一种蒸镀坩埚的制作方法

文档序号:15730936发布日期:2018-10-23 17:16阅读:186来源:国知局

本实用新型涉及显示设备技术领域,特别涉及一种蒸镀坩埚。



背景技术:

在有机发光二极管的生产过程中需要用到蒸镀坩埚来对有机发光二极管进行镀膜,由于膜层是连续进行蒸镀的,设计上通常是一条连续的产线,所以,可用的生产时间受到加材料等时间的影响,现有的技术中,蒸镀坩埚都是采用螺丝拧紧坩埚本体和坩埚罩,很容易出现螺丝向外侧偏移导致坩埚本体和坩埚罩损坏,坩埚本体和坩埚罩的损坏会影响蒸镀坩埚升温后的工艺条件而增加了蒸镀坩埚加材料所用的时间,从而降低了生产效率。



技术实现要素:

本实用新型提供了一种蒸镀坩埚,上述蒸镀坩埚能够有效提高使用寿命并提高生产效率。

为达到上述目的,本实用新型提供以下技术方案:

一种蒸镀坩埚,包括:

内部形成坩埚腔体的坩埚本体,所述坩埚本体中设有位于所述坩埚腔体开口处的边沿部,所述边沿部设置有多个第一连接孔;

坩埚罩,所述坩埚罩的边缘部与所述边沿部搭接,且所述边缘部设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔;

连接所述第一连接孔和所述第二连接孔的紧固螺栓;

与所述第二连接孔一一对应的垫片,所述垫片包括轴心线与所述第二连接孔中心线相重合的螺丝孔,且每一个所述垫片与所述坩埚罩之间通过锁定机构锁定。

上述蒸镀坩埚包括坩埚本体,坩埚本体内部形成坩埚腔体,坩埚本体设有位于坩埚腔体开口处的边沿部,边沿部设置有多个第一连接孔,蒸镀坩埚还包括与坩埚本体相对接的坩埚罩,坩埚罩通过其边缘部与坩埚本体的边沿部搭接,边缘部有用于与第一连接孔一一对应以进行连接的第二连接孔,第一连接孔与第二连接孔之间通过紧固螺栓进行连接,紧固螺栓的头部与坩埚罩之间设有与第二连接孔一一对应的垫片,垫片的具有轴心线与第二连接孔中心线相重合的螺丝孔,紧固螺栓依次穿过螺丝孔、第一连接孔和第二连接孔,每一个垫片与坩埚罩之间通过锁定机构锁定,这样保证两者之间不发生位移,垫片作为一个限位固定机构使得紧固螺栓穿过垫片的螺丝孔而得到固定,当紧固螺栓紧固时不会向坩埚罩的外侧边缘发生偏移,由此可避免由于紧固螺栓拧不紧或紧固螺栓拧的过紧导致紧固螺栓向外侧偏移而导致坩埚本体和坩埚罩的损坏,从而保护坩埚罩和坩埚本体,减少了蒸镀坩埚维修和维护的成本,节省了人力物力,且垫片与坩埚罩采用分体设计,在长时间使用后,垫片受到磨损时可以更换垫片,保证坩埚罩不受到磨损,既能解决坩埚罩受损的问题,又可以节约维修坩埚罩和更换新坩埚罩的成本,提升了坩埚的使用寿命;同时可以避免因坩埚本体和坩埚罩的损坏而影响蒸镀坩埚升温后的工艺条件,蒸镀坩埚升温后的工艺条件受到影响后需要增加材料来进行补偿,采用上述蒸镀坩埚能够减少增加材料的次数,从而可有效提高生产效率。

优选地,所述锁定机构包括相互配合的至少两组定位销孔和定位销。

优选地,所述定位销设置于所述垫片,所述定位销孔设置于所述坩埚罩。

优选地,所述边沿部设有与所述第一连接孔一一对应的第一凹陷,且沿所述边沿部外侧指向坩埚腔体中心的方向,所述第一凹陷的底面与所述边沿部朝向所述坩埚罩的表面之间的距离逐渐减小。

优选地,所述蒸镀坩埚还包括与所述紧固螺栓螺纹配合的螺母,且所述螺母朝向所述边沿部的表面与所述边沿部背离所述坩埚罩的表面贴合。

优选地,所述螺母与所述边沿部配合,当所述螺母处于正确位置时,所述螺母的厚度沿所述边沿部外侧指向坩埚腔体中心的方向逐渐增加。

优选地,所述坩埚罩的边缘部设有与所述第二连接孔一一对应的第二凹陷,且沿所述边缘部外侧指向坩埚罩中心的方向,所述第二凹陷的底面与所述边缘部朝向所述坩埚本体的表面之间的距离逐渐减小。

优选地,所述垫片与所述坩埚罩边缘部接触表面形成与所述边缘部相配合的形状,即当所述垫片处于正确位置时,所述垫片的厚度沿所边缘部外侧指向所述坩埚罩中心的方向逐渐增加,所述垫片另一侧表面为平面。

优选地,所述坩埚本体采用钛材质。

优选地,所述垫片采用钛材质。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种蒸镀坩埚;

图2为本实用新型提供的一种垫片;

图3为本实用新型提供的一种包含垫片的坩埚罩的俯视图。

图标:

1-坩埚本体;11-坩埚腔体;12-边沿部;121-第一连接孔;2-坩埚罩;21-边缘部;211-第二连接孔;3-紧固螺栓;4-垫片;41-螺丝孔;5-锁定机构;6-螺母。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1,本实用新型提供一种蒸镀坩埚,包括:

内部形成坩埚腔体11的坩埚本体1,坩埚本体1中设有位于坩埚腔体11开口处的边沿部12,边沿部12设置有多个第一连接孔121;

坩埚罩2,坩埚罩2的边缘部21与边沿部12搭接,且边缘部21设有与第一连接孔121一一对应的第二连接孔211;

连接第一连接孔121和第二连接孔211的紧固螺栓3;

与第二连接孔211一一对应的垫片4,垫片4包括轴心线与第二连接孔211中心线相重合的螺丝孔41,且每一个垫片4与坩埚罩2之间通过锁定机构5锁定,如图2和图3所示。

上述蒸镀坩埚包括坩埚本体1,坩埚本体1内部形成坩埚腔体11,坩埚本体1设有位于坩埚腔体11开口处的边沿部12,边沿部12设置有多个第一连接孔121,蒸镀坩埚还包括与坩埚本体1相对接的坩埚罩2,坩埚罩2通过其边缘部21与坩埚本体1的边沿部12搭接,边缘部21有用于与第一连接孔121一一对应以进行连接的第二连接孔211,第一连接孔121与第二连接孔211之间通过紧固螺栓3进行连接,紧固螺栓3的头部与坩埚罩2之间设有与第二连接孔211一一对应的垫片4,垫片4的具有轴心线与第二连接孔211中心线相重合的螺丝孔41,紧固螺栓3依次穿过螺丝孔41、第一连接孔121和第二连接孔211,每一个垫片4与坩埚罩2之间通过锁定机构5锁定,这样保证两者之间不发生位移,垫片4作为一个限位固定机构使得紧固螺栓3穿过垫片4的螺丝孔41而得到固定,当紧固螺栓3紧固时不会向坩埚罩2的外侧边缘发生偏移,由此可避免由于紧固螺栓3拧不紧或紧固螺栓3拧的过紧导致紧固螺栓3向外侧偏移而导致坩埚本体1和坩埚罩2的损坏,从而保护坩埚罩2和坩埚本体1,减少了蒸镀坩埚维修和维护的成本,节省了人力物力,且垫片4与坩埚罩2采用分体设计,在长时间使用后,垫片4受到磨损时可以更换垫片4,保证坩埚罩2不受到磨损,既能解决坩埚罩2受损的问题,又可以节约维修坩埚罩2和更换新坩埚罩2的成本,提升了坩埚的使用寿命;同时可以避免因坩埚本体1和坩埚罩2的损坏而影响蒸镀坩埚升温后的工艺条件,蒸镀坩埚升温后的工艺条件受到影响后需要增加材料来进行补偿,采用上述蒸镀坩埚能够减少增加材料的次数,从而可有效提高生产效率。

具体地,锁定机构5包括相互配合的至少两组定位销孔和定位销。

锁定机构5采用至少两组定位销孔和定位销,操作简单且能够达到良好的定位和固定效果。

具体地,定位销设置于垫片4,定位销孔设置于坩埚罩2。

定位销设置于垫片4,定位销孔设置于坩埚罩2,当安装时将定位销对准定位销孔即可使垫片4得到固定,如图3所示,从而保证两者之间不发生位移,防止对坩埚本体1造成磨损。

具体地,边沿部12设有与第一连接孔121一一对应的第一凹陷,且沿边沿部12外侧指向坩埚腔体11中心的方向,第一凹陷的底面与边沿部12朝向坩埚罩2的表面之间的距离逐渐减小。

将坩埚本体1的边沿部12设计成外侧厚内侧薄的形状能够有效保障紧固螺栓3不会向外侧偏移,防止坩埚本体1和坩埚罩2受到损坏。

具体地,蒸镀坩埚还包括与紧固螺栓3螺纹配合的螺母6,且螺母6朝向边沿部12的表面与边沿部12背离坩埚罩2的表面贴合。

将与紧固螺栓3螺纹配合的螺母6设计成与边沿部12相配合的形状,能有效保障紧固螺栓3不会向外侧偏移,防止坩埚本体1和坩埚罩2受到损坏。

具体地,螺母6与边沿部12配合,当螺母6处于正确位置时,螺母6的厚度沿边沿部12外侧指向坩埚腔体11中心的方向逐渐增加。

螺母6设计成与边沿部12相配合的形状,在安装过程中首先将螺母6放置于正确的位置再旋入紧固螺栓3,当螺母6处于正确位置时,螺母6的厚度沿边沿部12外侧指向坩埚腔体11中心的方向逐渐增加,与外侧后内测薄的边沿部12完全贴合,能够能有效保障紧固螺栓3不会向外侧偏移,防止坩埚本体1和坩埚罩2受到损坏。

具体地,坩埚罩2的边缘部21设有与第二连接孔211一一对应的第二凹陷,且沿边缘部21外侧指向坩埚罩2中心的方向,第二凹陷的底面与边缘部21朝向坩埚本体1的表面之间的距离逐渐减小。

将坩埚罩2的边缘部21设计成外侧厚内侧薄的形状能够有效保障紧固螺栓3不会向外侧偏移,防止坩埚本体1和坩埚罩2受到损坏。

具体地,垫片4与坩埚罩2边缘部21接触表面形成与边缘部21相配合的形状,即当垫片4处于正确位置时,垫片4的厚度沿所边缘部21外侧指向坩埚罩2中心的方向逐渐增加,垫片4另一侧表面为平面。

将垫片4设计成内侧厚外侧薄的形状能够与外侧厚内侧薄边缘部21完全贴合,由此可以有效保障紧固螺栓3不会向外侧偏移,防止坩埚本体1和坩埚罩2受到损坏。

具体地,坩埚本体1采用钛材质。

具体地,垫片4采用钛材质。

垫片4采用与坩埚相同的钛材质,这样可以保证不影响坩埚的导热性能和工艺参数,不影响坩埚的导热性能及工艺。

显然,本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

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