一种具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢及其制备方法与流程

文档序号:11937624阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢,其特征在于:在不锈钢基底的外表面由内向外依次附着有真空镀氧化铝薄膜和真空镀碳化硅薄膜。

2.根据权利要求1所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢,其特征在于:所述的不锈钢基底选用15-15Ti不锈钢。

3.根据权利要求1所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢,其特征在于:所述的真空镀氧化铝薄膜的厚度为3000-4000nm。

4.根据权利要求1所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢,其特征在于:所述的真空镀碳化硅薄膜的厚度为300-600nm。

5.一种根据权利要求1-4任意一项所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:按照如下步骤进行:

(1)对不锈钢基底表面进行打磨、抛光、清洗;

(2)对步骤(1)处理后的不锈钢基底进行真空镀氧化铝;

(3)对镀氧化铝后的不锈钢基底继续进行真空镀碳化硅处理;

(4)将镀氧化铝和碳化硅后的不锈钢基底在850-950℃的氩气气氛中进行1.5-2.5小时退火处理。

6.根据权利要求5所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)是将不锈钢基底依次用不同型号的砂纸打磨,然后用金刚石研磨膏进行机械抛光,最后用丙酮和酒精分别超声清洗10-30min。

7.根据权利要求5所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:步骤(2)采用直流反应磁控溅射镀氧化铝,步骤(3)采用射频磁控溅射镀碳化硅。

8.根据权利要求5所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)的具体过程为:将步骤(1)处理后的不锈钢基底放入真空镀膜室中,当真空镀膜室内真空度达到2.0×10-4Pa时,通入Ar作为溅射气体,气压0.5-0.8Pa,功率120-180W,预溅射10-15min后,然后通入O2作为反应气体,进行0.5-1.5小时真空镀氧化铝。

9.根据权利要求5所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)的具体过程为:将镀有氧化铝的不锈钢基底放入真空镀膜室中,当真空镀膜室内真空度达到1.0×10-4Pa时,通入Ar作为溅射气体,气压0.5-0.8Pa,功率120-180W,预溅射10-15min后,进行1-2小时真空镀碳化硅。

10.根据权利要求5所述的具有耐500℃铅铋腐蚀的不锈钢的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)的具体过程为:将镀有氧化铝和碳化硅的不锈钢基底放入真空保护气氛管式加热炉中,通过机械泵对炉管抽真空后,通入Ar气,设定管式炉加热最高温度为850-950℃,保温1.5-2.5小时后降温,待管式炉冷却后取出样品即可。

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