1.一种铝锰合金靶材的制造方法,包括:
制取板坯,板坯化学组分的质量比为,铝:75~95%,锰:5~25%;
将成型板坯装入模具中,放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品;
铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。
2.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:成型板坯为铝锰合金铸锭,表面粗糙度为1.0~3.0m。
3.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:热压烧结时,热压炉内真空度高于1×10-2Pa,烧结温度为600~800℃,成型压力为5~20MPa,保温保压1~2小时。
4.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:对铝锰合金靶材制品进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。