栗组连接;所述行星工件装置设置在所述镀膜真空室装置内，与所述变频调速装置连接;所述射频等离子体电源装置通过所述镀膜真空室装置的导线与所述行星工件装置连接;所述匹配箱通过所述镀膜真空室装置的导线与所述行星工件装置连接;所述射频天线固装在所述行星工件装置上，至少两个所述蒸发源电极装在所述镀膜真空室体的中间，至少两个所述蒸发源电极之间沿纵向设置有一组水平放置的加热组件，所述加热组件的两端与所述蒸发源电极连接；所述蒸发电源装置与所述蒸发源电极组两端连接;所述智能控制装置分别与所述气体流速控制装置、所述变频调速装置和所述镀膜真空室装置连接。2.根据权利要求1所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述行星工件装置包括周向旋转的基座，若干片工件片及转动轴，所述基座的中心设置有第一通孔，所述转动轴从所述第一通孔穿过，所述基座上设置有若干相互独立的第二通孔，且所述第二通孔绕所述第一通孔周向分布，所述各工件片位于相应的所述第二通孔内，且所述各工件片可绕所述第二通孔旋转，所述转动轴上套设有第一斜齿轮，所述各工件片上设置有与所述第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，所述转动轴通过设置在所述镀膜真空室装置外面的导线与所述匹配箱和所述射频等离子体电源装置连接。3.根据权利要求2所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述加热组件由一组电热丝组成，所述电热丝的两端与所述蒸发源电极连接，所述电热丝内放置有用于导热的金属条或金属板材。4.根据权利要求3所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述加热组件还包括用于控制加热组件温度的智能温控装置，所述智能温控装置分别与所述智能控制装置和所述加热组件的两端连接。5.根据权利要求4所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述栗组由包括机械栗、罗茨栗和分子栗，其中，所述机械栗包括第一机械栗和第二机械栗，所述分子栗包括主分子栗和辅助分子栗;所述第一机械栗、所述罗茨栗和所述镀膜真空室装置通过管道顺序连接形成一条由栗体通向所述镀膜真空室装置内腔的气路，所述第二机械栗、所述分子栗和所述镀膜真空室装置顺序连接形成另一条由栗体通向所述镀膜真空室装置内腔的气路。6.根据权利要求5所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述气体流速控制装置由多路气体控制装置组成。7.根据权利要求6所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，还包括与所述多路气体控制装置配合连接使用的多路进气装置。8.根据权利要求7所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，所述智能控制装置包括PLC智能控制装置和人机触控装置，所述PLC智能控制装置分别与所述人机触控装置、所述镀膜真空室装置、所述气体流速控制装置、所述变频调速控制装置、所述智能温控装置连接。9.根据权利要求8所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，还包括用于对异常情况进行报警，并执行相应保护措施的警示保护装置，所述警示保护装置分别与所述镀膜真空室装置、所述变频调速装置、所述智能温控装置和所述PLC智能控制装置连接。10.根据权利要求9所述的智能等离子体蒸发镀膜机，其特征在于，还包括用于校准系统参数的校准装置，所述校准装置分别与所述警示保护装置、所述镀膜真空室装置、所述变频调速装置、所述智能温控装置和所述PLC智能控制装置连接。
【文档编号】C23C14/24GK205603663SQ201620254636
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年3月30日
【发明人】李香菊
【申请人】深圳市东信高科自动化设备有限公司