铝锰合金靶材的制造方法与流程

文档序号:12415678阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种铝锰合金靶材的制造方法,包括:

制取板坯,板坯化学组分的质量比为,铝:75~95%,锰:5~25%;

将成型板坯装入模具中,放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材制品;

铝锰合金靶材制品经机加工后得到靶材产品。

2.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:成型板坯为铝锰合金铸锭,表面粗糙度为1.0~3.0m。

3.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:热压烧结时,热压炉内真空度高于1×10-2Pa,烧结温度为600~800℃,成型压力为5~20MPa,保温保压1~2小时。

4.如权利要求1所述铝锰合金靶材的制造方法,其特征在于:对铝锰合金靶材制品进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。

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