金属钽及合金表面MoSi2涂层的制备方法与流程

文档序号:12056962阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属钽表面MoSi2涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S10,提供钽片基材,并将所述钽片基材进行抛光和清洗以除去其表面的氧化物和杂质;S11,提供渗剂原料,包括活化剂、分散剂、钼粉和硅粉;S12,将所述钼粉、所述活化剂以及所述分散剂按照质量份数比:40-50:5-10:40-55混合行成第一混合物;S13,将所述钽片基材埋入所述第一混合物中,并在保护气氛于1300-1500℃保温4-10h,取出后清洗干净;S14,将所述硅粉、所述活化剂以及所述分散剂按照质量份数比:20-40:5-18:55-75混合行成第二混合物;S15,将步骤S13所获得的产物埋入所述第二混合物中,并在保护气氛于1100-1400℃保温8-20h,取出后清洗干净,获得含MoSi2涂层的样品。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述活化剂包括NaF以及Na2SiF6

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于:所述分散剂包括Al2O3

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:在步骤S12中,将所述钼粉、NaF以及所述Al2O3按照质量份数比:40-50:5-10:40-55混合行成第一混合物。

5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:在步骤S14中,将所述硅粉、NaF、Na2SiF6以及所述Al2O3按照质量份数比:20-40:3-8:2-10:55-75混合行成第二混合物。

6.在步骤S14中,将所述硅粉、NaF、Na2SiF6以及所述Al2O3按照质量份数比:25-35:3-8:2-10:60-70混合行成第二混合物。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述保护氛围为惰性气体。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤S13中,在保护气氛于1350-1450℃保温4-10h。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:在步骤S15中,在保护气氛于1200-1300℃保温8-20h。

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