一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构的制作方法

本发明涉及平面抛光技术领域，更具体的说，尤其涉及一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，主要应用于电子、通信、计算机、激光、航空航天等技术领域。

背景技术：

研磨加工已经成为高精密机械、航空航天、光电信息等领域不可或缺的一种精密加工方式，随着产品的不断升级，这些领域对工件表面加工精度和表面质量的要求也愈来愈高。

平面研磨加工须确保平面度、表面粗糙度、表层及亚表层位错形态和残余应力等，研磨加工已经成为后续抛光和特种加工获取超光滑表面的必备工序，而抛光加工主要用于降低工件表面粗糙度，但是抛光时间过长会容易导致平面度降低、抛光表面形成波纹等缺陷，小于100um厚度的超薄晶片对时间要求更高，否则容易出现碎片现象。所以解决这些难题的重要手段是不断提高研磨加工后晶片表面形状精度，直至达到抛光前的技术要求。如何实现高效率、高精度控形的平面研磨加工是当前的主要技术瓶颈。

随着晶体衬底尺寸的增大，研磨均匀性的控制变得越来越困难，研磨轨迹的均匀性已经成为研究的热点。因此，平面研磨加工运动学方法的创新，对获取高精度、超光滑的工件表面具有非常重要的理论意义和科学价值。

公开号为CN105773403A的中国发明专利公开了一种具有无理转速比的研磨抛光机驱动装置，通过驱动装置带动抛光盘无理数转动，在加工精度上相比传统的有理转速的驱动装置有着很大的提高。但是，该装置的局限性较大，无法在普通的平面研磨装置上实现研磨盘转动的无理数。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服传统的研磨抛光机在加工工件时由于磨粒在工件上的研磨轨迹重复而导致表面粗糙度下降、抛光表面形成波纹以及橘皮等缺陷不足，提供了一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，在加工精度上相比传统的有理转速的驱动装置有着很大的提高。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，包括下抛光盘、安装座和转动轴，所述下抛光盘套装在转动轴的上端，所述下抛光盘安装在安装座内；还包括第一行星轮系、第二行星轮系、万向轴节和驱动电机，所述驱动电机竖直固定在安装座内；

所述第一行星轮系包括输入直齿锥齿轮、直齿锥齿轮机架和行星架，所述直齿锥齿轮机架固定不动，输入直齿锥齿轮与直齿锥齿轮机架相啮合，输入直齿锥齿轮通过万向轴节连接驱动电机，驱动电机通过万向轴节带动输入直齿锥齿轮转动时带动输入直齿锥齿轮绕直齿锥齿轮机架转动；所述行星架的一端与输入直齿锥齿轮的中心轴固定连接；

所述第二行星轮系包括圆柱直齿行星齿轮、圆柱直齿齿轮机架和圆柱直齿输出齿轮，所述圆柱直齿齿轮机架固定在支撑座上，圆柱直齿输出齿轮设置在圆柱直齿齿轮机架内部，圆柱直齿行星齿轮同时与圆柱直齿齿轮机架的内齿轮和圆柱直齿输出齿轮的外齿轮啮合，圆柱直齿输出齿轮与转动轴的底部固定连接，圆柱直齿行星齿轮转动时绕圆柱直齿齿轮机架的内圈转动并带动圆柱直齿输出齿轮转动；所述行星架的另一端与圆柱直齿行星齿轮的中心轴固定连接；

所述驱动电机、直齿锥齿轮机架、圆柱直齿齿轮机架、圆柱直齿输出齿轮、转动轴和下抛光盘的轴心线都在同一条直线上。

进一步的，所述行星架包括依次连接的第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆，所述第二连接杆竖直设置，第二连接杆的轴心线与直齿锥齿轮机架的轴心线在同一条直线上，所述第一连接杆的一端连接输入直齿锥齿轮的中心轴，所述第四连接杆的一端连接圆柱直齿行星齿轮的中心轴。

进一步的，所述第一连接杆和第三连接杆均垂直于所述第二连接杆设置，所述第一连接杆和第三连接杆相互平行。

进一步的，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆的轴心线在同一平面上。

进一步的，更换不同的行星架，使第一连接杆的长度不同，进而改变直齿锥齿轮机架的轴心线与驱动电机的轴心线的夹角，能够实现下抛光盘转动时不同倍数的无理数。

进一步的，更换输入直齿锥齿轮、直齿锥齿轮机架、圆柱直齿行星齿轮、圆柱直齿齿轮机架和圆柱直齿输出齿轮中任意一个齿轮的齿数，能够实现下抛光盘转动时不同倍数的无理数。

本发明的有益效果在于：本发明结构简单紧凑，生产成本低，可以从研磨加工运动学原理上解决了加工轨迹线循环闭合的科学问题，在加工精度上相比传统的有理转速的驱动装置有很大的提高；同时可以实现下抛光盘转动时不同倍数的无理数，极大提高了本装置的适用范围。

附图说明

图1是本发明一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构的主视结构示意图。

图2是本发明驱动电机和第一行星轮系与第二行星轮系的连接示意图。

图3是本发明一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构的轴测图。

图4是本发明第一行星轮系与第二行星轮系的结构简图。

图5是本发明的角速度示意图。

图中，1-圆柱直齿行星齿轮、2-圆柱直齿齿轮机架、3-圆柱直齿输出齿轮、4-行星架、5-直齿锥齿轮机架、6-输入直齿锥齿轮、7-行星架、8-驱动电机、9-下抛光盘、10-转动轴、11-安装座、12-第一连接杆、13-第二连接杆、14-第三连接杆、15-和第四连接杆。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明：

如图1～3所示，一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，包括下抛光盘9、安装座11和转动轴10，所述下抛光盘9套装在转动轴10的上端，所述下抛光盘9安装在安装座11内；还包括第一行星轮系、第二行星轮系、行星架7和驱动电机8，所述驱动电机8竖直固定在安装座11内。

所述第一行星轮系包括输入直齿锥齿轮6、直齿锥齿轮机架5和行星架4，所述直齿锥齿轮机架5固定不动，输入直齿锥齿轮6与直齿锥齿轮机架5相啮合，输入直齿锥齿轮6通过行星架7连接驱动电机8，驱动电机8通过行星架7带动输入直齿锥齿轮6转动时带动输入直齿锥齿轮6绕直齿锥齿轮机架5转动；所述行星架4的一端与输入直齿锥齿轮6的中心轴固定连接。

所述第二行星轮系包括圆柱直齿行星齿轮1、圆柱直齿齿轮机架2和圆柱直齿输出齿轮3，所述圆柱直齿齿轮机架2固定在支撑座上，圆柱直齿输出齿轮3设置在圆柱直齿齿轮机架2内部，圆柱直齿行星齿轮1同时与圆柱直齿齿轮机架2的内齿轮和圆柱直齿输出齿轮3的外齿轮啮合，圆柱直齿输出齿轮3与转动轴10的底部固定连接，圆柱直齿行星齿轮1转动时绕圆柱直齿齿轮机架2的内圈转动并带动圆柱直齿输出齿轮3转动；所述行星架4的另一端与圆柱直齿行星齿轮1的中心轴固定连接。

所述驱动电机8、直齿锥齿轮机架5、圆柱直齿齿轮机架2、圆柱直齿输出齿轮3、转动轴10和下抛光盘9的轴心线都在同一条直线上。

所述行星架4包括依次连接的第一连接杆12、第二连接杆13、第三连接杆14和第四连接杆15，所述第二连接杆13竖直设置，第二连接杆13的轴心线与直齿锥齿轮机架5的轴心线在同一条直线上，所述第一连接杆12的一端连接输入直齿锥齿轮6的中心轴，所述第四连接杆15的一端连接圆柱直齿行星齿轮1的中心轴。

所述第一连接杆12和第三连接杆14均垂直于所述第二连接杆13设置，所述第一连接杆12和第三连接杆14相互平行。

所述第一连接杆12、第二连接杆13、第三连接杆14和第四连接杆15的轴心线在同一平面上。

更换不同的行星架4，使第一连接杆12的长度不同，进而改变直齿锥齿轮机架5的轴心线与驱动电机8的轴心线的夹角，能够实现下抛光盘9转动时不同倍数的无理数。

更换输入直齿锥齿轮6、直齿锥齿轮机架5、圆柱直齿行星齿轮1、圆柱直齿齿轮机架2和圆柱直齿输出齿轮3中任意一个齿轮的齿数，能够实现下抛光盘9转动时不同倍数的无理数。

如图4和图5所示，将一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构简化成机械简图和角速度多边形图，可经过严谨计算得出：

式中，圆柱直齿输出齿轮3、圆柱直齿齿轮机架2、圆柱直齿行星齿轮1、输入直齿锥齿轮6和直齿锥齿轮机架5的齿数分别为：z₁＝30，z₂＝80，z₃＝20，z₄＝z₇＝30，输入直齿锥齿轮6和直齿锥齿轮机架5的中心线所形成的轴角Σ＝60°，输入转速为n₇，输出转速为n₃。

将数据代入上式得到：该数值为无理数。

应该说明的是，可以通过改变轴角Σ来改变无理数转速比，一个周期内只有有限个时间点时转速比才为有理数，因此可以认为输出的转速为无理数。

上述实施例只是本发明的较佳实施例，并不是对本发明技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本发明专利的权利保护范围内。