专利名称：一种真空钛离子泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空电子技术领域，具体地指ー种真空钛离子泵。
背景技术：
钛泵广泛应用于真空器件和真空系统中，目前现有的钛离子泵主要有两种方形泵和圆形泵。其中方形泵虽然有焊接牢固的优点，但是加上钛泵磁铁，总体积较大，空间有限时难以应用；而圆形钛泵阳极采用多个圆筒点焊方式由中心圆、外圆及多个支撑圆组成，这种结构的焊接，圆筒与圆筒的接触实际上是线接触，依靠点焊并不能保证连接的强度，多个圆筒相互点焊，在受热或震动的情况下，可能会造成其中有些连接失效。另外圆形阳极筒与阳极引线之间弧面点焊也不方便，如果阳极和阳极引线焊接不牢，可能会形成阳极与阴极之间的短路，或者阳极组件脱落不工作，从而直接造成真空器件的返修或报废；所以目前现有的钛离子泵均不同程度的存在结构笨重、抽速低和焊接不牢等缺点。
实用新型内容本实用新型的目的就是要提供一种体积小，结构简单，焊接牢固、工作稳定、寿命长并且具有较高抽速的真空钛离子泵。为实现上述目的，本实用新型所设计的ー种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板7、阴极外壳3、阳极引线I和芯柱保护筒10构成，阳极组件和阳极引线I的下端螺纹相连，阴极板7、阴极外壳3通过阴极接头2和芯柱保护筒10的下端焊接相连，阳极组件和阴极板7设于阴极外壳3内，阳极引线I设于芯柱保护筒10内，其特征在于所述的阳极组件包括八边形的阳极外框6和两片呈90°的阳极骨架9，阳极外框6和阳极骨架9连接。所述的阳极引线I的上端为L16插针或插孔，所述的芯柱保护筒10下端和阴极接头连接，上端具有电缆插头外螺纹4，以便和外接高压接头连接；为了提高绝缘性能，所述的阳极引线I的瓷封件12外套有硅胶套11 ;此外，所述的阳极外框6及阳极骨架9厚度均为0. 3-0. 4mm ;所述的阴极板7为圆形面的钛合金。本实用新型的优点在于所设计的真空钛离子泵采用了芯柱保护筒和硅胶套，使安全性能得到了加强，采用八边形阳极外框和两个阳极骨架，使得结构稳定，同吋，两个阳极骨架也増加了阳极有效作用面积，提高了钛离子泵的抽速，因此本实用新型适用于各种需要維持高真空的器件和系统。
图I为真空钛离子泵的正面1/2剖视图；图2为真空钛离子泵的侧面1/2剖视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进ー步的详细描述，如图I和图2所示，钛离子泵阳极组件由ー个八边形阳极外框6和两片呈90°的阳极骨架9点焊而成，阳极外框6及阳极骨架9厚度为0. 3-0. 4mm,阳极外框6通过螺钉螺母方式连接到阳极引线I上，但旋紧连接，可能会因为钛皮较薄，以及接触面较小的问题，在装配过程中固定不紧，因此在阳极引线I和阳极外框6连接处上下各加入一厚度为Imm不锈钢加固片5，可以固定紧阳极组件；螺母旋紧后再通过氩弧焊与阳极引线I点焊到一起，使结构更加稳定可靠，这样就彻底解决了圆泵阳极组件和阳极引线I焊接不牢靠的问题，阳极外框6和阳极骨架9采用钛合金材料，如果抽速要求低，也可以选用不锈钢；阳极组件通过螺钉螺母方式固定到钛泵阳极引线I上，芯柱瓷封件外围加ー个硅胶套11，可以提高绝缘性能，縮小体积；阳极引线I和外回路连接部分设计成L16标准插针或插孔形式。芯柱保护筒10 —端和阴极接头用氩弧焊固定，另一端具有L16或其他标准电缆插头外螺纹4，以便和外接高压接头低压端(或地线端)连接。阴极板7采用圆形面，其材料为钛合金，通过芯柱保护筒10连接高压接头，接入外部电源低压端；芯柱保护筒10 —端和阴极接头2用氩弧焊固定，另一端具有L16或其他标
准电缆插头外螺纹4，以便和外接高压接头连接，阴极外壳3两端面放置阴极板7，高压接头外接高压电源组成高压回路。外部直流高压电源引入接到钛泵阳极，阴极接地，这样在阳极与阴极之间形成高压电场，在一定的真空条件下，阴极溢出电子，同时在钛泵径向上加上外部磁场，电子在电磁场中运动时与气体分子碰撞产生正离子和二次电子，形成雪崩效应，正离子撞击阴极面溅散出钛原子，钛原子与活性气体分子反应，新鮮钛膜对惰性气体分子掩埋，这样钛离子泵就正常工作，維持真空器件和真空系统的真空度。在经过烘排的真空器件和真空系统中，钛泵阳极与阴极之间的离子流I < 20ii A。八边形阳极外框6有效的利用了空间，也采用了稳定可靠的面接触，两片阳极骨架9増大了阳极的有效作用面积，按设计尺寸估算，本实用新型钛离子泵可提供5-lOL/s的稳定抽速，可广泛应用于真空器件和真空系统中。上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置換方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.ー种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板⑴、阴极外壳⑶、阳极引线⑴和芯柱保护筒(抑构成，阳极组件和阳极引线⑴的下端螺纹相连，阴极板(7)、阴极外壳⑶通过阴极接头⑵和芯柱保护筒_的下端焊接相连，阳极组件和阴极板(7)设于阴极外壳⑶内，阳极引线⑴设于芯柱保护筒_内，其特征在于所述的阳极组件包括八边形的阳极外框(6)和两片呈90°的阳极骨架⑶，阳极外框(6)和阳极骨架⑶连接。
2.根据权利要求I所述的ー种真空钛离子泵，其特征在于所述的阳极引线⑴的上端为L16插针或插孔。
3.根据权利要求I所述的ー种真空钛离子泵，其特征在于所述的芯柱保护筒(抑的下端和阴极接头⑵连接，上端具有电缆插头外螺纹⑷。
4.根据权利要求I所述的ー种真空钛离子泵，其特征在于所述的阳极外框(6)及阳极骨架⑶厚度均为0. 3-0. 4mm。
5.根据权利要求I所述的ー种真空钛离子泵，其特征在于所述的阳极引线⑴的瓷封件(12)外套有硅胶套(U)。
6.根据权利要求I至5中任意一项所述的ー种真空钛离子泵，其特征在于所述的阴极板(7)为圆形面的钛合金。
专利摘要本实用新型公开了一种真空钛离子泵，由阳极组件、阴极板⑺、阴极外壳⑶、阳极引线⑴和芯柱保护筒⑽构成，阳极组件和阳极引线⑴的下端螺纹相连，阴极板⑺、阴极外壳⑶通过阴极接头⑵和芯柱保护筒⑽的下端焊接相连，阳极组件和阴极板⑺设于阴极外壳⑶内，阳极引线⑴设于芯柱保护筒⑽内，其特征在于所述的阳极组件包括八边形的阳极外框⑹和两片呈90°的阳极骨架⑼，阳极外框⑹和阳极骨架⑼连接；其优点是所设计的真空钛离子泵采用了芯柱保护筒和硅胶套，使安全性能得到了加强，采用八边形阳极外框和两个阳极骨架，使得结构稳定，同时，两个阳极骨架也增加了阳极有效作用面积，提高了钛离子泵的抽速，因此本实用新型适用于各种需要维持高真空的器件和系统。
文档编号C23C14/56GK202595267SQ20122020336
公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月8日 优先权日2012年5月8日
发明者史海如, 周红艳, 温子阳 申请人:湖北汉光科技股份有限公司