一种掩膜板框架及掩膜板组件的制作方法

文档序号:11040318阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种掩膜板框架及其组件,所述掩膜板框架包括:第一框架本体,所述第一框架本体上设置有第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部的支撑面与所述第一框架本体底面之间的第一距离大于所述第二支撑部的支撑面与所述第一框架本体底面之间的第二距离;所述第二支撑部在平行于第一框架本体底面的平面上的正投影完全落入所述第一支撑部在平行于第一框架本体底面的平面的正投影内;放置于所述第一支撑部的支撑面上的第二框架本体。掩膜板组件中,掩膜固定在第二框架上,避免掩膜边角的悬空,减小掩膜的翘边和褶皱不良;同时,对掩膜进行重置时,可直接将第二框架从第一框架上取下,替换新的第二框架,提高了第一框架的利用率,降低成本。

技术研发人员:高静
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
文档号码:201621301738
技术研发日:2016.11.30
技术公布日:2017.05.24

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