1.一种MOCVD气体喷淋头预处理方法，包括：提供一反应腔，位于反应腔底部的抽气系统用于排出反应腔内的气体，固定在反应腔顶部的气体喷淋头，所述气体喷淋头内包括位于底部的冷却板和位于顶部的进气管道系统，其中冷却板内包括多条冷却管道，其中进气管道系统连接到一个预处理气体源和一个空气进气口，
提供一个加热装置，加热所述气体喷淋头使得气体喷淋头温度大于80度；
A1.通过进气管道系统输送预处理气体到所述反应腔，直到反应腔内气压大于400托，维持第一时间段；
A2.通过抽气系统排出反应腔内的预处理气体；
B1.通过进气管道系统输送空气到所述反应腔，直到反应腔内气压达到大气压力，维持第二时间段；
B2.通过抽气系统排出反应腔内的空气；
循环执行所述步骤A和B，直到完成对气体喷淋头的预处理。
2.如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述反应腔内还包括一个温度传感器热耦合到所述气体喷淋头，用于探测所述气体喷淋头的温度。
3.如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述加热装置包括一个加热液源连接到所述多条冷却管道，使得冷却管道加热达到80-250度。
4.如权利要求1所述MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述反应腔内还包括一个气体分布板位于气体喷淋头和抽气系统之间，气体分布板和反应腔底部之间还包括一个缓冲空间联通到抽气系统。
5.如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述抽气系统包括抽气管道和真空泵，以及串联在抽气管道上的压力调节阀和抽气管道截止阀。
6.如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述进气管道系统包括第一进气管道连接到预处理气体源，和第二进气管道连接到空气进口，第二进气管道上串联有空气限流器、空气供应管道截止阀和空气过滤器。
7.如权利要求5所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述步骤A1中，关闭所述抽气管道截止阀。
8.如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述A1步骤中第一时间段小于1小时。
9.如权利要求8所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述第一时间段大于10分钟小于40分钟。
10. 如权利要求1所述的MOCVD气体喷淋头预处理方法，其特征在于，所述A1步骤中反应腔内气压大于500托小于600托。