技术特征：
技术总结
本发明属于传感器技术领域，提供一种带自愈合复合防护层的高温薄膜传感器及其制备方法，用以实现传感器微型化、薄膜化应用；本发明薄膜传感器由自下而上依次设置的衬底、薄膜传感器敏感功能层和自愈合复合防护层所构成，其中，所述自愈合复合防护层的结构自下而上依次为YSiO/HfSiBCN周期性多层膜结构，防护层的最下层以及最上层均为YSiO低氧扩散系数层。本发明采用具有周期性多层膜结构的自愈型复合防护层，YSiO低氧扩散系数层和HfSiBCN自愈合层交替沉积形成“层层设防”的抗氧化防护体系，从而使薄膜传感器能够在600℃～1500℃高温条件下能够长时间工作，具有耐高温、耐腐蚀、抗氧化、响应迅速等优点。
技术研发人员：蒋洪川;王洪敏;刘子良;赵晓辉;蒋书文;张万里
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2017.05.05
技术公布日：2017.09.26