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渗透屏障的制作方法
文档序号:20167007
发布日期:2020-03-24 21:45
阅读:
来源:国知局
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渗透屏障的制作方法
技术总结
在基材上提供渗透屏障层系统的方法,包括通过由PVD和/或由ALD沉积无机材料层系统(3)来建立渗透密封,从而通过将(2)聚合物材料层系统沉积在基材上并将无机材料层系统沉积在聚合物材料系统上来提供所述无机材料层系统的粘附性以及裂纹密封。
技术研发人员:
R.本茨;S.沃塞尔;J.维查尔特
受保护的技术使用者:
瑞士艾发科技
技术研发日:
2018.07.12
技术公布日:
2020.03.24
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