蒸镀设备及蒸镀设备检测方法与流程

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法。

背景技术：

在蒸镀设备中，通过控制蒸镀源在封闭的有机腔体内来回移动对基板进行蒸镀。然而，为了保证所有基板能够完全蒸镀，蒸镀源的蒸镀行程通常要大于其基板的长度，并在蒸镀行程的起点和终点进行限位感应，避免蒸镀源的移动远超其蒸镀行程而与腔体内壁发生碰撞。

现有的蒸镀设备中，将超过蒸镀行程预设余量的位置作为限位基准位置，并在基准面上设置光电传感器。被封装在封闭有机腔体中的光电传感器设置在两侧的限位基准位置，用于在检测蒸镀源到超出蒸镀行程的异常移动时，输出警报信息至运动控制单元以停止蒸镀源的移动。

然而，光电传感器在高温环境下可靠性不高，在光电传感器输出警报信息时，可能是蒸镀源的机械结构故障导致其位置异常，也可能是光电传感器本身发生移位导致检测异常，需要中断蒸镀并开腔确认。因此，现有技术中对蒸镀源进行位置检测的方案可靠性不高。

技术实现要素：

本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法，当检测时长超过阈值时间时，获取超限报警信息，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。

根据本发明的第一方面，提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔体、蒸镀源以及位置传感器；所述位置传感器包括：第一弹性压缩部、微动开关以及计时单元；其中，所述蒸镀源、所述第一弹性压缩部、所述微动开关均设置于所述蒸镀腔体内；所述第一弹性压缩部的一端连接所述微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至所述起始接触位置时触发所述微动开关闭合；所述计时单元与所述微动开关电连接，用于响应所述微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长。

可选地，所述微动开关包括：静触点对和移动导电部；

所述静触点对设置在所述计时单元的供电线路上；

所述移动导电部的一侧与所述静触点对相对应，另一侧连接所述第一弹性压缩部，用于由所述第一弹性压缩部带动连通至所述静触点对。

可选地，还包括至少一个限位部，所述至少一个限位部设置于所述蒸镀腔体内，且所述至少一个限位部与所述微动开关位于所述起始接触位置的相同侧，

其中，所述至少一个限位部形成的限位面与所述起始接触位置的距离，小于所述微动开关与所述起始接触位置的距离。

可选地，还包括：可移动支持部；

所述可移动支持部的一侧与所述第一弹性压缩部延伸至与所述起始接触位置的一端连接，所述可移动支持部的另一侧用于与所述蒸镀源接触；

其中，所述可移动支持部与所述第一弹性压缩部连接的一侧还与至少一个所述限位部对应，以在所述可移动支持部到达所述限位面时与所述至少一个限位部抵设。

可选地，还包括：与所述限位部一一对应的第二弹性压缩部；

所述第二弹性压缩部的一端连接所述限位部，另一端延伸至与所述起始接触位置并连接所述可移动支持部。

可选地，还包括：数据处理单元；

所述数据处理单元与所述计时单元电连接，用于从所述计时单元获取所述检测时长；在所述检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长的一半和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的位移距离；在所述检测时长大于或等于所述时长阈值时，获取超限报警信息；

其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面与所述起始接触位置的距离。

可选地，还包括：数据处理单元；

所述数据处理单元与所述蒸镀源的驱动单元连接，用于从所述驱动单元获取驱动方向信息或者驱动停止信息；

所述数据处理单元还与所述计时单元电连接，用于在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元发送停止计时的指令，并从所述计时单元获取计时时长作为所述检测时长；根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的位移距离。

可选地，所述蒸镀源的预设行程的两端都分别设置有至少一个所述位置传感器，且所述两端的端点位置均设置在与端点对应的所述起始接触位置、所述微动开关之间。

根据本发明的第二方面，提供一种蒸镀设备检测方法，应用于本发明第一方面及第一方面各种可能设计所述的蒸镀设备，所述方法包括：

从所述计时单元获取所述检测时长；

在所述检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长或者所述检测时长的一半，和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的所述位移距离；

在所述检测时长大于或等于所述时长阈值时，获取超限报警信息；

其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动预设限位距离的时长或为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面与所述起始接触位置的距离。

根据本发明的第三方面，提供一种蒸镀设备检测方法，应用于本发明第一方面及第一方面各种可能设计所述的蒸镀设备，所述方法包括：

从所述驱动单元获取驱动方向信息或者驱动停止信息；

在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元发送停止计时的指令，并从所述计时单元获取计时时长作为所述检测时长；

根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离。

本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法，通过将蒸镀源、第一弹性压缩部、微动开关均设置于蒸镀腔体内；第一弹性压缩部的一端连接微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至起始接触位置时触发微动开关闭合；计时单元与微动开关电连接，用于响应微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长，当检测时长大于阈值时长时，获取超限报警信息，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。而且，本实施例中供电控制装置与蒸镀源接触和联动的结构均为机械结构，耐受蒸镀腔体内的高温环境，具有较高的结构稳定性。

附图说明

图1是现有技术中的一种蒸镀设备示意图；

图2是本发明实施例提供的一种位置传感器结构示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种位置传感器结构示意图；

图4是本发明实施例提供的再一种位置传感器结构示意图；

图5是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；

图6是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；

图7是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；

图8是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；

图9是本发明实施例提供的一种蒸镀设备检测方法流程示意图；

图10是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；

图11是本发明实施例提供的另一种蒸镀设备检测方法流程示意图；

图12是本发明实施例提供的一种蒸镀设备结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个、三个等，除非另有明确具体的限定。

应当理解，在本发明中，“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列单元的系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它单元。

应当理解，在本发明中，“多个”是指两个或两个以上。“包括a、b和c”是指a、b、c三者都包括，“包括a、b或c”是指包括a、b、c三者之一，“包括a、b和/或c”是指包括a、b、c三者中任1个或任2个或3个。

应当理解，在本发明中，“与a对应的b”、“与a相对应的b”、“a与b相对应”或者“b与a相对应”，表示b与a的形状或功能具有对应关系，根据a可以确定b。根据a确定b并不意味着仅仅根据a确定b，还可以根据a和/或其他信息确定b。

下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终以相同或类似的标号表示相同或类似的组件或具有相同或类似功能的组件。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

在蒸镀设备中，通过控制蒸镀源在封闭的有机腔体内来回移动对基板进行蒸镀。然而，为了保证所有基板能够完全蒸镀，蒸镀源的蒸镀行程通常要大于其基板的长度，并在蒸镀行程的起点和终点进行限位感应，避免蒸镀源的移动远超其蒸镀行程而与腔体内壁发生碰撞。

现有的蒸镀设备中，将超过蒸镀行程预设余量的位置作为限位基准位置，并在基准面上设置光电传感器11。参见图1，是现有技术中的一种蒸镀设备示意图。如图1中所示，待蒸镀的两块基板(基板a、基板b)的尺寸均为750*650mm，基板的蒸镀有效距离为1500mm，两块基板间隔500mm，蒸镀源的蒸镀行程为2698mm，将距离蒸镀行程的起点和终点3至5mm的位置作为限位基准位置。如图1所示，光电传感器11和挡块12与基板、蒸镀源一起被封装在有机腔体中，光电传感器11设置在两侧的限位基准位置，挡块12设置在基准面之后5mm的位置。光电传感器11在检测蒸镀源到超出蒸镀行程的异常移动时，输出警报信息至运动控制单元以停止蒸镀源的移动。挡块12用于最后的机械限位保障。

然而，在光电传感器11输出警报信息时，可能是蒸镀源的机械结构故障导致其位置异常，也可能是光电传感器11本身发生移位导致检测异常。因此，现有技术中以光电传感器11对蒸镀源进行位置检测的方案可靠性不高。而无论是光电传感器的位置异常，还是蒸镀源的位置异常，都必须停止蒸镀源的运动并进行开腔操作，才能对内部封装的结构进行调整。但是，开腔操作复杂且成本较高，提高了蒸镀设备的维护难度。

为了解决现有蒸镀设备维护难的问题，本发明提供了一种具有位置传感器的蒸镀设备，通过位置传感器将对蒸镀源的位置检测转化为时长检测，从而获得蒸镀源相对于基准面的偏离距离，提高了位置检测的准确性。

并且，通过对基准时长的调节，实现对蒸镀行程端点位置的调整，提高对蒸镀源位置检测的可靠性，无需开腔操作，提高了蒸镀源位置异常处理的效率，并降低了作业成本。

下面结合附图和具体实施例对本发明的各种可能实现方式进行说明和举例。

参见图2，是本发明实施例提供的一种位置传感器结构示意图。图2所示的位置传感器包括：第一弹性压缩部1、微动开关2以及计时单元3。其中，微动开关2与计时单元3电连接，计时单元3用于响应微动开关2的闭合，开始计时，并输出检测时长。微动开关2与计时单元3的电连接，例如可以是微动开关2设置在计时单元3的供电回路上，当微动开关2断开时，计时单元3掉电不工作，而当微动开关2闭合时，计时单元3上电工作。又例如，微动开关2连接在计时单元3的计时控制端与高电平端之间，当微动开关2断开时，计时单元3因控制端低电平不计时，当微动开关2闭合时，计时单元3因控制端高电平，初始化计时时长并开始计时。可见，计时单元3的计时时长可以理解为是微动开关2的闭合时长。

继续参见图2，所述第一弹性压缩部1的一端连接所述微动开关2，另一端延伸至预设的起始接触位置a，用于在蒸镀源移动至所述起始接触位置a时触发所述微动开关2闭合。第一弹性压缩部1例如可以是弹簧、簧片24等可弹性伸缩的部件。可以理解为，第一弹性压缩部1未发生弹性形变的正常状态下，其一端抵在微动开关2处，另一端抵在起始接触位置a。在蒸镀源到达起始接触位置a并继续向微动开关2方向移动的过程中，第一弹性压缩部1被蒸镀源压缩并将微动开关2推动至闭合状态，然后，第一弹性压缩部1在闭合的微动开关2与蒸镀源之间被继续弹性压缩，直到蒸镀源停止向微动开关2方向的移动。

其中，所述计时单元3用于响应所述微动开关2的闭合进行计时，并输出检测时长，以换算所述蒸镀源超出所述起始接触位置a的位移距离。可以理解地，由于蒸镀源可以理解为是匀速移动的，因此蒸镀源移动的距离与移动的时间是正比例关系。因此，通过计时单元3获取微动开关2的闭合时长，就能确定出蒸镀源在到达起始接触位置a之后，继续超过起始接触位置a的位移距离。例如，假设蒸镀源的移动速度为1cm/s，计时单元3输出的检测时长为2s，那么，考虑蒸镀源的来回移动的情况(即实际单向移动的时长为1s)，可以确定出其位移距离为1cm/s*1s＝1cm。又例如，假设蒸镀源超过起始接触位置a后持续移动直至将第一弹性压缩部1压缩至最大压缩距离，并被微动开关2限位无法继续移动。在一些实施例中，可以是计时单元3持续计时并输出大于时长阈值的检测时长时，可以由此确定蒸镀源移动超限。或者，在另一些实时例中，可以是蒸镀源的驱动电机无法移动发出指示移动超限的报警信息。

上述实施例中的微动开关2可以有多种实现方式，例如参见图3，是本发明实施例提供的另一种位置传感器结构示意图，或者参见图4，是本发明实施例提供的再一种位置传感器结构示意图。在图3、图4所示的位置传感器结构中，所述微动开关2均包括：静触点对21和移动导电部。

例如，静触点对21设置在计时单元3的供电线路上；移动导电部的一侧与静触点对21相对应，另一侧连接所述第一弹性压缩部1，用于由所述第一弹性压缩部1带动连通至所述静触点对21。移动导电部与静触点对21相对应的一侧用于在接触静触点对21时将两个静触点导通。

例如，图3所示实施例中的移动导电部包括支撑弹片22和导电板23，支撑弹片22的一端固定，另一端连接导电板23，以使得导电板23能够与静触点对21维持微小距离，并在导电板23被第一弹性压缩部1带动时与静触点对21接触导通，微动开关2闭合。导电板23例如可以是金属板。

又例如，图4所示实施例中的移动导电部为簧片24。簧片24的一端与静触点对21中的一个静触点连接，另一端悬空而与另一个静触点维持微小距离。簧片24在被第一弹性压缩部1带动时，其悬空的所述另一端与所述另一个静触点接触，以使静触点对21导通，微动开关2闭合。

本实施例提供一种供电控制装置，通过微动开关与计时单元电连接，来控制所述计时单元的计时；以第一弹性压缩部的一端连接微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，在蒸镀源移动至所述起始接触位置时触发所述微动开关闭合；以计时单元响应所述微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。而且，本实施例中供电控制装置与蒸镀源接触和联动的结构均为机械结构，耐受蒸镀腔体内的高温环境，具有较高的结构稳定性。

进一步地，该检测时长可用于指示蒸镀源超出起始接触位置的位移距离，在以机械结构对蒸镀源的移动检测，提高检测可靠性的同时，以检测时长体现蒸镀源的位移距离，提高了检测的准确性。

在上述实施例的基础上，还可以加入限位部4，从而在微动开关2之外增加机械限位的结构，提高位置传感器的限位可靠性。具体地参见图5，是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图。如图5所示的结构是在前述实施例的基础上增加了至少一个限位部4。假如是图5所示的两个限位部4，则两个限位部4右端对齐并形成一个限位面b。其中，所述限位部4与所述微动开关2位于所述起始接触位置a的相同侧，所述至少一个限位部4形成的限位面b与所述起始接触位置a的距离，小于所述微动开关2与所述起始接触位置a的距离。在图5所示的实施例中，蒸镀源移动异常的情况下很可能一直往微动开关2的方向移动，随着第一弹性压缩部1的逐渐被压缩，微动开关2受到的压力逐渐增大，假如蒸镀源的电机驱动力较大，很可能损坏微动开关2。而在如图5所示设置有限位部4的结构中，蒸镀源在到达限位面b的位置后就将被挡住无法继续移动，避免了对微动开关2进一步的压力。可以理解为，微动开关2的静触点对21可以有一定限位能力，但将限位面b设置在微动开关2与起始接触位置a之间，可以防止蒸镀源碰撞微动开关2或其他结构，进一步提高限位效果。

在一些实施例中，蒸镀源正常工作状态下的移动行程，可以被设置为在行程边缘包含起始接触位置a。继续参见图5，所述蒸镀源的预设行程的端点位置c在所述限位面b与所述起始接触位置a之间。蒸镀源的预设行程的端点位置c可以理解为蒸镀源正常工作情况下应当移动到的最边缘端点位置c。蒸镀源在没有发生移动异常的正常状态下，其在图5中左移到端点位置c后返回右移，端点位置c到起始接触位置a的距离可以根据此时输出的检测时长确定。例如检测时长为2s，则其应当为用于指示端点位置c到起始接触位置a的距离的标准时长。而如果检测时长大于2s，例如为4s，而蒸镀源的移动速度为1cm/s，则可以确定蒸镀源移动异常，蒸镀源移动超出当前的端点位置c的距离为1cm，蒸镀源移动超出起始接触位置a的距离为2cm。由此，本实施例通过设置限位部，提高了位置传感器的限位可靠性。

在图5所示实施例的基础上，为了提高限位效果，还可以增加用于与蒸镀源接触的可移动支持部5，参见图6，是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图。图6所示的结构还包括：可移动支持部5。所述可移动支持部5的一侧与所述第一弹性压缩部1延伸至与所述起始接触位置a的一端连接，所述可移动支持部5的另一侧用于与所述蒸镀源接触，其中，所述可移动支持部5与所述第一弹性压缩部1连接的一侧还与所述至少一个限位部4对应，以在所述可移动支持部5被所述蒸镀源推移至所述限位面b时与所述至少一个限位部4抵设。具体地，可移动支持部5例如可以是如图6所示的平板结构，其两端分别与一个限位部4对应，能够在蒸镀源移动到限位面b时与两个限位部4接触抵设，防止蒸镀源继续移动。

在图6所示的实施例中，两个限位部4之间的间距可以不被限制，例如可以是大于蒸镀源的长度，但可移动支持部5在限位部4分布方向上的长度应大于两个限位部4之间的间距，以便在可移动支持部5被蒸镀源推移至限位面b时与限位部4共同形成对蒸镀源的阻挡。本实施例通过设置可移动支持部，能够进一步提高限位部的限位可靠性，降低因限位部位置设置与蒸镀源不匹配而造成限位失效的可能性。

在上述实施例的基础上，为了平衡可移动支持部5的受力，并提高微动开关2的检测灵敏性，增加了第二弹性压缩部6的结构，参见图7，是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图。在图7所示的位置传感器结构中，还包括：与所述限位部4一一对应的第二弹性压缩部6。所述第二弹性压缩部6的一端连接所述限位部4，另一端延伸至与所述起始接触位置a并连接所述可移动支持部5。通过第二弹性压缩部6，可以避免可移动支持部5在收到蒸镀源推力时出现歪斜，提高了限位可靠性。

在图7所示的实施例中，微动开关2还可以采用静触点对21和导电板23的组成结构。其中，静触点对21串联连接在计时单元3的供电线路中。导电板23的一侧与静触点对21相对应，另一侧与第一弹性压缩部1连接。在第一弹性压缩部1处于无弹性形变状态下，一端连接可移动支持部5，另一端连着导电板23。由于可移动支持部5还通过第二弹性压缩部6连接限位部4，因此在与蒸镀源脱离接触而不受推力的情况下，可移动支持部5被第二弹性压缩部6推至起始接触位置a，继而带动第一弹性压缩部1的一端也恢复到起始接触位置a，以使得将导电板23与静触点对21相互脱离。本实施例通过第二弹性压缩部，可以避免可移动支持部在收到蒸镀源推力时出现歪斜，提高了限位可靠性。

在上述图2至图7所示任一实施例的基础上，还可以引入数据处理单元7，从而对检测时长进行处理。在设置有数据处理单元7的实施例中，可以有至少两种实现方式，下面结合图8和图10对这两种实现方式进行举例说明。

参见图8，是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图，在图8所示的位置传感器结构中，还可以包括：数据处理单元7。所述数据处理单元7与所述计时单元3电连接，用于从所述计时单元3获取所述检测时长，在检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长的一半和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离；而在所述检测时长大于或等于所述时长阈值时，表明蒸镀源已达到预设限位面b，获取超限报警信息。

其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面b与所述起始接触位置a的距离。例如预设限位距离为5cm，蒸镀源的移动速度为1cm/s，则时长阈值为10s。若数据处理单元7获取到检测时长为8s，则将4cm确定为蒸镀源对应的位移距离；若数据处理单元7获取到检测时长为10s或者超过10s的值，则发出超限报警信息。其中，计时器可以根据预设的时长阈值向数据处理单元7发出所述检测时长，例如当计时大于或等于时长阈值时，向数据处理单元7发出的检测时长直接为时长阈值，以使得数据处理单元7响应时长阈值而发出超限报警信息。

本实施例通过数据处理单元对计时单元输出的检测时长进行处理，得到蒸镀源超出所述起始接触位置的位移距离或者是超限报警信息，提高对蒸镀源位置检测的准确性。

在上述图2至图7所示任一实施例的基础上，参见图10，是本发明实施例提供的又一种位置传感器结构示意图，在图10所示的位置传感器结构中，还可以包括数据处理单元7。

其中，数据处理单元7可以与所述蒸镀源的驱动单元13连接，用于从所述驱动单元13获取驱动方向信息或者驱动停止信息。而且，所述数据处理单元7还与所述计时单元3电连接。数据处理单元7在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元3发送停止计时的指令，并从所述计时单元3获取计时时长作为所述检测时长。然后数据处理单元7根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离。例如在计时时长为3s时，驱动单元13改变电机的转动方向，使蒸镀源反向移动，因此在3s之后的计时是蒸镀源朝起始接触位置a方向返程的过程。本实施例可以通过数据处理单元7获取驱动单元13的驱动方向信息，以便在蒸镀源移动方向改变时立即停止计时，并将当前的计时时长作为检测时长，那么，此方案获得的检测时长乘以预设的蒸镀源移动速度，就能得到蒸镀源超出所述起始接触位置a的位移距离。又例如，计时时长到达5s时，蒸镀源到达预设限位面b被挡住，驱动单元13检测到电机无法运转而发出了驱动停止信息，那么，数据处理单元7响应该驱动停止信息而控制计时单元3停止计时，并以当前的计时时长作为检测时长，得到的位移距离应当为预设限位面b到起始接触位置a的距离。

本实施例中数据处理单元7结合蒸镀源的驱动单元13控制计时单元3输出检测时长，无需等待蒸镀源返回并离开起始接触位置a，或者是等待蒸镀源长时间被阻挡与限位面b处直至计时时长超过时长阈值，本实施例能在蒸镀源的单向移动阶段检测到其位移距离，提高了位置检测的速度和效率。

与图8或图10相对应的，参见图9，是本发明实施例提供的一种蒸镀设备检测方法流程示意图，本发明实施例提供的蒸镀设备检测方法例如可以由

图8所示的数据处理单元执行。如图9所示的方法包括步骤s101至步骤s104，具体如下：

s101，从所述计时单元获取所述检测时长。

s102，判断所述检测时长是否小于预设的时长阈值。

若是，确定所述检测时长小于预设的时长阈值，转入步骤s103。

若否，确定所述检测时长大于或等于所述时长阈值，转入步骤s104。

s103，根据所述检测时长或者所述检测时长的一半，和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离。

s104，获取超限报警信息。

其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动预设限位距离的时长或为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面与所述起始接触位置的距离。

图9所示方法实施例可以与图8所示装置实施例中数据处理单元执行的步骤对应，其实现原理和技术效果类似，此处不再赘述。

与图10相对应的，参见图11，是本发明实施例提供的另一种蒸镀设备检测方法流程示意图，本发明实施例提供的蒸镀设备检测方法例如可以由图10所示的数据处理单元执行。如图11所示的方法包括步骤s201至步骤s203，具体如下：

s201，从所述驱动单元获取驱动方向信息或者驱动停止信息。

s202，在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元发送停止计时的指令，并从所述计时单元获取计时时长作为所述检测时长。

s203，根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离。

图11所示方法实施例可以与图10所示装置实施例中数据处理单元执行的步骤对应，其实现原理和技术效果类似，此处不再赘述。

参见图12，是本发明实施例提供的一种蒸镀设备结构示意图，在图12所示的蒸镀设备中，包括蒸镀腔体、蒸镀源以及图2至图11所示实施例中任一所述的位置传感器。其中蒸镀源、第一弹性压缩部1、微动开关2均封装在所述蒸镀腔体内，计时单元3设置在蒸镀腔体之外。由于第一弹性压缩部1、微动开关2本身为机械结构，因此对蒸镀腔体内的高温环境具有较高的耐受能力，损坏率较小，提高了位置传感器的可靠性。而且，由于本实施例中位置传感器对蒸镀源的位置检测是基于微动开关2的闭合时长，因此在因蒸镀源松动导致行程端点发生固定变化时，可以通过调整端点位置c到起始接触位置a之间设定距离及其对应的基准时长的方式，以调整后的端点位置c继续进行位置检测，降低了开腔操作的频率，降低了维护难度，也进一步提高了位置传感器的可靠性。

在一些实施例中，所述蒸镀源的预设行程的两端都分别设置有至少一个所述位置传感器，且所述两端的端点位置c均设置在与端点对应的所述起始接触位置a、所述微动开关2之间。例如，图12所示蒸镀设备中，蒸镀源的原始左侧行程端点在左侧位置传感器的起始接触位置a的左侧2cm位置，同样地，蒸镀源的原始右侧行程端点在右侧位置传感器的起始接触位置a的右侧2cm位置。当蒸镀源结构移位导致图12左侧行程端点左移1cm，右侧行程端点也同步左移1cm时，可以对两端的位置传感器进行如下调整：

将蒸镀源的左侧行程端点调整为在左侧位置传感器的起始接触位置a的左侧3cm位置，蒸镀源移动速度为1m/s，从端点位置c移动到起始接触位置a的基准时长从2s调整为3s。

将蒸镀源的右侧行程端点调整为在右侧位置传感器的起始接触位置a的右侧1cm位置，蒸镀源移动速度为1m/s，从端点位置c移动到起始接触位置a的基准时长从2s调整为1s。

然后，以调整后的端点位置及其对应的基准时长继续对蒸镀源的位置进行检测。直到蒸镀源松动的程度达到至一侧的基准时长达到预设时长阈值(表示蒸镀源移动到了预设限位面)或者为0s(表示蒸镀源无法达到起始接触位置)，则发出超限报警信息，提示例如进行开腔操作。

由此降低了开腔操作以调整蒸镀源或者位置传感器的频率，提高了检测可靠性。

在本发明的描述中，需要理解的是，所使用的术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“顶端”、“底端”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”“轴向”、“周向”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的位置或原件必须具有特定的方位、以特定的构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成为一体；可以是机械连接，也可以是电连接或者可以互相通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以使两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

最后应说明的是：以上各实施例仅用于说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。