一种磨轮位置标定系统及方法与流程

本发明涉及半导体设备用磨轮位置标定领域，尤其涉及一种磨轮位置标定系统及方法。

背景技术：

集成电路芯片封装趋势向更小型化，更高密度，更高性能，更多功能的方向发展，芯片的减薄成为半导体后封装中的重要工序。晶圆减薄能够减小芯片封装体积，提高机械性能和电气性能，改善芯片的散热效果。在半导体专用设备制造过程中以及晶圆减薄过程中，晶圆减薄机针对不同的工艺，配备不同的磨轮，磨轮的规格不同，以及磨轮厚度不够准确的影响，需要在磨削前对磨轮的位置进行标定，目前常规采用的方法是采用5mm的标定块，手动去标定，如图1所示，在磨轮71与承片台8之间设置标定块9来标定磨轮71的位置。具体的相对位置依靠手感来确定，存在标定位置不够准确，操作复杂的问题。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种磨轮位置标定系统及方法，以解决现有技术中采用手动方式标定磨轮位置时存在的标定不够准确，且操作复杂的问题。

本发明实施例提供一种磨轮位置标定系统，包括：

驱动装置；

与所述驱动装置连接的，并在所述驱动装置的驱动下运动的滑动装置，所述滑动装置包括滑轨和在所述滑轨上运动的滑动板；

固定在所述滑轨上的光电传感器；

设置于所述滑动板上，并在所述驱动装置的驱动下随所述滑动板运动的传感器挡片和测量传感器；以及

与所述驱动装置、所述光电传感器和所述测量传感器连接的控制系统；

其中，在所述光电传感器被所述传感器挡片阻断时，所述控制系统接收所述光电传感器发送的启动信号确定参考零点，在接收所述测量传感器检测到承片台上边沿时发送的第一信号、所述测量传感器检测到磨轮下边沿时发送的第二信号后，根据所述参考零点、所述第一信号和所述第二信号确定所述磨轮与所述承片台之间的距离。

其中，所述磨轮位置标定系统还包括：

用于固定所述驱动装置和所述滑动装置的安装支架，所述驱动装置设置于所述安装支架的第一端面，所述滑动装置设置于所述安装支架的第二端面，所述第一端面与所述第二端面相邻且垂直。

其中，所述驱动装置包括与所述安装支架连接的安装座，设置于所述安装座内的联轴器，与所述联轴器的一端连接的驱动电机，与所述联轴器的另一端连接的轴承座和丝杠结构；

其中所述丝杠结构通过所述轴承座与所述联轴器连接，所述驱动装置与所述控制系统的信号输出端连接。

其中，所述丝杠结构包括：

通过所述轴承座与所述联轴器连接的丝杠；

套设在所述丝杠上、在所述丝杠转动时沿所述丝杠的轴向上下运动的丝杠母；以及

套设在所述丝杠上、与所述丝杠母固定连接的丝杠母座；

其中所述丝杠母的运动方向为所述磨轮和所述承片台距离的延伸方向。

其中，所述滑动装置还包括：

设置于所述滑动板与所述滑轨之间的滑块；

其中所述滑动板与所述丝杠母座连接，所述滑块在所述滑轨上运动，所述滑动板与所述滑块固定连接。

其中，所述测量传感器通过固定板固定在所述滑动板上，其中所述固定板固定在所述滑动板的第一安装面上，所述滑动板的第二安装面与所述丝杠母座连接，所述第一安装面与所述第二安装面相对，且所述测量传感器与所述控制系统的信号输入端连接。

其中，所述传感器挡片固定在所述滑动板的第三安装面上，所述第三安装面分别与所述第一安装面、所述第二安装面垂直且相邻。

其中，所述光电传感器固定在所述滑轨的第一端面上，所述滑轨与所述第一端面相对的第二端面与所述滑块接触，且所述光电传感器与所述控制系统的信号输入端连接。

其中，所述传感器挡片包括固定在所述滑动板的第三安装面上的第一连接部，与所述第一连接部垂直、且一体连接的第二连接部，部分所述第一连接部与所述滑轨的第三端面接触，所述第二连接部位于所述滑轨的第一端面的一侧，与所述第一端面间隔第一预定距离，所述滑轨的第三端面分别与所述第一端面、所述第二端面垂直且相邻。

其中，所述光电传感器的数量为两个，分别为第一光电传感器和与所述第一光电传感器位于同一直线上且间隔第二预定距离的第二光电传感器。

本发明实施例还提供一种采用上述的磨轮位置标定系统标定磨轮的方法，所述方法包括：

控制系统向驱动装置发送驱动信号，启动所述驱动装置，通过所述驱动装置带动与所述驱动装置连接的滑动装置的运动；

在所述滑动装置的滑动板在滑轨上滑动的过程中，当光电传感器因被传感器挡片阻断时，所述控制系统接收所述光电传感器发送的启动信号确定参考零点并等待接收测量传感器发送的信号；

接收所述测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号，根据参考零点和第一信号确定所述测量传感器的第一升降距离；以及，接收所述测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号，根据参考零点和第二信号确定所述测量传感器的第二升降距离；

根据所述第二升降距离与所述第一升降距离的差值获取所述磨轮与所述承片台的距离。

本发明实施例技术方案的有益效果至少包括：

本发明技术方案，通过控制系统启动驱动装置，利用驱动装置的运转带动滑动装置的滑动，在滑动装置滑动的过程中，当滑动装置滑轨上的光电传感器被滑动板上的传感器挡片阻断时，控制系统接收光电传感器发送的启动信号并确定参考零点；在控制系统接收测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号以及测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号之后，根据参考零点、第一信号和第二信号确定磨轮与承片台的距离，本发明使用方便、测量准确可靠，能够实现自动、实时检测磨轮与承片台的距离，具有很强的安全性，且能够提高设备的性价比。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1表示现有技术采用标定块标定磨轮位置示意图；

图2表示本发明实施例一提供的磨轮位置标定系统示意图一；

图3表示本发明实施例一提供的磨轮位置标定系统示意图二；

图4表示本发明实施例一提供的磨轮与承片台配合示意图；

图5表示本发明实施例一提供的磨轮位置标定系统与磨轮、承片台配合示意图；

图6表示本发明实施例二提供的采用磨轮位置标定系统标定磨轮的方法示意图。

其中图中：1、驱动装置；11、安装座；12、联轴器；13、驱动电机；14、轴承座；15、丝杠结构；151、丝杠；152、丝杠母；153、丝杠母座；2、滑动装置；21、滑轨；22、滑动板；23、滑块；3、光电传感器；31、传感器挡片；4、测量传感器；5、安装支架；6、固定板；7、磨削主轴；71、磨轮；72、轴套；8、承片台；9、标定块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

如图2～图5所示，本发明实施例一提供的磨轮位置标定系统，包括：

驱动装置1；与驱动装置1连接的，并在驱动装置1的驱动下运动的滑动装置2，滑动装置2包括滑轨21和在滑轨21上运动的滑动板22；固定在滑轨21上的光电传感器3；设置于滑动板22上，并在驱动装置1的驱动下随滑动板22运动的传感器挡片31和测量传感器4；以及与驱动装置1、光电传感器3和测量传感器4连接的控制系统；

其中，在光电传感器3被传感器挡片31阻断时，控制系统接收光电传感器3发送的启动信号确定参考零点，在接收测量传感器4检测到承片台8上边沿时发送的第一信号、测量传感器4检测到磨轮71下边沿时发送的第二信号后，根据参考零点、第一信号和第二信号确定磨轮71与承片台8之间的距离。

具体的，驱动装置1与控制系统连接，接收控制系统发送的驱动信号，并根据控制系统的驱动信号开始运转。驱动装置1的运转带动与驱动装置1连接的滑动装置2的运动。其中滑动装置2包括滑轨21以及滑动板22，其中滑动板22与驱动装置1连接，在驱动装置1的带动下，滑动板22在滑轨21上滑动。

在滑轨21上固定有光电传感器3，在滑动板22上固定有传感器挡片31以及测量传感器4。在滑动板22滑动的过程中，滑动板22的运动带动传感器挡片31以及测量传感器4的运动。当传感器挡片31在运动过程中，遮挡住光电传感器3时，即光电传感器3的光源被传感器挡片31阻断，此时光电传感器3被触发启动，光电传感器3向控制系统发送启动信号，控制系统在接收到启动信号之后，确定参考零点。

在滑动板22运动过程中，位于滑动板22上的测量传感器4根据滑动板22的滑动而上下运动。其中滑动板22的滑动方向和磨轮71与承片台8之间距离的延伸方向平行，且在开始标定之前，磨轮位置标定系统位于承片台8的一侧，且测量传感器4可以位于承片台8一侧的下方。

磨轮71与承片台8之间间隔一定距离，在竖直方向上，磨轮71位于承片台8的上方，其中磨轮71设置于磨削主轴7的一端，磨轮71套设在磨削主轴7上，在磨削主轴7上还套设有轴套72。

在确定参考零点之后，驱动装置1驱动滑动板22向上运动，在滑动板22的运动过程中，当测量传感器4运动到与承片台8的上边沿齐平时，测量传感器4向控制系统发送第一信号，当测量传感器4运动到与磨轮71的下边沿齐平时，测量传感器4向控制系统发送第二信号。

需要说明的是，测量传感器4属于红外传感器，由于在磨轮71与承片台8之间间隔一定距离，且测量传感器4自承片台8一侧的下方向靠近磨轮71的方向运动。在测量传感器4与承片台8的上边沿齐平时，此时测量传感器4发出的红外光由被承片台8遮挡过渡至未被承片台8遮挡，测量传感器4产生第一信号发送至控制系统，控制系统在接收到第一信号之后，根据第一信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器4运动的第一升降距离。

测量传感器4在经过承片台8之后，继续向靠近磨轮71的方向运动，当测量传感器4位于承片台8与磨轮71之间时，承片台8与磨轮71无法遮挡测量传感器4发出的红外光。当测量传感器4运动到与磨轮71的下边沿齐平时，测量传感器4发出的红外光由未被遮挡过渡至被磨轮71遮挡，此时测量传感器4产生第二信号，然后测量传感器4将第二信号发送至控制系统。控制系统在接收到第二信号之后，根据第二信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器4运动的第二升降距离。然后计算第二升降距离与第一升降距离之差，获取磨轮71与承片台8之间的距离。其中，在竖直方向上，磨轮71、承片台8由上至下依次排列，测量传感器4、滑动板22由上至下依次排列。

需要说明的是，在确定参考零点之后、开始标定之前，磨轮位置标定系统位于承片台8的一侧，测量传感器4也可以上升至磨轮71一侧的上方，驱动装置1可以驱动滑动板22向下运动，在滑动板22的运动过程中，测量传感器4首先与磨轮71的下边沿齐平产生信号，然后与承片台8的上边沿齐平产生信号，由此根据参考零点、测量传感器4产生的信号来确定磨轮71与承片台8之间的距离。

本发明技术方案，在控制系统接收到光电传感器发送的启动信后并确定参考零点；在控制系统接收测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号以及测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号之后，根据参考零点、第一信号和第二信号确定磨轮与承片台的距离，可以实现使用方便、测量准确可靠，自动实时检测磨轮与承片台距离的功能，具有很强的安全性，且能够提高设备的性价比。

在本发明实施例中，如图2和图3所示，磨轮位置标定系统还包括：

用于固定驱动装置1和滑动装置2的安装支架5，驱动装置1设置于安装支架5的第一端面，滑动装置2设置于安装支架5的第二端面，第一端面与第二端面相邻且垂直。

具体的，驱动装置1固定在安装支架5的第一端面上，滑动装置2固定在安装支架5的第二端面上，其中第一端面与第二端面相邻且垂直，滑动装置2的滑动板22突出于安装支架5的第二端面，与驱动装置1连接。

驱动装置1包括与安装支架5连接的安装座11，设置于安装座11内的联轴器12，与联轴器12的一端连接的驱动电机13，与联轴器12的另一端连接的轴承座14和丝杠结构15；其中丝杠结构15通过轴承座14与联轴器12连接，驱动装置1与控制系统的信号输出端连接。

具体的，驱动装置1通过安装座11与安装支架5的第一端面的配合，实现与安装支架5的连接。在安装座11内设置有联轴器12，其中安装座11的形状为一盒状结构，盒状结构相对的第一侧面和第二侧面开口，与第一侧面和第二侧面相邻且垂直的第三侧面与安装支架5的第一端面连接。与第一侧面相邻且垂直的第五侧面、与第五侧面相对的第六侧面上分别设置有安装孔。

联轴器12的一端穿过第五侧面的安装孔之后与驱动电机13连接，联轴器12的另一端穿过第六侧面的安装孔之后与轴承座14连接。轴承座14与丝杠结构15连接。其中驱动电机13的信号输入端与控制系统的信号输出端连接，控制系统发送驱动信号，驱动电机13在接收到驱动信号之后，根据驱动信号开始运转。驱动电机13的运转带动与驱动电机13连接的联轴器12的转动，联轴器12通过轴承座14与丝杠结构15连接，联轴器12的运转带动丝杠结构15的运动。

其中，如图2和图4所示，丝杠结构15包括：

通过轴承座14与联轴器12连接的丝杠151；套设在丝杠151上、在丝杠151转动时沿丝杠151的轴向上下运动的丝杠母152；以及套设在丝杠151上、与丝杠母152固定连接的丝杠母座153；其中丝杠母152的运动方向为磨轮71和承片台8距离的延伸方向。

如图2、图4和图5所示，在联轴器12转动时，与联轴器12连接的丝杠151转动，丝杠151在转动过程中，套设在丝杠151上的丝杠母152沿丝杠151的轴向上下运动。且丝杠151的轴向和磨轮71、承片台8之间距离的延伸方向相同。在丝杠母152沿丝杠151的轴向上下运动时，与丝杠母152固定连接的丝杠母座153沿丝杠151的轴向上下运动。其中在竖直方向上，丝杠母152、丝杠母座153、丝杠151、轴承座14、联轴器12、驱动电机13由上至下依次排列。

在本发明实施例中，如图3所示，滑动装置2还包括：

设置于滑动板22与滑轨21之间的滑块23；其中滑动板22与丝杠母座153连接，滑块23在滑轨21上运动，滑动板22与滑块23固定连接。

在滑轨21与滑动板22之间设置有与滑动板22固定的滑块23，滑块23在滑轨21上滑动，进而来保证滑动板22与滑轨21之间的相对运动。

其中如图2和图3所示，滑动板22与丝杠结构15的丝杠母座153通过螺栓实现固定连接。在联轴器12转动时，与联轴器12连接的丝杠151转动，丝杠151在转动过程中，套设在丝杠151上的丝杠母152沿丝杠151的轴向上下运动。丝杠母152沿丝杠151的运动，带动滑动板22在滑轨21上的上下滑动，其中滑轨21的延伸方向与丝杠151的轴向延伸方向相同。

测量传感器4通过固定板6固定在滑动板22上，其中固定板6固定在滑动板22的第一安装面上，滑动板22的第二安装面与丝杠母座153连接，第一安装面与第二安装面相对，且测量传感器4与控制系统的信号输入端连接。传感器挡片31固定在滑动板22的第三安装面上，第三安装面分别与第一安装面、第二安装面垂直且相邻。

测量传感器4通过固定板6固定在滑动板22的第一安装面上，具体为，测量传感器4与固定板6连接，固定板6与滑动板22连接，其中固定板6与测量传感器4连接的一端形成第一定位孔，测量传感器4穿设第一定位孔与固定板6连接。滑动板22包括板体和位于板体上与板体一体连接的安装块，安装块上形成有第三定位孔，固定板6的另一端形成有第二定位孔，在固定板6与滑动板22连接时，通过螺栓与第二定位孔和第三定位孔的配合，实现两者的连接。其中第二定位孔的孔径大于第三定位孔的孔径，可以实现对固定板6的微调。

光电传感器3固定在滑轨21的第一端面上，滑轨21与第一端面相对的第二端面与滑块23接触。且滑块23与滑动板22的第二安装面接触。传感器挡片31固定在滑动板22的第三安装面上，其中第三安装面位于第一安装面和第二安装面之间，且与第一安装面、第二安装面垂直。传感器挡片31包括固定在滑动板22的第三安装面上的第一连接部，与第一连接部垂直、且一体连接的第二连接部，部分第一连接部与滑轨21的第三端面接触，第二连接部位于滑轨21的第一端面的一侧，与第一端面间隔第一预定距离，滑轨21的第三端面分别与第一端面、第二端面垂直且相邻。

具体的，光电传感器3设置在滑轨21的第一端面上，传感器挡片31的第一连接部固定在滑动板22的第三安装面上，部分第一连接部与滑轨21的第三端面接触，其中还有部分第一连接部位于滑动板22的第三安装面与滑轨21的第三端面之间。传感器挡片31的第二连接部位于滑轨21的第一端面的一侧，与光电传感器3配合。其中光电传感器3的数量可以为一个，当传感器挡片31遮住光电传感器3的光源时，触发光电传感器3启动。且光电传感器3与控制系统的信号输入端连接，在光电传感器3触发时，向控制系统发送启动信号，控制系统根据启动信号记录参考零点。

光电传感器3的数量可以为两个，分别为第一光电传感器和与第一光电传感器位于同一直线上且间隔第二预定距离的第二光电传感器。

如图2～图5所示，在控制系统启动向驱动装置1发送驱动信号时，传感器挡片31位于第一光电传感器和第二光电传感器之间，此时驱动装置1驱动滑动装置2向下运动，在驱动装置1运动带动滑动装置2、进而带动传感器挡片31向下运动的过程中，当传感器挡片31遮挡住第一光电传感器的光源时，触发第一光电传感器，第一光电传感器向控制系统发送启动信号，控制系统根据启动信号记录参考零点，此时测量传感器4位于承片台8一侧的下方。

在此之后，驱动装置1持续运转，驱动滑动装置2的滑动板22向上运动，传感器挡片31在第一光电传感器和第二光电传感器之间运动，当测量传感器4与承片台8的上边沿齐平时，此时测量传感器4发出的红外光由被承片台8遮挡过渡至未被承片台8遮挡，测量传感器4产生第一信号。由于测量传感器4与控制系统的信号输入端连接，测量传感器4将第一信号发送至控制系统，控制系统在接收到第一信号之后，根据第一信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器4运动的第一升降距离。

测量传感器4在经过承片台8之后，继续向靠近磨轮71的方向运动，当测量传感器4位于承片台8与磨轮71之间时，承片台8与磨轮71无法遮挡测量传感器4发出的红外光。当测量传感器4运动到磨轮71的下边沿齐平时，测量传感器4发出的红外光由未被遮挡过渡至被磨轮71遮挡，此时测量传感器4产生第二信号，然后测量传感器4将第二信号发送至控制系统。控制系统在接收到第二信号之后，根据第二信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器4运动的第二升降距离。然后控制系统计算第二升降距离与第一升降距离之差，获取磨轮71与承片台8之间的距离。之后控制系统向驱动装置1发送停止信号，驱动装置1停止运动。需要说明的是，当测量传感器4在承片台8与磨轮71之间运动时，传感器挡片31在第一光电传感器与第二光电传感器之间运动。

本发明实施例一，通过控制系统启动驱动装置，利用驱动装置的运转带动滑动装置的滑动，在滑动装置滑动的过程中，当滑动装置滑轨上的光电传感器被滑动板上的传感器挡片阻断时，控制系统接收光电传感器发送的启动信号并确定参考零点；在控制系统接收测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号以及测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号之后，根据参考零点、第一信号和第二信号确定磨轮与承片台的距离，可以实现使用方便、测量准确可靠，自动、实时检测磨轮与承片台的距离的目的，具有很强的安全性，且能够提高设备的性价比。

实施例二

本发明实施例二提供一种采用磨轮位置标定系统标定磨轮的方法，其中磨轮位置标定系统，包括：驱动装置；与驱动装置连接的，并在驱动装置的驱动下运动的滑动装置，滑动装置包括滑轨和在滑轨上运动的滑动板；固定在滑轨上的光电传感器；设置于滑动板上，并在驱动装置的驱动下随滑动板运动的传感器挡片和测量传感器；以及与驱动装置、光电传感器和测量传感器连接的控制系统。其中如图6所示，标定磨轮的方法包括：

步骤601、控制系统向驱动装置发送驱动信号，启动驱动装置，通过驱动装置带动与驱动装置连接的滑动装置的运动。

首先，控制系统向驱动装置发送驱动信号，驱动装置在接收到驱动信号之后，开始运转，驱动装置的运转带动与驱动装置连接的滑动装置的运动。其中驱动装置和滑动装置均位于安装支架上，滑动装置的滑轨固定在安装支架上，滑动装置的滑动板与驱动装置连接，在驱动装置的驱动下，滑动板沿滑轨运动，其中滑轨的延伸方向与磨轮和承片台之间的距离延伸方向相同。

其中，驱动装置包括：与安装支架连接的安装座，设置于安装座内的联轴器，与联轴器的一端连接的驱动电机，与联轴器的另一端连接的轴承座和丝杠结构；其中丝杠结构通过轴承座与联轴器连接，驱动电机与控制系统连接。控制系统发送驱动信号，驱动电机在接收到驱动信号之后进行运转。驱动电机的运转带动与驱动电机连接的联轴器的转动，联轴器通过轴承座与丝杠结构连接，联轴器的运转带动丝杠结构的运动。

丝杠结构包括：通过轴承座与联轴器连接的丝杠；套设在丝杠上、在丝杠转动时沿丝杠的轴向上下运动的丝杠母；以及套设在丝杠上、与丝杠母固定连接的丝杠母座；其中丝杠母的运动方向为磨轮和承片台距离的延伸方向。在联轴器转动时，与联轴器连接的丝杠转动，丝杠在转动过程中，套设在丝杠上的丝杠母沿丝杠的轴向上下运动。且丝杠的轴向和磨轮、承片台之间距离的延伸方向相同。在丝杠母沿丝杠的轴向上下运动时，与丝杠母固定的丝杠母座沿丝杠的轴向上下运动。同时与丝杠母座连接的滑动板在滑轨上运动，滑轨的延伸方向与丝杠的轴向方向相同。

步骤602、在滑动装置的滑动板在滑轨上滑动的过程中，当光电传感器因被传感器挡片阻断时，控制系统接收光电传感器发送的启动信号确定参考零点并等待接收测量传感器发送的信号。

在滑动装置的滑动板滑动的过程中，滑轨上的光电传感器处于静止状态，位于滑动板上的传感器挡片随滑动板的运动而运动，其中传感器挡片与光传感器匹配，在传感器挡片运动至合适的位置遮挡住光电传感器的光源时，触发光电传感器启动。

当传感器挡片在运动过程中遮挡住光电传感器的光源时，光电传感器触发，向控制系统发送启动信号，控制系统根据接收到启动信号确定参考零点。在确定参考零点之后，等待接收测量传感器发送的信号。

其中，在传感器挡片遮挡住光电传感器的光源时，测量传感器位于承片台一侧的下方。在控制系统确定参考零点之后，驱动装置运转，此时驱动装置驱动滑动板沿滑轨向上运动。

需要说明的是，在传感器挡片遮挡住光电传感器的光源，控制系统确定参考零点之后，当测量传感器上升至磨轮一侧的上方时，此时驱动装置驱动滑动板沿滑轨向下运动，测量传感器首先检测到磨轮的下边沿，然后检测到承片台的上边沿，进而来确定磨轮与承片台之间的距离。本发明各实施例中以在传感器挡片遮挡住光电传感器的光源时，测量传感器位于承片台一侧的下方进行说明。

步骤603、接收测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号，根据参考零点和第一信号确定测量传感器的第一升降距离；以及，接收测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号，根据参考零点和第二信号确定测量传感器的第二升降距离。

在滑动板继续运动的过程中，当测量传感器检测到承片台上边沿位置时，即测量传感器与承片台的上边沿齐平时，此时测量传感器发出的红外光由被承片台遮挡过渡至未被承片台遮挡，测量传感器产生第一信号发送至控制系统，控制系统在接收到第一信号之后，根据第一信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器运动的第一升降距离。

测量传感器在经过承片台之后，继续向靠近磨轮的方向运动，当测量传感器位于承片台与磨轮之间时，承片台与磨轮无法遮挡测量传感器发出的红外光。当测量传感器运动到与磨轮的下边沿齐平时，测量传感器发出的红外光由未被遮挡过渡至被磨轮遮挡，此时测量传感器产生第二信号，然后测量传感器将第二信号发送至控制系统。控制系统在接收到第二信号之后，根据第二信号以及参考零点确定自确定参考零点之后，测量传感器运动的第二升降距离。

步骤604、根据第二升降距离与第一升降距离的差值获取磨轮与承片台的距离。

在获取第一升降距离与第二升降距离之后，根据第二升降距离与第一升降距离之间的差值，来获取磨轮与承片台之间的距离。

本发明实施例二，通过控制系统启动驱动装置，利用驱动装置的运转带动滑动装置的滑动，在滑动装置滑动的过程中，当滑动装置滑轨上的光电传感器被滑动板上的传感器挡片阻断时，控制系统接收光电传感器发送的启动信号并确定参考零点；在控制系统接收测量传感器检测到承片台上边沿位置时发送的第一信号以及测量传感器检测到磨轮下边沿位置时发送的第二信号之后，根据参考零点、第一信号和第二信号确定磨轮与承片台的距离，可以实现使用方便、测量准确可靠，自动、实时检测磨轮与承片台的距离的目的，具有很强的安全性，且能够提高设备的性价比。

以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。