无芯轴靶材喷涂设备的制作方法

文档序号:12578717阅读:264来源:国知局
无芯轴靶材喷涂设备的制作方法与工艺

本发明涉及靶材制造领域,尤其涉及一种无芯轴靶材喷涂设备。



背景技术:

目前在制造靶材是,需要对靶材进行等离子喷涂,而现有等离子喷涂的旋转靶材安装时由于冷却的需要,必须要有芯轴来确保冷却水在靶材内壁循环冷却。此安装过程过于繁琐,平均安装一支靶材需要1个小时的时间,严重制约了生产效率,无形之中提高成本。



技术实现要素:

针对上述现有技术存在的问题,本发明的目的是提供一种无芯轴靶材喷涂设备,采用无芯轴安装方式,使用旋转接头做为支撑,尾座有气缸顶紧密封,水路从靶材一端进,一端出,同时可以冷却动力箱部分,提高靶材喷涂工作效率。

本发明提供一种无芯轴靶材喷涂设备,包括底座,所述底座上设置有动力头基座和尾座底座,所述动力头基座和尾座底座分别设置在底座的两端,所述动力头基座和尾座底座上均设置有固定装置,所述固定装置上设置有旋转接头,通过固定装置对靶材进行固定,旋转接头带动靶材转动,所述动力头基座内部设置有传动轴,所述动力头基座后部设置有皮带轮,所述皮带轮通过传动轴与旋转接头连接,所述动力头基座上设置有进水口,所述尾座底座上的旋转接头上设置有出水口。

进一步改进在于:所述底座上设置有固定防尘罩。

进一步改进在于:所述尾座底座上设置有气缸,通过气缸对尾座底座上的固定装置的位置进行调整,所述尾座底座上端设置有锁紧手柄。

进一步改进在于:所述动力头基座内设置有调整块,通过调整块对传动轴的位置进行调整。

本发明的有益效果是:采用无芯轴安装方式,使用旋转接头做为支撑,尾座有气缸顶紧密封,水路从靶材一端进,一端出,同时可以冷却动力箱部分,提高靶材喷涂工作效率,通过进水口和出水口对靶材进行降温,在喷涂时保证靶材温度,提高工作效率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的动力头基座结构放大图。

图3是本发明的尾座底座结构放大图。

其中:1-底座,2-动力头基座,3-尾座底座,4-固定装置,5-旋转接头,6-传动轴,7-皮带轮,8-进水口,9-出水口,10-固定防尘罩,11-气缸,12-锁紧手柄,13-调整块。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。

如图1-3所示,本实施例提供了一种无芯轴靶材喷涂设备,包括底座1,所述底座1上设置有动力头基座2和尾座底座3,所述动力头基座2和尾座底座3分别设置在底座1的两端,所述动力头基座2和尾座底座3上均设置有固定装置4,所述固定装置4上设置有旋转接头5,通过固定装置4对靶材进行固定,旋转接头5带动靶材转动,所述动力头基座2内部设置有传动轴6,所述动力头基座2后部设置有皮带轮7,所述皮带轮7通过传动轴6与旋转接头5连接,所述动力头基座2上设置有进水口8,所述尾座底座3上的旋转接头5上设置有出水口9。所述底座1上设置有固定防尘罩10。所述尾座底座3上设置有气缸11,通过气缸11对尾座底座3上的固定装置4的位置进行调整,所述尾座底座3上端设置有锁紧手柄12。所述动力头基座2内设置有调整块13,通过调整块13对传动轴6的位置进行调整。采用无芯轴安装方式,使用旋转接头做为支撑,尾座有气缸顶紧密封,水路从靶材一端进,一端出,同时可以冷却动力箱部分,提高靶材喷涂工作效率,通过进水口8和出水口9对靶材进行降温,在喷涂时保证靶材温度,提高工作效率。

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