一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置制造方法
【专利摘要】本发明属于一种真空吸附装置，具体涉及一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置。它包括平面带孔工具板、真空腔体、真空发生器、气管，平面带孔工具板设置真空腔体上，通过气管将真空发生器的进气口与压缩气体源连接，通过气管将真空发生器的出气口与真空腔体连接。本发明的优点是，它解决了同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题，防止已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
【专利说明】一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置
【技术领域】
[0001]本发明属于一种真空吸附装置，具体涉及一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置。
【背景技术】
[0002]在激光陀螺腔平移镜(如图1所示)的加工过程中，通常是采用在直径D范围内抛光出超光滑球面，再在d?D范围内抛光出光滑平面的加工流程。目前在平面加工过程中，多是采用将腔平移镜的背面粘接到平面工具板上的上盘方式，这种上盘方式的优点是简单易操作，缺点是难以保证同盘腔平移镜的待加工包络面在同一个平面上，从而导致已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种在进行腔平移镜平面加工时使用的真空吸附装置，它能够克服同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题。
[0004]本发明是这样实现的，一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置，它包括平面带孔工具板、真空腔体、真空发生器、气管，平面带孔工具板设置真空腔体上，通过气管将真空发生器的进气口与压缩气体源连接，通过气管将真空发生器的出气口与真空腔体连接。
[0005]所述的平面带孔工具板采用光学石英玻璃制作，真空腔体采用金属铝制作。
[0006]所述的真空腔体壁的上沿带有凹槽，垫圈位于凹槽内，腔体壁上带有一个螺纹孔。
[0007]平面带孔工具板的外形尺寸为(M50mmX20mm，其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定，其上、下表面的平行度优于0.0Olmm,工具板上表面的平面度优于
0.001mm。
[0008]本发明的优点是，它解决了同盘腔平移镜的待加工包络面不在同一个平面上的问题，防止已完成加工的超光滑球面的表面质量被破坏。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为激光陀螺腔平移镜示意图；
[0010]图2为平面带孔工具板的俯视图；
[0011]图3为真空腔体的剖面图；
[0012]图4为本发明所提供的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置示意图。
[0013]图中，I平面带孔工具板，2真空腔体，3真空发生器，4气管。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和实施例对本发明进行详细介绍:[0015]如图4所示，一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置它包括平面带孔工具板1、真空腔体2、真空发生器3、气管4。真空腔体壁的上沿带有凹槽，垫圈位于凹槽内，平面带孔工具板I放置在真空腔体2上，通过气管将真空发生器3的进气口与压缩气体源连接，通过气管4将真空发生器3的出气口与真空腔体2连接。
[0016]其中平面带孔工具板I采用光学石英玻璃制作，真空腔体2采用金属铝制作。
[0017]平面带孔工具板I的外形尺寸为015OmmX2Omm，其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定。工具板上、下表面的平行度应优于0.001mm，工具板上表面的平面度应优于0.001mm。
[0018]真空腔体壁的上沿带有凹槽，腔体壁上带有一个螺纹孔。
[0019]在对腔平移镜进行球面抛光时，可采用的方法一般有两种:①利用球面工具板和过渡片进行球面抛光；②利用球面带孔工具板进行球面抛光。方法一的优点是被加工腔平移镜的面形精度高，缺点是过渡片的加工过程复杂。方法二的优点是简单易操作，缺点是被加工腔平移镜的厚度一致性较差。建议采用方法一进行腔平移镜的球面抛光。
[0020]盘上检验合格后，将腔平移镜与过渡片分离转入化学清洗工序进行清洗。
[0021]在平面抛光过程中，共有六个工步，分别为:
[0022]①用脱脂棉蘸醇醚混合液擦净平面带孔工具板；
[0023]②将化学清洗后的腔平移镜定位放置在平面带孔工具板上，腔平移镜的待加工面向下；
[0024]③将真空发生器的开关打开以吸附腔平移镜；
[0025]④将涂抹热粘接胶(松香与石蜡配制而成)的另一平面带孔工具板定位放置在腔平移镜的背面；
[0026]⑤待粘接胶冷却后关闭真空发生器的开关，停止吸附；
[0027]⑥调整设备各项参数进行抛光。研磨抛光机的压力、主轴转速、摆轴摆速要合理设置，在规定的抛光时间内完成平面抛光，以免破坏腔平移镜的球面质量。
【权利要求】
1.一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置，其特征在于:它包括平面带孔工具板(1)、真空腔体(2)、真空发生器(3)、气管(4)，平面带孔工具板(1)设置真空腔体(2)上，通过气管将真空发生器(3)的进气口与压缩气体源连接，通过气管(4)将真空发生器(3)的出气口与真空腔体⑵连接。
2.如权利要求1所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置，其特征在于:所述的平面带孔工具板(1)采用光学石英玻璃制作，真空腔体(2)采用金属铝制作。
3.如权利要求1所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置，其特征在于:所述的真空腔体壁的上沿带有凹槽，垫圈位于凹槽内，腔体壁上带有一个螺纹孔。
4.如权利要求1或2所述的一种在激光陀螺腔平移镜的加工中使用的真空吸附装置，其特征在于:平面带孔工具板(1)的外形尺寸为Φ150_Χ20_，其通孔直径及通孔数目应根据腔平移镜的外形尺寸确定，其上、下表面的平行度优于0.001mm,工具板上表面的平面度优于0.001mm。
【文档编号】B24B13/005GK103737453SQ201310508493
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年10月25日 优先权日:2013年10月25日
【发明者】金玉竹, 童毅, 夏东栋, 吴东旭 申请人:中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所