技术特征：
技术总结
本发明公开一种具有硬度梯度层支撑的TiAlN复合超硬涂层及其制备方法，所述超硬涂层为自下到上分别为基体材料、扩伸层及沉积层的三层结构；所述基体材料为导电材料；所述的扩伸层为等离子氮碳共渗层；所述的沉积层为氮铝钛涂层。致密TiAlN超硬膜层赋予基材充分的耐磨能力；等离子氮碳共渗层具有硬度梯度，可显著增强对表面硬脆层的支撑，有效地提升TiAlN超硬膜层的承载能力。并且，氮碳还增大了零件表层的残余应力值，赋予了其更大的疲劳抗力。同时，氮碳共渗层的氮化物、碳化物在热物理性能上与TiAlN膜层更匹配，膜/基界面更融合，因而使膜层具有更牢固、可靠的结合力，也具有更高的抗热疲劳性能。
技术研发人员：聂丽丽
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十三研究所
技术研发日：2017.12.29
技术公布日：2018.04.20