下芯机及坭芯下芯罩的制作方法

文档序号:11957568阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种坭芯下芯罩,包括罩体(1),所述罩体(1)上设置有用于定位坭芯的定位件(2);其特征在于,所述罩体(1)上还设置有用于与所述定位件(2)配合以将所述坭芯夹紧进行下芯的弹性件(3)。

2.根据权利要求1所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述弹性件(3)的端面与所述定位件(2)的定位面相对设置以作用于所述坭芯相对的两个面。

3.根据权利要求1所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述弹性件(3)与所述罩体(1)可拆卸的固定连接。

4.根据权利要求3所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述弹性件(3)与所述罩体(1)通过螺钉连接。

5.根据权利要求3所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述罩体(1)上设置有多个用于固定所述弹性件(3)的固定部,所述弹性件(3)可选地与不同的所述固定部可拆卸的固定连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的坭芯下芯罩,其特征在于,还包括与所述罩体(1)固定连接的弹性件支座,所述弹性件支座上开设有凹槽,所述弹性件(3)置于所述凹槽内。

7.根据权利要求6所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述弹性件(3)能够沿所述凹槽滑动,所述凹槽的侧壁上设置有用于将所述弹性件(3)紧固的螺钉。

8.根据权利要求6任一项所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述罩体(1)上设置有多个所述定位件(2),与所述定位件(2)配合的均设置有所述弹性件(3)。

9.根据权利要求6所述的坭芯下芯罩,其特征在于,所述罩体(1)上开设有用于真空吸附所述坭芯的吸附孔。

10.一种下芯机,包括下芯工作台和坭芯下芯罩;其特征在于,所述坭芯下芯罩为如权利要求1-9任一项所述的坭芯下芯罩。

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