一种管式PECVD结构的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种管式PECVD结构。

背景技术：

太阳能是一种绿色环保的新能源，利用太阳光发电的太阳能电池是对太阳能利用的最普遍的一种方式，制备氮化硅减反射膜是制造高效率太阳能的重要环节。氮化硅膜通常采用PECVD技术生成。PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)又称等离子体增强化学气相沉积法，技术原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应,在硅片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD目前有板式和管式两种，而管式PECVD以低温生膜、成膜速度快且较为均匀等诸多优势而被广泛使用。在管式PECVD在运行时，会有因为真空泵停转而导致真空泵腔内及连接管中氮化硅粉尘回灌进炉管的现象，给生产带来额外的负担。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种管式PECVD结构，解决了现有管式PECVD 在运行时，真空泵停转而导致真空泵腔内及连接管中氮化硅粉尘倒流进炉管的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种管式PECVD结构，包括单向阀，所述单向阀包括阀体和设置于所述阀体内的活塞组件，所述阀体的一端口与所述管式PECVD结构的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，

所述炉管的连接所述阀体的端口位于所述活塞组件的底部、所述连接管的连接所述阀体的端口位于所述活塞组件的侧部，以使所述活塞组件将所述炉管和所述连接管隔开；

当所述炉管中的气体压强大于所述连接管中的气体压强时，所述炉管中的气体能够推动所述活塞组件向上运动，以使所述炉管和所述连接管连通，气体由所述炉管流入所述连接管内。

该管式PECVD结构通过在炉管和连接管之间连接单向阀，阀体的一端口与管式PECVD结构的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动所述活塞组件向上运动，以使所述炉管和所述连接管连通，使炉管内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，而不会反向倒流，在真空泵因为某种原因停转时就不会导致炉管内气体回流而导致氮化硅粉尘污染的情况出现，有效地降低了生产成本，节省了人力物力。

作为上述管式PECVD结构的一种优选方案，所述阀体的顶部和所述活塞组件之间设置弹性件。弹性件的设置能够对活塞组件的移动起缓冲作用。

作为上述管式PECVD结构的一种优选方案，所述活塞组件包括套筒和置于套筒内且相对于套筒可上下移动的活塞，所述套筒固定于所述阀体内侧的顶部，所述弹性件一端穿过所述套筒与所述阀体连接，另一端与所述活塞连接。套筒的设置对活塞起导向作用。

作为上述管式PECVD结构的一种优选方案，所述活塞包括相互连接的活塞杆和活塞头，所述活塞杆穿设在所述套筒内并能相对于所述套筒上下移动，所述活塞头位于所述套筒的外部，所述活塞头的直径等于位于所述活塞组件的底部的所述阀体的端口的直径。如此设置使得当气体反向倒流时，气体带动活塞向下移动，防止气体从连接管内流入炉管内。

作为上述管式PECVD结构的一种优选方案，所述阀体的顶部且位于所述套筒内设置有至少一根导向柱，所述导向柱的长度方向与所述活塞组件的移动方向相同，所述活塞上设置有与所述导向柱相适配的导向孔，所述导向柱伸入所述导向孔设置，所述导向柱外侧套设有所述弹性件。导向柱的设置对弹性件起导向作用，防止弹性件在伸缩过程中歪斜引起气体泄漏的情况发生。

作为上述管式PECVD结构的一种优选方案，在所述套筒顶面的投影以所述套筒顶面的中心为中心环向均匀分布，使得活塞在上下移动过程中比较稳定。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提出的管式PECVD结构，通过在炉管和连接管之间连接单向阀，阀体的一端口与管式PECVD结构的炉管相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管相连通，当炉管中的气体压强大于连接管中的气体压强时，炉管中的气体能够推动所述活塞组件向上运动，以使所述炉管和所述连接管连通，使炉管内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，而不会反向倒流，在真空泵因为某种原因停转时就不会导致炉管内气体回流而导致氮化硅粉尘污染的情况出现，有效地降低了生产成本，节省了人力物力。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的管式PECVD结构抽气时的剖面示意图；

图2是本实用新型具体实施方式提供的管式PECVD结构反向倒流时的剖面示意图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的活塞组件的结构示意图。

其中：

1、单向阀；2、炉管；3、连接管；

11、阀体；12、活塞组件；13、弹性件；

121、套筒；122、活塞；

1221、活塞杆；1222、活塞头；1211、导向柱。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施方式提供一种管式PECVD结构，如图1-3所示，该管式PECVD结构包括单向阀1，单向阀1包括阀体11和设置于阀体11内的活塞组件12，阀体 11的一端口与管式PECVD结构的炉管2相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管3相连通，炉管2的连接阀体11的端口位于活塞组件12的底部、连接管3 的连接阀体11的端口位于活塞组件12的侧部，以使活塞组件12将炉管2和连接管3隔开；

如图1所示，当炉管2中的气体压强大于连接管3中的气体压强时，炉管2 中的气体能够推动活塞组件12向上运动，以使炉管2和连接管3连通，气体由炉管2流入连接管3内。如图2所示，当炉管2内的气体压强小于连接管3内的气体压强时，由于连接管3连接在位于活塞组件12侧部的阀体11的端口处，无法推动活塞组件12向上移动以致气体不能流入炉管2中。阀体11的顶部和活塞组件12之间设置弹性件13，用于对活塞组件12的上下移动起缓冲作用。

如图3所示，活塞组件12包括套筒121和置于套筒121内且相对于套筒121 可上下移动的活塞122，套筒121固定于阀体11内侧的顶部，套筒121的顶面设置通孔(图中未示出)，弹性件13一端由通孔穿过套筒121与阀体11连接，另一端与活塞122连接，套筒121的设置对活塞122起导向作用。活塞122包括相互连接的活塞杆1221和活塞头1222，活塞杆1221穿设在套筒121内并能相对于套筒121上下移动，活塞头1222位于套筒121的外部，活塞头1222的直径等于活塞组件12的底部的阀体11的端口的直径，如此设置使得当气体反向倒流时，活塞122能够防止气体流入炉管2内。

阀体11的顶部且位于套筒121内设置有至少一根导向柱1211，导向柱1211 的长度方向与活塞组件12的移动方向相同，活塞122上设置有与导向柱1211 相适配的导向孔(图中未示出)，即导向孔设置在活塞杆1221上，导向柱1211 导向孔设置，导向柱1211外侧套设有弹性件13，当活塞杆1221上下移动时，导向柱1211引导导向孔上下移动，同时对套设在导向柱1211外侧的弹性件13 起导向作用，防止弹性件13在伸缩过程中歪斜引起气体泄漏的情况发生。多根导向柱1211在套筒121顶面的投影以套筒121顶面的中心为中心环向均匀分布。使得活塞122在上下移动过程中比较稳定。优选的，在阀体11上设置3根导向柱1211，3根导向柱1211在套筒121顶面的投影以套筒121顶面的中心为中心环向均匀分布，相应的，活塞杆1221的相应位置设置有与3根导向柱1211相适配的导向孔。

上述PECVD结构通过在炉管2和连接管3之间连接单向阀1，阀体11的一端口与管式PECVD结构的炉管2相连通，另一端口与连接有真空泵的连接管3 相连通，当炉管2中的气体压强大于连接管3中的气体压强时，炉管2中的气体能够推动所述活塞组件12向上运动，以使所述炉管2和所述连接管3连通，使炉管2内气体只能沿着真空泵抽气方向抽离，而不会反向倒流，在真空泵因为某种原因停转时就不会导致炉管2内气体回流而导致氮化硅粉尘污染的情况出现，有效地降低了生产成本，节省了人力物力。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。