技术特征:
技术总结
本发明提供一种利用无表面活性剂溶液去除金属衬底表面杂质石墨烯的方法,包括利用盐酸‑双氧水溶液体系作为喷淋液,向金属衬底需要去除杂质石墨烯的一面喷淋喷淋液。本发明提供的方法是对金属衬底表面的杂质石墨烯进行去除和对金属衬底进行减薄,去除杂质石墨烯的过程中无需添加对环境有害的表面活性剂,减薄的金属衬底厚度均一。
技术研发人员:韩合坤;李涛
受保护的技术使用者:无锡第六元素电子薄膜科技有限公司;无锡格菲电子薄膜科技有限公司
技术研发日:2019.01.16
技术公布日:2019.05.10